一种三氯氧磷的安全输送方法技术

本发明专利技术涉及一种三氯氧磷的安全输送方法，该方法采用新型三氯氧磷输送装置，该输送装置包括源瓶、自动补液装置、鼓泡器、流量控制；所有容器和阀门均经过特殊防腐处理，可确保三氯氧磷的纯度。与现有技术相比，本发明专利技术具有运输方便，安全可靠，给物流操作带来极大便利等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体输送方法，尤其涉及。
技术介绍
三氯氧磷(POCl3)是无色透明液体，属于液态磷源，用于N-型半导体的扩 散掺杂。与磷垸相比，POCb具有毒性低、副产物少、工艺控制简单等优点，在太阳能、集成电路等行业应用广泛。由于POCl3属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应的化学品，目前用户使用的均为石英瓶容器(0.4 1.5L)，并采用PFA阀门。作为运输和输 送容器。其缺点是玻璃容器易碎，换瓶频繁、操作危险，泄漏风险高，纯度风 险大，人力成本高，物流和环保成本高。国内某著名太阳能客户，其POCl3月消耗量是800kg，采用400mL的石英 瓶，需要1200瓶。由于换瓶操作需要穿戴呼吸器和防化服，且每天的源瓶更 换频繁，给现场操作人员带来了很大困扰。
技术实现思路
本专利技术的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种运输方 便，安全可靠的三氯氧磷的安全输送方法。本专利技术的目的可以通过以下技术方案来实现 一种三氯氧磷的安全输送方 法，其特征在于，该方法采用新型三氯氧磷输送装置，该输送装置包括源瓶、 自动补液装置、鼓泡器、流量控制；所有容器和阀门均经过特殊防腐处理，可 确保三氯氧磷的纯度。所述的源瓶为圆筒形，容积19L，采用不锈钢SS316L，配置两个高纯隔膜 阀，用于进气和出液，顶部设阀门保护杆。所述的自动补液装置采用高纯氮气，将三氯氧磷压送到扩散炉附近的鼓泡器内，供液信号来源于鼓泡器的需求指令，补液装置可容纳两个钢瓶，配置电 子秤，监测钢瓶重量，以实现左右切换，化学品输送面板均采用防腐处理，设 备采用抽风柜体，配置泄漏检测器；底部采用110%容纳溢流，配置溢出液位 探头；采用两块独立的面板，补液装置配置高真空隔膜泵，以便更换钢瓶时辅 助吹扫。所述的面板为气体面板、液体控制面板。所述的鼓泡器使用氮气，将液体蒸汽携带至扩散炉管，鼓泡器配置液位开 关，在低液位时，且气体出口阀门关闭的情况下，补液阀门将自动打开，鼓泡 器还配置了温度计套管，用于监测化学品温度，鼓泡器将被置于现场已经有的 恒温箱内，用于控制温度。所述的流量控制由质量流量控制器控制携带气体在鼓泡器上游，下游通过 限流孔板，平衡两路气体的流量。所述的三氯氧磷的输送管线采用双套管，内管为PFA材质，外管为不锈钢， 中间采用氮气吹扫，防止空气中水分渗漏至PFA管线内部。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点-1) 新型19升容器运输方便，安全可靠，给物流操作带来极大便利；2) 基本杜绝人工更换石英容器，彻底消除安全隐患；3) 实现连续供液，提高产品质量和工艺的稳定性；4) 大大降低生产成本、物流成本；5) 有效降低环境污染。附图说明图1为本专利技术三氯氧磷的安全输送装置结构示意图。 具体实施例方式下面结合附图及具体实施例对本专利技术作进一步说明。 实施例如图1所示， ，该方法采用一种新型三氯氧 磷的安全输送装置，该输送装置主要包括四个部分19L源瓶容器l、自动补液装置2、鼓泡器3、流量控制等。所有容器和阀门均经过特殊防腐处理，可确保POCl3的纯度。源瓶为圆筒形，容积19L，采用不锈钢SS316L，配置两个高纯隔膜阀，用 于进气和出液，顶部设阀门保护杆。自动补液装置2采用高纯氮气，将POCl3压送到扩散炉4附近的l号鼓泡 器31和2号鼓泡器32内。供液信号来源于鼓泡器的需求指令。补液装置可容 纳两个钢瓶，配置电子秤，监测钢瓶重量，以实现左右切换。化学品输送面板 均采用防腐处理。设备采用抽风柜体，配置泄漏检测器；底部采用110%容纳 溢流，配置溢出液位探头；采用两块独立的面板(气体面板、液体控制面板)。 补液装置配置高真空隔膜泵，以便更换钢瓶时辅助吹扫。鼓泡器使用氮气，将液体蒸汽携带至l号扩散炉管41、 2号扩散炉管42、 3号扩散炉管43、 4号扩散炉管44。鼓泡器配置液位开关。在低液位时，且气 体出口阀门关闭的情况下，补液阀门将自动打开。鼓泡器还配置了温度计套管， 用于监测化学品温度。鼓泡器将被置于现场已经有的恒温箱内，用于控制温度。携带气体在鼓泡器上游由质量流量控制器(MFC)控制。下游通过限流孔板， 平衡两路气体的流量。POCL3输送管线采用双套管，内管为PFA材质，外管为不锈钢。中间采用 氮气吹扫，防止空气中水分渗漏至PFA管线内部。权利要求1.，其特征在于，该方法采用新型三氯氧磷输送装置，该输送装置包括源瓶、自动补液装置、鼓泡器、流量控制；所有容器和阀门均经过特殊防腐处理，可确保三氯氧磷的纯度。2. 根据权利要求1所述的，其特征在于， 所述的源瓶为圆筒形，容积19L，采用不锈钢SS316L，配置两个高纯隔膜阀， 用于进气和出液，顶部设阀门保护杆。3. 根据权利要求1所述的，其特征在于， 所述的自动补液装置采用高纯氮气，将三氯氧磷压送到扩散炉附近的鼓泡器 内，供液信号来源于鼓泡器的需求指令，补液装置可容纳两个钢瓶，配置电子 秤，监测钢瓶重量，以实现左右切换，化学品输送面板均采用防腐处理，设备 采用抽风柜体，配置泄漏检测器；底部采用110%容纳溢流，配置溢出液位探 头；采用两块独立的面板，补液装置配置高真空隔膜泵，以便更换钢瓶时辅助 吹扫。4. 根据权利要求3所述的，其特征在于， 所述的面板为气体面板、液体控制面板。5. 根据权利要求1所述的，其特征在于， 所述的鼓泡器使用氮气，将液体蒸汽携带至扩散炉管，鼓泡器配置液位开关， 在低液位时，且气体出口阀门关闭的情况下，补液阀门将自动打开，鼓泡器还 配置了温度计套管，用于监测化学品温度，鼓泡器将被置于现场已经有的恒温 箱内，用于控制温度。6. 根据权利要求1所述的，其特征在于， 所述的流量控制由质量流量控制器控制携带气体在鼓泡器上游，下游通过限流 孔板，平衡两路气体的流量。7. 根据权利要求1所述的，其特征在于， 所述的三氯氧磷的输送管线采用双套管，内管为PFA材质，外管为不锈钢，中 间采用氮气吹扫，防止空气中水分渗漏至PFA管线内部。全文摘要本专利技术涉及，该方法采用新型三氯氧磷输送装置，该输送装置包括源瓶、自动补液装置、鼓泡器、流量控制；所有容器和阀门均经过特殊防腐处理，可确保三氯氧磷的纯度。与现有技术相比，本专利技术具有运输方便，安全可靠，给物流操作带来极大便利等优点。文档编号F16L9/18GK101358686SQ20071004445公开日2009年2月4日 申请日期2007年8月1日 优先权日2007年8月1日专利技术者李东升 申请人:上海正帆超净技术有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三氯氧磷的安全输送方法，其特征在于，该方法采用新型三氯氧磷输送装置，该输送装置包括源瓶、自动补液装置、鼓泡器、流量控制；所有容器和阀门均经过特殊防腐处理，可确保三氯氧磷的纯度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李东升，
申请(专利权)人：上海正帆超净技术有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]