The utility model provides a measurement auxiliary device, which is used in combination with an ellipsometer for measuring large-scale samples. The measurement auxiliary device includes a base plate and a positioning layer, the base plate includes a base layer, the base layer has a first surface and a second surface, and an optical absorption layer, the optical absorption layer has a third surface and a fourth surface, wherein the optical absorption layer has a third surface and a fourth surface The fourth surface is arranged on the first surface and opposite to the first surface, and the positioning layer is fixed on the light absorbing layer in a detachable manner, wherein the surface of the positioning layer far away from the light absorbing layer is divided into a plurality of cells to locate a plurality of small size samples to be measured.
【技术实现步骤摘要】
测量辅助装置
本技术涉及一种测量辅助装置。
技术介绍
椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。目前椭偏仪被广泛应用于测量薄膜材料的厚度。待测量的样品主要有两种,一种是小尺寸样品,可直接放在黑色台面上测量,但一次测量只能测量一个样品,样品测量完成后需手动拟合得到测量数据,再更换测量下一个样品;另一种是大尺寸样品,同样一次测量只能测量一个样品,样品数量多,测量时间较长,测量压力大。在工艺调试阶段,需要测量多个样品以便对工艺进行客观的评估、指导工艺调试方向,那么需要一次性测量多个样品。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题,本技术提出了一种测量辅助装置。本技术的测量辅助装置突破了目前大尺寸样品椭偏仪不能测量小尺寸样品的技术限制,解决了常规的椭偏仪一次只能测量一个样品的问题。根据本技术的一方面,提出了一种测量辅助装置,所述测量辅助装置与用于测量大尺寸样品的椭偏仪配合使用,所述测量辅助装置包括基板和定位层,所述基板包括:基底层,所述基底层具有第一表面和第二表面;以及吸光层,所述吸光层具有第三表面和第四表面,其中,所述第四表面设置在所述第一表面上并与所述第一表面相对,所述定位层以可拆卸方式固定于所述吸光层上,其中,所述定位层的远离所述吸光层的一侧的表面被划分成多个单元格以定位待测量的多个小尺寸样品。在本技术的测量辅助装置中,所述基底层的所述第一表面 ...
【技术保护点】
1.一种测量辅助装置,所述测量辅助装置与用于测量大尺寸样品的椭偏仪配合使用,所述测量辅助装置包括:/n基板,所述基板包括:/n基底层,所述基底层具有第一表面和第二表面;以及/n吸光层,所述吸光层具有第三表面和第四表面,其中,所述第四表面设置在所述第一表面上并与所述基底层的所述第一表面相对;以及/n定位层,所述定位层以可拆卸方式固定于所述吸光层上,其特征在于,所述定位层的远离所述吸光层的一侧的表面被划分成多个单元格以定位待测量的多个小尺寸样品。/n
【技术特征摘要】
1.一种测量辅助装置,所述测量辅助装置与用于测量大尺寸样品的椭偏仪配合使用,所述测量辅助装置包括:
基板,所述基板包括:
基底层,所述基底层具有第一表面和第二表面;以及
吸光层,所述吸光层具有第三表面和第四表面,其中,所述第四表面设置在所述第一表面上并与所述基底层的所述第一表面相对;以及
定位层,所述定位层以可拆卸方式固定于所述吸光层上,其特征在于,所述定位层的远离所述吸光层的一侧的表面被划分成多个单元格以定位待测量的多个小尺寸样品。
2.根据权利要求1所述的测量辅助装置,其特征在于所述基底层的所述第一表面和所述第二表面彼此平行,并且所述吸光层的所述第三表面和所述第四表面彼此平行。
3.根据权利要求1所述的测量辅助装置,其特征在于所述基底层由玻璃板或亚克力板形成。
4.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:曾燕,
申请(专利权)人:成都珠峰永明科技有限公司,
类型:新型
国别省市:四川;51
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