太阳能电池用钝化层的制备方法以及太阳能电池的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种太阳能电池用钝化层的制备方法以及太阳能电池的制备方法。钝化层的制备方法包括将衬底置于化学气相沉积反应室内，向所述反应室内通入工艺气体，条件是不进行所述工艺工体的排出操作，以及在所述衬底的至少一个表面上沉积所述钝化层。所述制备方法在形成钝化膜层的过程中不进行排气操作，因此通入的工艺气体会被不断消耗，因此成膜速度自然形成从快到慢的渐变，因此很自然的实现了本征钝化膜层的渐变。

【技术实现步骤摘要】
太阳能电池用钝化层的制备方法以及太阳能电池的制备方法
本专利技术涉及太阳能电池领域，特别涉及一种太阳能电池用的钝化层的制备方法以及太阳能电池的制备方法。
技术介绍
太阳能电池利用光电效应将光转换成电能。基本的太阳能电池结构，包括单P-N结、P-I-N/N-I-P结、以及多结结构。典型的单P-N结结构包括:P型掺杂层和N型掺杂层。单P-N结太阳能电池有同质结和异质结两种结构:同质结结构的P型掺杂层和N型掺杂层都由相似材料(材料的能带隙相等)构成，异质结结构包括具有至少两层不同带隙的材料。异质结太阳能电池可以包括有机异质结太阳能电池，如体相异质结型有机太阳能电池、双层或多层状异质结型有机太阳能电池；以及无机异质结太阳能电池。无机异质结太阳能电池主要包括硅系电池。异质结太阳能电池具有高效、双面发电的优势，在分布式光伏电站中表现出广阔的应用前景。特别是，硅系异质结太阳能电池具有下列优点：(1)无PID现象，由于电池上表面为TCO，电荷不会在电池表面的TCO上产生极化现象，无PID现象。同时实测数据也证实了这一点；(2)低温制造工艺；(3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能电池用钝化层的制备方法，其特征在于包括下列步骤：/n对气相沉积反应室内抽真空至所述气相沉积反应室内真空度到1×10

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池用钝化层的制备方法，其特征在于包括下列步骤：
对气相沉积反应室内抽真空至所述气相沉积反应室内真空度到1×10-5Pa～1Pa，
将衬底置于所述气相沉积反应室内，
向所述气相沉积反应室内通入预设量的工艺气体，
停止通入所述工艺气体，
在所述衬底的表面上沉积所述钝化层。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于所述衬底选自n-型单晶硅片和/或p-型单晶硅片，并且所述钝化层选自本征非晶硅层。


3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于所述气相沉积反应室为等离子体增强化学气相沉积反应室。


4.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于向所述气相沉积反应室内通入预设量的工艺气体的步骤包括向所述气相沉积反应室内通入所述工艺气体直至所述气相沉积反应室内压强达...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨苗，
申请(专利权)人：成都珠峰永明科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51