金属TCO叠层薄膜及其制备方法和HIT太阳能电池技术

本公开提供一种金属TCO叠层薄膜，用于HIT太阳能电池，包括：TCO基底层，以及依次设置在TCO基底层上的非晶TCO浸润层、金属膜层和TCO面层；其中非晶TCO浸润层的厚度小于等于10nm，金属膜层的厚度大于等于1nm且小于等于30nm，金属TCO叠层薄膜的总厚度小于等于150nm，通过提供包括非晶TCO浸润层、使金属膜层的在较薄厚度情况下连续生长，降低了金属膜层的粗糙度，使TCO面层、金属膜层和非晶TCO浸润层之间由于高折射率对比导致表面等离子体激元高效耦合，形成表面等离子体产生共振效应，降低了TCO面层、非晶TCO浸润层和TCO基底层对光的散射和对光子的吸收，进而提高了金属TCO叠层薄膜的光谱透过率，提高了HIT电池的电学性能。

【技术实现步骤摘要】
金属TCO叠层薄膜及其制备方法和HIT太阳能电池
本专利技术涉及太阳能电池
，具体涉及一种金属TCO叠层薄膜及其制备方法和HIT太阳能电池。
技术介绍
太阳能电池，是通过光生伏特效应直接把入射太阳光能转化成电能的装置。开发利用太阳能已经成为世界各国能源可持续发展的战略决策。降低太阳能电池成本和提升太阳能电池效率一直是光伏电池的发展方向。目前晶硅太阳能电池占据着90％左右的光伏市场，偏高的制备成本制约其进一步发展。相对于晶硅太阳能电池，HIT(HeterojunctionwithintrinsicThin-layer)电池具有低温制备工艺、高稳定性、高效率和低成本的特点，是光伏领域的研究热点。相比与晶硅太阳能电池，HIT太阳能电池的最大特点就是要制备透明导电氧化物(TransparentConductiveOxide，简称，TCO)薄膜，由于HIT太阳能电池发射极是用非晶硅制备的，该层的横向导电性能比较差，所以必须在发射极的上面制备一侧TCO。TCO层主要作用就是将载流子输送到电池电极，同时也可以保护底下PN结，并且，通过控制TCO层的厚度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属TCO叠层薄膜，用于HIT太阳能电池，其特征在于：包括：TCO基底层，以及依次设置在TCO基底层上的非晶TCO浸润层、金属膜层和TCO面层；/n其中所述非晶TCO浸润层的厚度小于等于10nm，所述金属膜层的厚度大于等于1nm且小于等于30nm，所述金属TCO叠层薄膜的总厚度小于等于150nm。/n

【技术特征摘要】
1.一种金属TCO叠层薄膜，用于HIT太阳能电池，其特征在于：包括：TCO基底层，以及依次设置在TCO基底层上的非晶TCO浸润层、金属膜层和TCO面层；
其中所述非晶TCO浸润层的厚度小于等于10nm，所述金属膜层的厚度大于等于1nm且小于等于30nm，所述金属TCO叠层薄膜的总厚度小于等于150nm。


2.根据权利要求1所述的金属TCO叠层薄膜，其特征在于：所述金属膜层包括Ag、Au、Mo、W、Cr、Nb、Ta、V、Sc、Zr、Hf中的一种。


3.根据权利要求1所述的金属TCO叠层薄膜，其特征在于：所述TCO基底层包括氧化铟锡层、掺铝氧化锌层、掺钨氧化铟层、掺铈氧化铟层层、掺镓氧化锌层、掺镓氧化铟层、铟镓锌氧化物层、铟锌氧化物层、掺氟氧化锌层中的一种；
所述非晶TCO浸润层包括氧化铟锡层、掺铝氧化锌层、掺钨氧化铟层、掺铈氧化铟层层、掺镓氧化锌层、掺镓氧化铟层、铟镓锌氧化物层、铟锌氧化物层、掺氟氧化锌层中的一种，
所述TCO面层包括氧化铟锡层、掺铝氧化锌层、掺钨氧化铟层、掺铈氧化铟层层、掺镓氧化锌层、掺镓氧化铟层、铟镓锌氧化物层、铟锌氧化物层、掺氟氧化锌层中的一种。


4.根据权利要求1所述的金属TCO叠层薄膜，其特征在于：所述金属TCO叠层薄膜具有大于等于4.5eV的功函数。


5.一种如权利要求1至4任意一项所述的金属TCO叠层薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
提...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈孟杰，
申请(专利权)人：成都珠峰永明科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51