可调节的真空镀膜机陶瓷基板挂具制造技术

本实用新型专利技术属于真空镀膜机技术领域，具体涉及一种可调节的真空镀膜机陶瓷基板挂具，包括多棱柱形的立柱，立柱上布置数组可上下滑动的挂头组件，挂头组件配有紧固装置；挂头组件包括与立柱相适配的滑块，滑块上固定设置挂杆，挂杆的左右两侧设有可调节的挂片，两块挂片之间，挂杆的上下两侧形成用于固定陶瓷基板的固定槽，相邻的两组挂头组件之间组成一个陶瓷基板的放置区域。本实用新型专利技术所述可调节的真空镀膜机陶瓷基板挂具，设计合理结构简单，通过相邻的两组挂头组件组成一个陶瓷基板的放置区域，合理利用了空间，使一根立柱上挂置的陶瓷基板数量最大化；满足陶瓷基板尺寸参数的挂置需求，使固定牢固，保证产品的镀膜品质。

Adjustable ceramic substrate hanger for vacuum coater

The utility model belongs to the technical field of the vacuum coating machine, in particular to an adjustable ceramic substrate hanger of the vacuum coating machine, which includes a column with multi prism shape, an array of hanging head components which can slide up and down are arranged on the column, and the hanging head components are equipped with fastening devices; the hanging head components include a slider which is suitable for the column, and the slider is fixedly provided with a hanging rod, and the left and right sides of the hanging rod are provided with adjustable sliders The upper and lower sides of the hanging rod form a fixing groove for fixing the ceramic substrate, and the adjacent two groups of hanging head components form a place area of the ceramic substrate. The adjustable ceramic substrate hanger of the vacuum coating machine of the utility model has reasonable design and simple structure. Through two adjacent groups of hanging head components, a place area of ceramic substrate is formed, and the space is reasonably used to maximize the number of ceramic substrates hung on a column; it meets the hanging requirements of the size parameters of ceramic substrate, makes the fixation firm, and ensures the coating quality of the product.

【技术实现步骤摘要】
可调节的真空镀膜机陶瓷基板挂具
本技术涉及一种可调节的真空镀膜机陶瓷基板挂具，属于真空镀膜机

技术介绍
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。DPC陶瓷基板即为真空镀膜的产品，其原理是利用真空物理等离子体沉积技术在高导热陶瓷上制备可靠性铜层，再通过增厚、曝光、显影、去膜等工艺完成线路制作。DPC陶瓷基板具有高导热、导电性能好、尺寸精度高、零空洞率等特点，应用于半导体设备、各类传感器、军事航空电子等领域。真空镀膜机内都置有用于装夹被镀工件的工件转架运动机构，常用的工件转架运动机构的运动方式通常为自转盘随公转盘公转的同时并进行自转。镀膜机腔体内产品悬挂方式一般采用竖式挂件，现有的挂具不能满足陶瓷基板的挂置需要，悬挂产品数量少，并且由于陶瓷基板的尺寸参数(长、宽、厚度等)不恒定，造成陶瓷基板在现有的挂具上挂置时不完全匹配，固定不牢固，对陶瓷基板的镀膜品质造成一定影响。
技术实现思路
根据以上现有技术中的不足，本技术要解决的技术问题是：提供一种可调节的真空镀膜机陶瓷基板挂具，悬挂陶瓷基板数量多，挂置区域大小可调，陶瓷基板固定牢固，以解决上述问题。本技术所述的可调节的真空镀膜机陶瓷基板挂具，包括多棱柱形的立柱，立柱上布置数组可上下滑动的挂头组件，挂头组件配有紧固装置；挂头组件包括与立柱相适配的滑块，滑块上固定设置挂杆，挂杆的左右两侧设有可调节的挂片，两块挂片之间，挂杆的上下两侧形成用于固定陶瓷基板的固定槽，相邻的两组挂头组件之间组成一个陶瓷基板的放置区域；立柱的上下两端均设有转轴，转轴装入真空镀膜机旋转盘的凹槽内。相邻的两组挂头组件组成一个陶瓷基板的放置区域，合理利用了空间，使一根立柱上挂置的陶瓷基板数量最大化；操作时，根据单片陶瓷基板的尺寸参数来调节相邻两组挂头组件之间的距离，并调节两块挂片之间的宽度并紧固，来满足陶瓷基板的挂置需求，固定牢固。所述的立柱截面为正六边形，即立柱为六棱柱，可以防止滑块周向转动。所述的挂片通过锁紧螺栓和锁紧螺母设置在挂杆的左右两侧，方便调节。所述的紧固装置为紧固螺钉。所述的转轴上设有横向的销轴，防止立柱在旋转盘的凹槽内滑动。本技术与现有技术相比所具有的有益效果是：本技术所述可调节的真空镀膜机陶瓷基板挂具，设计合理结构简单，通过相邻的两组挂头组件组成一个陶瓷基板的放置区域，合理利用了空间，使一根立柱上挂置的陶瓷基板数量最大化；可以根据单片陶瓷基板的尺寸参数来调节相邻两组挂头组件之间的距离，并调节两块挂片之间的宽度并紧固，满足陶瓷基板的挂置需求，使固定牢固，保证产品的镀膜品质。附图说明图1是本技术的结构示意图之一；图2是图1中A部位的局部放大图；图3是本技术的结构示意图之二；图4是图3中B部位的局部放大图。图中：1、立柱；2、滑块；3、紧固螺钉；4、销轴；5、转轴；6、锁紧螺栓；7、挂杆；8、挂片；9、锁紧螺母。具体实施方式下面结合实施例对本技术做进一步描述：如图1～4所示，本技术所述的可调节的真空镀膜机陶瓷基板挂具，包括六棱柱形的立柱1，立柱1上布置数组可上下滑动的挂头组件，挂头组件配有紧固螺钉3，紧固螺钉3可以把挂头组件锁紧固定在立柱1上；挂头组件包括与立柱1相适配的滑块2，滑块2上固定设置挂杆7，挂杆7的左右两侧设有可调节的挂片8，挂片8通过锁紧螺栓6和锁紧螺母9设置在挂杆7的左右两侧。两块挂片8之间，挂杆7的上下两侧形成用于固定陶瓷基板的固定槽，相邻的两组挂头组件之间组成一个陶瓷基板的放置区域；立柱1的上下两端均设有转轴5，转轴5上设有横向的销轴4，转轴5装入真空镀膜机旋转盘的凹槽内。本技术通过相邻的两组挂头组件组成一个陶瓷基板的放置区域，合理利用了空间，使一根立柱1上挂置的陶瓷基板数量最大化；可以根据单片陶瓷基板的尺寸参数来调节相邻两组挂头组件之间的距离，并调节两块挂片8之间的宽度并紧固，满足陶瓷基板的挂置需求，使固定牢固，保证产品的镀膜品质，改善了产品的质量。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调节的真空镀膜机陶瓷基板挂具，其特征在于：包括多棱柱形的立柱(1)，立柱(1)上布置数组可上下滑动的挂头组件，挂头组件配有紧固装置；挂头组件包括与立柱(1)相适配的滑块(2)，滑块(2)上固定设置挂杆(7)，挂杆(7)的左右两侧设有可调节的挂片(8)，两块挂片(8)之间，挂杆(7)的上下两侧形成用于固定陶瓷基板的固定槽，相邻的两组挂头组件之间组成一个陶瓷基板的放置区域；立柱(1)的上下两端均设有转轴(5)，转轴(5)装入真空镀膜机旋转盘的凹槽内。/n

【技术特征摘要】
1.一种可调节的真空镀膜机陶瓷基板挂具，其特征在于：包括多棱柱形的立柱(1)，立柱(1)上布置数组可上下滑动的挂头组件，挂头组件配有紧固装置；挂头组件包括与立柱(1)相适配的滑块(2)，滑块(2)上固定设置挂杆(7)，挂杆(7)的左右两侧设有可调节的挂片(8)，两块挂片(8)之间，挂杆(7)的上下两侧形成用于固定陶瓷基板的固定槽，相邻的两组挂头组件之间组成一个陶瓷基板的放置区域；立柱(1)的上下两端均设有转轴(5)，转轴(5)装入真空镀膜机旋转盘的凹槽内。


2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔利杰，宋述兵，杨会生，王瑞俊，郑宝林，
申请(专利权)人：山东司莱美克新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37