真空镀膜机的陶瓷基板挂具制造技术

本实用新型专利技术属于真空镀膜机技术领域，具体涉及一种真空镀膜机的陶瓷基板挂具，包括立柱，立柱上沿同一方向间隔布置数组挂杆，挂杆的上下两侧开有滑槽，相邻的两组挂杆组成一个陶瓷基板的放置区域，陶瓷基板可以从一侧插入滑槽内；立柱的上下两端均设有转轴，转轴装入真空镀膜机旋转盘的凹槽内。本实用新型专利技术所述真空镀膜机的陶瓷基板挂具，设计合理结构简单，通过相邻的两组挂杆组成一个陶瓷基板的放置区域，合理利用了空间，使一根立柱上挂置的陶瓷基板数量最大化；操作简便快捷，减少了人工成本，降低了工作流程的繁琐性，大大提高了工作效率。

Ceramic substrate hanger of vacuum coater

The utility model belongs to the technical field of the vacuum coating machine, in particular to a ceramic substrate hanging device of the vacuum coating machine, which comprises a column, on which an array of hanging rods are arranged at intervals in the same direction, the upper and lower sides of the hanging rods are provided with sliding grooves, the adjacent two groups of hanging rods form a placement area of the ceramic substrate, and the ceramic substrate can be inserted into the sliding groove from one side; the upper and lower ends of the column are provided with The rotating shaft is installed in the groove of the rotating plate of the vacuum coating machine. The ceramic substrate hanger of the vacuum coating machine of the utility model has reasonable design and simple structure. Through two adjacent groups of hanging rods, a ceramic substrate placement area is formed, and the space is reasonably used, so as to maximize the number of ceramic substrates hung on a column; the operation is simple and fast, reducing labor cost, reducing the complexity of the work process, and greatly improving the work efficiency.

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机的陶瓷基板挂具
本技术涉及一种真空镀膜机的陶瓷基板挂具，属于真空镀膜机

技术介绍
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。DPC陶瓷基板即为真空镀膜的产品，其原理是利用真空物理等离子体沉积技术在高导热陶瓷上制备可靠性铜层，再通过增厚、曝光、显影、去膜等工艺完成线路制作。DPC陶瓷基板具有高导热、导电性能好、尺寸精度高、零空洞率等特点，应用于半导体设备、各类传感器、军事航空电子等领域。真空镀膜机内都置有用于装夹被镀工件的工件转架运动机构，常用的工件转架运动机构的运动方式通常为自转盘随公转盘公转的同时并进行自转。镀膜机腔体内产品悬挂方式一般采用竖式挂件，现有的挂具不能满足陶瓷基板的挂置需要，不仅悬挂产品数量少，并且挂置繁琐，影响生产效率。
技术实现思路
根据以上现有技术中的不足，本技术要解决的技术问题是：提供一种真空镀膜机的陶瓷基板挂具，悬挂陶瓷基板数量多，并且挂置简便快捷，提高生产效率，以解决上述问题。本技术所述的真空镀膜机的陶瓷基板挂具，包括立柱，立柱上沿同一方向间隔布置数组挂杆，挂杆的上下两侧开有滑槽，相邻的两组挂杆组成一个陶瓷基板的放置区域，陶瓷基板可以从一侧插入滑槽内；立柱的上下两端均设有转轴，转轴装入真空镀膜机旋转盘的凹槽内。相邻的两组挂杆组成一个陶瓷基板的放置区域，合理利用了空间，使一根立柱上挂置的陶瓷基板数量最大化；操作时，只需将单片的陶瓷基板沿滑槽推入两组挂杆之间即可，操作简便快捷，大大提高了工作效率。所述的数组挂杆上远离立柱的一端均设有纵向的通孔，陶瓷基板插入完毕后，将挡条从上至下贯穿数组挂杆的通孔，对陶瓷基板起到限位作用，防止陶瓷基板滑落。所述的数组挂杆上远离立柱的一端通过连接杆相连接，可以使本技术结构更为稳固。所述的转轴上设有横向的销轴，防止立柱在旋转盘的凹槽内滑动。本技术与现有技术相比所具有的有益效果是：本技术所述真空镀膜机的陶瓷基板挂具，设计合理结构简单，通过相邻的两组挂杆组成一个陶瓷基板的放置区域，合理利用了空间，使一根立柱上挂置的陶瓷基板数量最大化；一根挡条即可实现对全部放置区域的限位，操作简便快捷，减少了人工成本，降低了工作流程的繁琐性，大大提高了工作效率。附图说明图1是本技术的结构示意图之一；图2是图1中A部位的局部放大图；图3是本技术的结构示意图之二；图4是图3中B部位的局部放大图；图5是本技术的结构示意图之三；图6是图5中C部位的局部放大图。图中：1、立柱；2、挂杆；3、转轴；4、销轴；5、连接杆；6、挡条；7、滑槽；8、通孔。具体实施方式下面结合实施例对本技术做进一步描述：如图1～6所示，本技术所述的真空镀膜机的陶瓷基板挂具，包括立柱1，立柱1上沿同一方向间隔布置数组挂杆2，挂杆2的上下两侧开有滑槽7，相邻的两组挂杆2组成一个陶瓷基板的放置区域，陶瓷基板可以从一侧插入滑槽7内。数组挂杆2上远离立柱1的一端均设有纵向的通孔8，挡条6从上至下贯穿数组挂杆2的通孔8。数组挂杆2上远离立柱1的一端通过连接杆5相连接。立柱1的上下两端均设有转轴3，转轴3装入真空镀膜机旋转盘的凹槽内，转轴3上设有横向的销轴4。相邻的两组挂杆2组成一个陶瓷基板的放置区域，合理利用了空间，使一根立柱1上挂置的陶瓷基板数量最大化；操作时，只需将单片的陶瓷基板沿滑槽7推入两组挂杆2之间即可，陶瓷基板插入完毕后，将挡条6从上至下贯穿数组挂杆2的通孔8，对陶瓷基板起到限位作用，防止陶瓷基板滑落。本技术操作简便快捷，大大提高了工作效率。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机的陶瓷基板挂具，其特征在于：包括立柱(1)，立柱(1)上沿同一方向间隔布置数组挂杆(2)，挂杆(2)的上下两侧开有滑槽(7)，相邻的两组挂杆(2)组成一个陶瓷基板的放置区域，陶瓷基板可以从一侧插入滑槽(7)内；立柱(1)的上下两端均设有转轴(3)，转轴(3)装入真空镀膜机旋转盘的凹槽内。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的陶瓷基板挂具，其特征在于：包括立柱(1)，立柱(1)上沿同一方向间隔布置数组挂杆(2)，挂杆(2)的上下两侧开有滑槽(7)，相邻的两组挂杆(2)组成一个陶瓷基板的放置区域，陶瓷基板可以从一侧插入滑槽(7)内；立柱(1)的上下两端均设有转轴(3)，转轴(3)装入真空镀膜机旋转盘的凹槽内。


2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的陶瓷基板挂具，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔利杰，宋述兵，杨会生，王瑞俊，郑宝林，
申请(专利权)人：山东司莱美克新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37