键合夹具取放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种键合夹具取放装置，其包括第一夹爪连板、第一拉手、第二夹爪连板以及第二拉手；在第一夹爪连板的端部设置第一夹爪，在所述第二夹爪连板的端部设置第二夹爪，在第一夹爪、第二夹爪相对应的内侧均设置定位器；还包括连接运动导向机构，第一拉手与第二拉手靠近时，能使得第一夹爪能与第二夹爪相互靠近；第一拉手与第二拉手在连接运动导向机构作用下复位时，通过第一夹爪连板与第二夹爪连板间的相对运动能驱动第一夹爪与第二夹爪复位。本实用新型专利技术结构紧凑，能方便快捷地将键合夹具从键合机腔中取出，能避免烫伤操作人员，能减少取放键合夹具时对衬底的污染，使用方便，安全可靠。

Take and place device of bonding fixture

The utility model relates to a bonding clamp taking and releasing device, which comprises a first clamping claw connecting plate, a first handle, a second clamping claw connecting plate and a second handle; a first clamping claw is arranged at the end of the first clamping claw connecting plate, a second clamping claw is arranged at the end of the second clamping claw connecting plate, and a positioner is arranged at the inner side corresponding to the first clamping claw and the second clamping claw; the utility model also includes a movement guiding mechanism When the first handle and the second handle are close to each other, the first claw and the second claw can be close to each other; when the first handle and the second handle are reset by connecting the motion guide mechanism, the first claw and the second claw can be reset by the relative motion energy between the first claw connecting plate and the second claw connecting plate. The utility model has compact structure, can take out the bonding clamp from the bonding machine cavity conveniently and quickly, can avoid scalding the operator, can reduce the pollution to the substrate when taking and placing the bonding clamp, and is convenient, safe and reliable.

【技术实现步骤摘要】
键合夹具取放装置
本技术涉及一种取放装置，尤其是一种键合夹具取放装置，属于微纳米工艺中夹具取放的

技术介绍
在微纳米
，经常要用到键合机及键合夹具。键合夹具在取放过程中多带有高温，会带来烫伤危害，同时用手取放键合夹具时会对衬底带来污染。因此，目前急需解决键合夹具的取放问题。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种键合夹具取放装置，其结构紧凑，能方便快捷地将键合夹具从键合机腔中取出，能避免烫伤操作人员，能减少取放键合夹具时对衬底的污染，使用方便，安全可靠。按照本技术提供的技术方案，所述键合夹具取放装置，包括第一夹爪连板、设置于所述第一夹爪连板上的第一拉手、第二夹爪连板以及设置于所述第二夹爪连板上的第二拉手；在所述第一夹爪连板远离第二夹爪连板的端部设置第一夹爪，在所述第二夹爪连板远离第一夹爪连板的端部设置第二夹爪，在第一夹爪、第二夹爪相对应的内侧均设置能与键合夹具适配连接的定位器；还包括能对第一夹爪连板与第二夹爪连板间运动进行导向的连接运动导向机构，通过第一拉手、第二拉手间的相对运动能驱动第一夹爪连板与第二夹爪连板之间相对运动，第一拉手与第二拉手靠近时，能使得第一夹爪能与第二夹爪相互靠近；第一拉手与第二拉手在连接运动导向机构作用下复位时，通过第一夹爪连板与第二夹爪连板间的相对运动能驱动第一夹爪与第二夹爪复位。所述第一拉手通过第一拉手紧固螺丝固定在第一夹爪连板上，第二拉手通过第二拉手紧固螺丝固定在第二夹爪连板上；第一夹爪与第一夹爪连板间相互垂直连接，第二夹爪与第二夹爪连板间相互垂直连接。在第一夹爪连板的端部设置第一夹爪连板运动导向台阶面，所述第一夹爪连板运动导向台阶面与第一夹爪分别位于第一夹爪连板的两端，在第二夹爪连板的端部设置第二夹爪连板运动导向台阶面，所述第二夹爪连板运动导向台阶面与第二夹爪分别位于第二夹爪连板的两端；第一夹爪连板与第二夹爪连板呈同轴分布，且第一夹爪连板的第一夹爪连板运动导向台阶面与第二夹爪连板的第二夹爪连板运动导向台阶面间滑动连接。在第一夹爪、第二夹爪上均设置夹爪通孔，所述夹爪通孔贯通相应的第一夹爪、第二夹爪；第一夹爪、第二夹爪上的定位器均对称分布于夹爪通孔的两侧。所述连接运动导向机构位于第一夹爪与第二夹爪间，连接运动导向机构包括与第二夹爪连板固定连接的轴承支座、与所述轴承支座固定的长法兰直线轴承、与第一夹爪连板连接的轴支座以及贯穿轴座支座、长法兰直线轴承、轴支座的直推杆，在直推杆上还套有弹性体，所述弹性体位于长法兰直线轴承与轴支座间。还包括能对轴支座进行限位的固定环，所述固定环能套在直推杆上，且固定环位于轴支座与第一夹爪之间。在直推杆的端部设置推杆限位端板，所述推杆限位端板位于轴承支座的外侧。所述直推杆的轴线与第一夹爪连板、第二夹爪连板相对应的长度方向相互平行。本技术的优点：在第一夹爪连板上设置第一拉手以及第一夹爪，在第二夹爪连板上设置第二拉手以及第二棘爪，通过连接运动导向机构能对第一夹爪连板、第二夹爪连板的运动进行导向，通过第一拉手、第二拉手间的相对运动能驱动第一夹爪连板与第二夹爪连板之间相对运动，第一拉手与第二拉手靠近时，能使得第一夹爪能与第二夹爪相互靠近；第一拉手与第二拉手在连接运动导向机构作用下复位时，通过第一夹爪连板与第二夹爪连板间的相对运动能驱动第一夹爪与第二夹爪复位，从而通过定位器与键合夹具配合后能实现对键合夹具的夹紧与松开，能方便快捷地将键合夹具从键合机腔中取出，能避免烫伤操作人员，能减少取放键合夹具时对衬底的污染，使用方便，安全可靠。附图说明图1为本技术的立体图。图2为本技术第一夹爪与第二夹爪的初始状态示意图。图3为本技术第一夹爪与第二夹爪相互靠近后的示意图。附图标记说明：1-第一拉手、2-第二拉手、3-第一拉手紧固螺丝、4-第一夹爪连板、5-第一夹爪、6-第二夹爪连板、7-定位器、8-固定环、9-直推杆、10-长法兰直线轴承、11-轴支座、12-弹性体、13-轴承支座、14-第二拉手紧固螺丝、15-第二夹爪连板运动导向台阶面、16-第二夹爪、17-夹爪通孔、18-第一夹爪连板运动导向台阶面以及19-推杆限位端板。具体实施方式下面结合具体附图和实施例对本技术作进一步说明。如图1、图2和图3所示：为了能方便快捷地将键合夹具从键合机腔中取出，能避免烫伤操作人员，能减少取放键合夹具时对衬底的污染，本技术包括第一夹爪连板4、设置于所述第一夹爪连板4上的第一拉手1、第二夹爪连板6以及设置于所述第二夹爪连板6上的第二拉手2；在所述第一夹爪连板4远离第二夹爪连板6的端部设置第一夹爪5，在所述第二夹爪连板6远离第一夹爪连板4的端部设置第二夹爪16，在第一夹爪5、第二夹爪16相对应的内侧均设置能与键合夹具适配连接的定位器7；还包括能对第一夹爪连板4与第二夹爪连板6间运动进行导向的连接运动导向机构，通过第一拉手1、第二拉手2间的相对运动能驱动第一夹爪连板4与第二夹爪连板6之间相对运动，第一拉手1与第二拉手2靠近时，能使得第一夹爪5能与第二夹爪16相互靠近；第一拉手1与第二拉手2在连接运动导向机构作用下复位时，通过第一夹爪连板4与第二夹爪连板6间的相对运动能驱动第一夹爪5与第二夹爪16复位。具体地，第一拉手1通过第一拉手紧固螺丝3固定在第一夹爪连板4上，第二拉手2通过第二拉手紧固螺丝14固定在第二夹爪连板6上；第一夹爪5与第一夹爪连板4间相互垂直连接，第二夹爪16与第二夹爪连板6间相互垂直连接。第一拉手1与第一夹爪5分别位于第一夹爪连板4的两端，且第一拉手1与第二夹爪5分别位于第一夹爪连板4的两侧，同理，第二夹爪16以及第二拉手2也分别位于第二夹爪连板6的两侧，第一拉手1与第二拉手2位于第二夹爪连板6的同一侧，且第一拉手1与第二拉手2间相互平行。第一拉手1、第二拉手2的宽度大于第一夹爪连板4、第二夹爪连板6相对应的宽度。本技术实施例中，第一夹爪连板4的长度方向与第二夹爪连板6的长度方向相一致，第一夹爪连板4、第二夹爪连板6的结合部位于第一夹爪5与第二夹爪16之间，且第一拉手1、第二拉手2也位于第一夹爪5与第二夹爪16之间。在第一夹爪5、第二夹爪16上均设置定位器7，定位器7位于第一夹爪5、第二夹爪16的下部，定位器7能与键合夹具上的定位孔适配，即定位器7能嵌置进入键合夹具的定位孔内。当使得第一拉手1与第二拉手2靠近时，则第一拉手1、第二拉手2能带动第一夹爪连板4、第二夹爪连板6运动，从而能使得第一夹爪5与第二夹爪16相互靠近，当第一夹爪5与第二夹爪16靠近后，利用定位器7与键合夹具配合能实现对键合夹具的夹紧，处于夹紧状态的键合夹具能从键合机腔体中取出，防止高温夹具烫伤的危险，同时可以减少目前手动取放夹具对衬底带来的污染。本技术实施例中，通过连接运动导向机构能对第一夹爪连板4、第二夹爪连板6的运动进行导向，且在松开第一拉手1与第二拉手2后，连接运本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种键合夹具取放装置，其特征是：包括第一夹爪连板（4）、设置于所述第一夹爪连板（4）上的第一拉手（1）、第二夹爪连板（6）以及设置于所述第二夹爪连板（6）上的第二拉手（2）；在所述第一夹爪连板（4）远离第二夹爪连板（6）的端部设置第一夹爪（5），在所述第二夹爪连板（6）远离第一夹爪连板（4）的端部设置第二夹爪（16），在第一夹爪（5）、第二夹爪（16）相对应的内侧均设置能与键合夹具适配连接的定位器（7）；/n还包括能对第一夹爪连板（4）与第二夹爪连板（6）间运动进行导向的连接运动导向机构，通过第一拉手（1）、第二拉手（2）间的相对运动能驱动第一夹爪连板（4）与第二夹爪连板（6）之间相对运动，第一拉手（1）与第二拉手（2）靠近时，能使得第一夹爪（5）能与第二夹爪（16）相互靠近；第一拉手（1）与第二拉手（2）在连接运动导向机构作用下复位时，通过第一夹爪连板（4）与第二夹爪连板（6）间的相对运动能驱动第一夹爪（5）与第二夹爪（16）复位。/n

【技术特征摘要】
1.一种键合夹具取放装置，其特征是：包括第一夹爪连板（4）、设置于所述第一夹爪连板（4）上的第一拉手（1）、第二夹爪连板（6）以及设置于所述第二夹爪连板（6）上的第二拉手（2）；在所述第一夹爪连板（4）远离第二夹爪连板（6）的端部设置第一夹爪（5），在所述第二夹爪连板（6）远离第一夹爪连板（4）的端部设置第二夹爪（16），在第一夹爪（5）、第二夹爪（16）相对应的内侧均设置能与键合夹具适配连接的定位器（7）；
还包括能对第一夹爪连板（4）与第二夹爪连板（6）间运动进行导向的连接运动导向机构，通过第一拉手（1）、第二拉手（2）间的相对运动能驱动第一夹爪连板（4）与第二夹爪连板（6）之间相对运动，第一拉手（1）与第二拉手（2）靠近时，能使得第一夹爪（5）能与第二夹爪（16）相互靠近；第一拉手（1）与第二拉手（2）在连接运动导向机构作用下复位时，通过第一夹爪连板（4）与第二夹爪连板（6）间的相对运动能驱动第一夹爪（5）与第二夹爪（16）复位。


2.根据权利要求1所述的键合夹具取放装置，其特征是：所述第一拉手（1）通过第一拉手紧固螺丝（3）固定在第一夹爪连板（4）上，第二拉手（2）通过第二拉手紧固螺丝（14）固定在第二夹爪连板（6）上；第一夹爪（5）与第一夹爪连板（4）间相互垂直连接，第二夹爪（16）与第二夹爪连板（6）间相互垂直连接。


3.根据权利要求1或2所述的键合夹具取放装置，其特征是：在第一夹爪连板（4）的端部设置第一夹爪连板运动导向台阶面（18），所述第一夹爪连板运动导向台阶面（18）与第一夹爪（5）分别位于第一夹爪连板（4）的两端，在第二夹爪连板（6）的端部设置第二夹爪连板运动导向台阶面（15），所述第二夹爪连板运动导向台阶面（15）与第二夹爪（16）...

【专利技术属性】
技术研发人员：王云翔，冒薇，段仲伟，马冬月，许爱玲，李晓帅，
申请(专利权)人：苏州美图半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32