【技术实现步骤摘要】
陶瓷封帽与陶瓷底座键合用键合夹具
本技术涉及一种键合夹具，尤其是一种陶瓷封帽与陶瓷底座键合用键合夹具，属于键合夹具的
技术介绍
对陶瓷封帽与陶瓷衬底间的键合，由于陶瓷封帽与陶瓷衬底间对键合对准要求较高，目前多在试验环境下小批量的键合，无法满足工业中大批量的键合需求。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种陶瓷封帽与陶瓷底座键合用键合夹具，其结构紧凑，能有效实现陶瓷封帽与陶瓷底座间的对准，满足工业大批量的键合需求，使用方便，安全可靠。按照本技术提供的技术方案，所述陶瓷封帽与陶瓷底座键合用键合夹具，包括用于支撑陶瓷封帽的下极板以及位于所述下极板正上方的上极板，所述上极板通过极板支撑运动导向机构与下极板连接，上极板通过极板支撑运动导向机构能在下极板的上方运动；在上极板上设置若干用于放置陶瓷底座的底座槽，所述底座槽在上极板邻近下极板的一侧表面，在底座槽内设置用于将陶瓷底座夹紧在所述底座槽内的底座夹紧机构，陶瓷底座通过底座夹紧机构夹紧装配在上极板内相应的底座槽后，能...
【技术保护点】
1.一种陶瓷封帽与陶瓷底座键合用键合夹具，其特征是：包括用于支撑陶瓷封帽(6)的下极板(7)以及位于所述下极板(7)正上方的上极板(1)，所述上极板(1)通过极板支撑运动导向机构与下极板(7)连接，上极板(1)通过极板支撑运动导向机构能在下极板(7)的上方运动；/n在上极板(1)上设置若干用于放置陶瓷底座(2)的底座槽(10)，所述底座槽(10)在上极板(1)邻近下极板(7)的一侧表面，在底座槽(10)内设置用于将陶瓷底座(2)夹紧在所述底座槽(10)内的底座夹紧机构，陶瓷底座(2)通过底座夹紧机构夹紧装配在上极板(1)内相应的底座槽(10)后，能跟随上极板(1)同步运动；...
【技术特征摘要】
1.一种陶瓷封帽与陶瓷底座键合用键合夹具，其特征是：包括用于支撑陶瓷封帽(6)的下极板(7)以及位于所述下极板(7)正上方的上极板(1)，所述上极板(1)通过极板支撑运动导向机构与下极板(7)连接，上极板(1)通过极板支撑运动导向机构能在下极板(7)的上方运动；
在上极板(1)上设置若干用于放置陶瓷底座(2)的底座槽(10)，所述底座槽(10)在上极板(1)邻近下极板(7)的一侧表面，在底座槽(10)内设置用于将陶瓷底座(2)夹紧在所述底座槽(10)内的底座夹紧机构，陶瓷底座(2)通过底座夹紧机构夹紧装配在上极板(1)内相应的底座槽(10)后，能跟随上极板(1)同步运动；上极板(1)与下极板(7)靠近时，陶瓷底座(2)能与正对应的陶瓷封帽(6)贴合后键合，且陶瓷底座(2)与陶瓷封帽(6)键合后，上极板(1)通过陶瓷底座(2)能带动陶瓷封帽(6)脱离下极板(7)。
2.根据权利要求1所述的陶瓷封帽与陶瓷底座键合用键合夹具，其特征是：所述极板支撑运动导向机构包括均匀对称分布的导向支撑柱(9)以及能套在所述导向支撑柱(9)上的导向支撑弹性体(8)，导向支撑弹性体(8)位于上极板(1)与下极板(7)之间，上极板(1)在下极板(7)上方在导向支撑柱(9)的导向作用下能沿导向支撑柱(9)的长度方向运动，以使得上极板(1)靠近或远离下极板(7)。
3.根据权利要求2所述的陶瓷封帽与陶瓷底座键合用键合夹具，其特征是：所述上极板(1)、下极板(7)均呈长方体状，导向支撑柱(9)分布于上极板(1)、下极板(7)相对应的四个端角；
在下极板(7)的两端还设置极板导柱(4)，在上极板(1)上设置导柱套(5)，极板导柱(4)的一端与下极板(7)连接，极板导柱(4)的另一端能穿入导柱套(5)内，极板导柱(4)与导向支撑柱(9)相互平行，上极板(1)在极板导柱(4)以及导向支撑柱(9)的导向作用下能靠近或远离下极板(7)。
4.根据权利要求1所述的陶瓷封帽与陶瓷底座键合用键合夹具，其特征是：在下极板(7)上设置若干能与陶瓷封帽(6)适配的封帽槽(12)，所述封帽槽(12)在下极板(7)上呈阵列分布，所述陶瓷封帽(6)与陶瓷底座(2)键合后，陶瓷底座(2)跟随上极板(1)运动时，并能带动陶瓷封帽(6)从封帽槽(12)内脱出。
5.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员：王云翔，冒薇，段仲伟，马冬月，祝翠梅，姚园，许爱玲，
申请(专利权)人：苏州美图半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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