本技术涉及一种真空纳米压印装置。其包括：纳米压印本体，包括用于支撑衬底以及掩模版的压印支撑座、用于提供压印压力的压印动力源以及用于压印导向的压印导向机构，其中，压印支撑座对衬底以及掩模版支撑时，掩模版位于衬底的上方；压印动力源，包括可伸...

本实用新型涉及一种晶圆键合退火用保压夹具

本发明涉及一种晶圆级碱金属气室的制备方法及装置。其包括制备预气室晶圆单元，将碱金属沉积在正对应的气室孔槽内，且在气室孔槽内沉积所需的碱金属后，将预气室晶圆单元冷却至常温；提供气室封装晶圆，并将所述气室封装晶圆与上述冷却至常温的预气室晶圆...

本实用新型涉及一种键合夹具，尤其是一种陶瓷封帽与陶瓷底座键合用键合夹具，属于键合夹具的技术领域。陶瓷封帽支撑于下极板上，陶瓷底座通过夹紧体能夹紧在上极板的底座槽内，陶瓷封帽在下极板上可呈阵列分布，陶瓷底座在上极板上也可呈阵列分布，陶瓷底...

本实用新型涉及一种对准定位夹具，尤其是一种衬底键合用对准定位夹具，属于晶圆键合定位的技术领域。在下压头上设置衬底切边弹性销以及衬底外缘弹性销，在底座上设置弹性阻尼旋转机构，利用弹性切边弹性销、衬底外缘弹性销以及弹性阻尼旋转机构的衬底挡片...

本发明涉及一种硅‑玻璃用低温阳极键合工艺，其包括如下步骤：步骤1、对硅晶圆、玻璃衬底进行表面清洗工艺；步骤2、对玻璃衬底、硅晶圆进行氧等离子体处理；步骤3、将上述玻璃衬底与硅晶圆置于阳极键合设备中，当阳极键合设备达到所需的真空度时，对玻...

本实用新型涉及一种键合夹具，尤其是一种真空低温键合用键合夹具，属于低温键合的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述真空低温键合用键合夹具，包括用于收容上晶圆的上晶圆定位机构、用于支撑下晶圆的下晶圆定位支撑体以及能驱动下晶圆定位支撑...

本实用新型涉及一种真空低温键合的键合夹具，其包括夹具座、上晶圆托盘机构、下晶圆托盘机构以及托盘运动驱动机构，通过上晶圆托盘机构能收容上晶圆，通过下晶圆托盘机构支撑下晶圆，通过托盘运动驱动机构使得上晶圆与下晶圆相互远离时，能对上晶圆、下晶...

本实用新型涉及一种真空胶键合机，其包括能抽真空的真空腔体，在所述真空腔体的顶部设置可开关的腔盖板，在所述真空腔体内设置焊接波纹管，在所述焊接波纹管的外侧设置波纹管导向柱，在焊接波纹上方设置波纹管转接板，在所述波纹管转接板上设置能将待键合...

本实用新型涉及一种溅射台托盘对准转移装置，其包括夹具操作装置、溅射台托盘以及能对准夹具；在对准夹具上设置若干均匀分布的夹爪压紧机构，通过压紧夹爪能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧；在溅射台托盘上设置若干弹性压紧机构，对准夹具套置在溅...

本实用新型涉及一种喷涂设备，尤其是一种大面积多喷头喷涂设备，属于喷涂设备的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述大面积多喷头喷涂设备，包括喷涂腔室以及设置于所述喷涂腔室内的工作面板；还包括位于工作面板上的真空吸盘、设置于所述喷涂腔...

本实用新型涉及一种匀胶装置，尤其是一种匀胶机真空匀胶装置，属于微纳米的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述匀胶机真空匀胶装置，包括托盘以及若干设置于所述托盘中心区的真空槽道区；在所述托盘内还设置大气槽道，所述大气槽道位于真空槽道...

本实用新型涉及一种防堵盖，尤其是一种喷胶机喷头防堵盖，属于喷胶机的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述喷胶机喷头防堵盖，包括能套在二元喷头上的密封盖，在所述密封盖内设置用于盛放丙酮容易的储液槽，在储液槽槽口设置与二元喷头适配的密...

本实用新型涉及一种真空贴膜机，其包括机壳以及设置于所述机壳内上部的真空腔体，在机壳上设置能与真空腔体适配连接的腔盖；在真空腔体内设置用于支撑待贴膜晶圆的晶圆托盘，在真空腔体内还设置用于支撑膜的晶圆框架，所述晶圆框架位于晶圆托盘的上方；在...

本实用新型涉及一种贴膜装置，尤其是一种手动贴膜装置，属于MEMS的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述手动贴膜装置，包括用于支撑衬底并能对所支撑的衬底进行加热的加热器，所述加热器位于机壳的顶部，在加热器上设有清洁保护膜，在机壳上...

本实用新型涉及一种自动解键合机，其衬底吸附加热装置包括上连接板、设置于所述上连接板下侧面的上真空吸盘以及设置于所述上连接板上侧面的焊接波纹管，向焊接波纹管内充气后，通过焊接波纹管的伸长能驱动上真空吸盘向靠近正下方的衬底吸附固定顶片装置运...

本实用新型涉及一种夹具，尤其是一种三层硅片键合对准夹具，属于微纳米加工的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述三层硅片键合对准夹具，包括能对待键合硅片进行支撑配合的夹具体以及设置于所述夹具体上若干均匀分布的真空吸附孔，在夹具体上还...

本实用新型涉及一种夹具，尤其是一种低温键合夹具，属于低温键合的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述低温键合夹具，包括用于收容待低温键合硅片的硅片收容器、用于支撑所述硅片收容器的支撑座以及用于控制硅片收容器开闭状态的容器开闭连杆机...

本实用新型涉及一种键合夹具取放装置，其包括第一夹爪连板、第一拉手、第二夹爪连板以及第二拉手；在第一夹爪连板的端部设置第一夹爪，在所述第二夹爪连板的端部设置第二夹爪，在第一夹爪、第二夹爪相对应的内侧均设置定位器；还包括连接运动导向机构，第...

本实用新型涉及一种匀胶机，尤其是一种带有FFU单元的匀胶机，属于匀胶机的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述带有FFU单元的匀胶机，包括机架以及位于所述机架上的匀胶腔室；在所述匀胶腔室的顶部设置能提供洁净空气的FFU单元，在匀胶...