【技术实现步骤摘要】
喷胶机喷头防堵盖
本技术涉及一种防堵盖，尤其是一种喷胶机喷头防堵盖，属于喷胶机的
技术介绍
在MEMS领域，晶圆喷胶机是一种常用的设备，通过二元喷头将液体打散成微米级小雾滴，然后对晶圆进行喷。二元喷头内部供液是通过毛细管（孔径100微米左右）完成，当晶圆喷胶机停用过程中（如夜间、周末），毛细管内部的液体容易凝固堵塞毛细管，由于毛细管内部孔径尺寸非常小，被堵塞后很难疏通，只能报废处理。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种喷胶机喷头防堵盖，其结构紧凑，能有效防止喷胶机喷头的堵塞，使用方便，安全可靠。按照本技术提供的技术方案，所述喷胶机喷头防堵盖，包括能套在二元喷头上的密封盖，在所述密封盖内设置用于盛放丙酮容易的储液槽，在储液槽槽口设置与二元喷头适配的密封面。在所述密封盖上还设置定位侧壁，所述定位侧壁在密封盖上呈竖直分布，二元喷头的头端伸入储液槽内时，定位侧壁贴合在二元喷头上。所述密封面呈喇叭状。所述密封盖与定位侧壁采用PP材料一体加工成型。本技术的优点：储液槽内部可以盛有少量丙酮液体，密封盖套在二元喷头的头端，密封面与二元喷头外表面精密贴合，防止储液槽内部丙酮挥发过快，同时定位侧壁与二元喷头外表面紧配，可防止密封盖与二元喷头间脱离。在晶圆喷胶机停用时，在储液槽内放入丙酮，丙酮挥发产生的丙酮蒸汽会时刻保持毛细管内部液体湿润，从而防止毛细管堵塞，即能防止二元喷头的堵塞，使用方便，安全可靠。附图说明图1为本...
【技术保护点】
1.一种喷胶机喷头防堵盖，其特征是：包括能套在二元喷头（6）上的密封盖（1），在所述密封盖（1）内设置用于盛放丙酮容易的储液槽（3），在储液槽（3）槽口设置与二元喷头（6）适配的密封面（4）。/n
【技术特征摘要】
1.一种喷胶机喷头防堵盖，其特征是：包括能套在二元喷头（6）上的密封盖（1），在所述密封盖（1）内设置用于盛放丙酮容易的储液槽（3），在储液槽（3）槽口设置与二元喷头（6）适配的密封面（4）。
2.根据权利要求1所述的喷胶机喷头防堵盖，其特征是：在所述密封盖（1）上还设置定位侧壁（2），所述定位侧壁（2）在密封盖...
【专利技术属性】
技术研发人员：王云翔，冒薇，段仲伟，马冬月，许爱玲，李晓帅，祝翠梅，姚园，
申请(专利权)人：苏州美图半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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