溅射台托盘对准转移装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种溅射台托盘对准转移装置，其包括夹具操作装置、溅射台托盘以及能对准夹具；在对准夹具上设置若干均匀分布的夹爪压紧机构，通过压紧夹爪能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧；在溅射台托盘上设置若干弹性压紧机构，对准夹具套置在溅射台托盘上后，利用弹性压紧机构能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧，以将处于对准状态的衬底与掩膜板转移至溅射台托盘上；通过夹爪控制状态机构使得压紧夹爪张开时，能将溅射台托盘从对准夹具内移出。本实用新型专利技术结构紧凑，能保证溅射台托盘在转移过程中衬底与掩膜板间不会发生位移，能避免对衬底以及溅射台真空腔体造成污染，使用方便，安全可靠。

Sputtering table tray alignment transfer device

【技术实现步骤摘要】
溅射台托盘对准转移装置
本技术涉及一种对准转移装置，尤其是一种溅射台托盘对准转移装置，属于微纳米加工的

技术介绍
在微纳米
，经常要用到微结构溅射工艺。目前，在进行建设工艺时，将对准好的衬底与掩膜板在侧边用胶粘起来，但是这种方式有时会对衬底造成污染，还有可能沾污溅射台真空腔室。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种。溅射台托盘对准转移装置，其结构紧凑，能保证溅射台托盘在转移过程中衬底与掩膜板间不会发生位移，能避免对衬底以及溅射台真空腔体造成污染，使用方便，安全可靠。按照本技术提供的技术方案，所述溅射台托盘对准转移装置，包括夹具操作装置、能置于所述夹具操作装置内的溅射台托盘以及能套置在所述溅射台托盘上的对准夹具；在对准夹具上设置若干均匀分布的夹爪压紧机构，所述夹爪压紧机构包括压紧夹爪以及能控制压紧夹爪压紧状态的夹爪状态控制机构，通过压紧夹爪能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧；在溅射台托盘上设置若干弹性压紧机构，对准夹具套置在溅射台托盘上后，利用弹性压紧机构能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧，以将处于对准状态的衬底与掩膜板转移至溅射台托盘上；通过夹爪控制状态机构使得压紧夹爪张开时，能将溅射台托盘从对准夹具内移出。所述夹具操作装置包括夹具拆装底盘以及位于所述夹具拆装底盘正上方的夹具拆装面板，所述夹具拆装面板通过铰链与夹具拆装底盘连接，在夹具拆装底盘上还设置能对夹具拆装面板进行支撑的面板定位柱；在夹具拆装底盘的中心区设置转移托盘支撑板，在转移托盘支撑板上设置若干能与溅射台托盘适配的转移托盘定位销，在转移托盘支撑板的外圈设置若干能与对准夹具适配的夹具定位销。所述溅射台托盘包括托盘体以及若干设置于托盘体内的托盘体定位孔，托盘体通过托盘体定位孔与转移托盘定位销配合能置于转移托盘支撑板上，托盘体上还设置若干能与对准夹具适配的托盘定位缺口。所述弹性压紧机构包括能相对托盘体运动的弹性压杆以及设置于弹性压杆上的托盘压板，托盘压板位于托盘体的上方且所述托盘压板与托盘体相互平行；弹性压杆的下部位于托盘体内的弹性体放置槽内，弹性体放置槽内设置套在弹性压杆上的压杆弹性体，弹性压杆位于弹性体放置槽的端部设置用于支撑压杆弹性体的弹性挡片。所述对准夹具包括夹具体以及位于所述夹具体中心区的夹具体通孔，夹具体通孔贯通夹具体且夹具体通孔与托盘体适配，夹具体通过夹具体通孔能套置在托盘体上，夹具体套置在托盘体上后，夹具体与托盘体呈同轴分布；在夹具体上还设置与压紧夹爪对应的对准支撑块，所述对准支撑块能置于托盘体上的托盘定位缺口内。所述夹爪状态控制机构包括与压紧夹爪适配连接的压爪连接机构以及与所述压爪连接机构适配的状态操作机构，所述压爪连接机构设置于夹具体上，状态操作机构设置于夹具拆装面板上，通过状态操作机构与压爪连接机构配合能控制压紧夹爪对衬底、掩膜板的压紧状态；所述压爪连接机构包括能在夹具体上滑动的夹爪拉块以及与所述夹爪拉块适配连接的夹爪拉块拉簧，压紧夹爪通过压爪连接头与夹爪拉块连接，通过夹爪拉块拉簧与夹爪拉块配合能使得压紧夹爪能对衬底、掩膜板进行压紧；通过状态操作机构驱动夹爪拉块在夹具体上向远离夹具体中心的方向运动时，能使得压紧夹爪向上翘起。所述状态操作机构包括与夹具拆装面板固定连接的平动盖板以及通过直线轴承与所述平动盖板适配连接的勾板导向轴，勾板导向轴邻近压紧夹爪的端部设置推拉勾板，所述推拉勾板的一端穿出平动盖板外，推拉勾板的另一端能与夹爪拉块配合，驱动推拉勾板相对平动盖板以及夹具拆装面板运动时，通过推拉勾板与夹爪拉块的配合，能驱动夹爪拉块在夹具体上运动。所述推杆勾板与勾板导向轴相互垂直，推拉勾板通过勾板固定螺丝与勾板导向轴固定，在勾板导向轴上还设置勾板弹簧，所述勾板弹簧位于推杆勾板与直线轴承之间。所述夹爪连接头通过拉块连接头转轴与夹爪拉块连接，压紧夹爪通过压爪连接头转轴与夹爪连接头铰接，所述压紧夹爪还通过定位块转轴与夹爪连接头下方的夹爪定位块铰接。在夹具体内设置夹爪拉块下滑板体，在夹爪拉块的下表面设置能与所述夹爪拉块下滑板体适配的夹爪拉块上滑板体，夹爪拉块通过夹爪拉块上滑板体与夹爪拉块下滑板体配合能在夹具体上沿所述夹爪拉块的长度方向滑动。本技术的优点：溅射台托盘以及对准夹具均能置于夹具操作装置内，通过对准夹具上的压紧夹爪能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧；对准夹具套置在溅射台托盘上后，利用溅射台托盘上的弹性压紧机构能对处于对准状态的衬底与掩膜板进行压紧，以将处于对准状态的衬底与掩膜板转移至溅射台托盘上；通过夹爪控制状态机构使得压紧夹爪张开时，能将溅射台托盘从对准夹具内移出，即能保证溅射台托盘在转移过程中衬底与掩膜板间不会发生位移，能避免对衬底以及溅射台真空腔体造成污染，使用方便，安全可靠。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术夹具操作装置的结构示意图。图3为本技术压紧夹爪在夹具操作装置内对衬底、掩膜板进行压紧的示意图。图4为本技术压紧夹爪在夹具操作装置内呈翘起状态的示意图。图5为本技术对准夹具的立体图。图6为本技术压紧夹爪在夹具体上能对衬底、掩膜板进行压紧的示意图。图7为本技术压紧夹爪在夹具体上处于翘起状态的示意图。图8为本技术溅射台推盘的示意图。图9为本技术弹性压紧机构与托盘体配合的示意图。附图标记说明：1-夹具操作装置、2-对准夹具、3-溅射台托盘、4-夹具拆装面板、5-铰链、6-推拉勾板、7-平动盖板固定螺丝、8-平动盖板、9-勾板导向轴、10-直线轴承、11-夹具拆装底盘、12-转移托盘定位销、13-转移托盘支撑板、14-面板定位柱、15-面板拉手、16-夹具定位销、17-夹爪拉块端板、18-勾板弹簧、19-勾板固定螺丝、20-压紧夹爪、21-夹具体、22-夹具体通孔、23-拉块连接头转轴、24-夹爪连接头、25-压爪连接头转轴、26-夹爪拉块拉簧、27-夹爪拉块、28-第一拉簧固定螺丝、29-勾板定位槽、30-夹爪拉块下滑板体固定螺丝、31-夹爪拉块下滑板体、32-夹爪定位块、33-定位块转轴、34-夹爪拉块上滑板体、35-夹爪拉块上滑板体固定螺丝、36-托盘体、37-弹性压紧机构、38-托盘定位缺口、39-弹性压杆、40-托盘压板、41-压杆弹性体、42-弹性挡片固定螺丝、43-弹性挡片、44-衬底、45-掩膜板、46-托盘体定位孔、47-对准支撑块、48-真空吸附孔、49-弹性体放置槽以及50-托盘取出操作孔。具体实施方式下面结合具体附图和实施例对本技术作进一步说明。如图1~图9所示：为了能保证溅射台托盘3在转移过程中衬底44与掩膜板45间不会发生位移，能避免对衬底44以及溅射台真空腔体造成污染，本技术包括夹具操作装置1、能置于所述夹具操作装置1内的溅射台托盘3以及能套置在所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅射台托盘对准转移装置，其特征是：包括夹具操作装置（1）、能置于所述夹具操作装置（1）内的溅射台托盘（3）以及能套置在所述溅射台托盘（3）上的对准夹具（2）；/n在对准夹具（2）上设置若干均匀分布的夹爪压紧机构，所述夹爪压紧机构包括压紧夹爪（20）以及能控制压紧夹爪（20）压紧状态的夹爪状态控制机构，通过压紧夹爪（20）能对处于对准状态的衬底（44）与掩膜板（45）进行压紧；/n在溅射台托盘（3）上设置若干弹性压紧机构（37），对准夹具（2）套置在溅射台托盘（3）上后，利用弹性压紧机构（37）能对处于对准状态的衬底（44）与掩膜板（45）进行压紧，以将处于对准状态的衬底（44）与掩膜板（45）转移至溅射台托盘（3）上；通过夹爪控制状态机构使得压紧夹爪（20）张开时，能将溅射台托盘（3）从对准夹具（2）内移出。/n

【技术特征摘要】
1.一种溅射台托盘对准转移装置，其特征是：包括夹具操作装置（1）、能置于所述夹具操作装置（1）内的溅射台托盘（3）以及能套置在所述溅射台托盘（3）上的对准夹具（2）；
在对准夹具（2）上设置若干均匀分布的夹爪压紧机构，所述夹爪压紧机构包括压紧夹爪（20）以及能控制压紧夹爪（20）压紧状态的夹爪状态控制机构，通过压紧夹爪（20）能对处于对准状态的衬底（44）与掩膜板（45）进行压紧；
在溅射台托盘（3）上设置若干弹性压紧机构（37），对准夹具（2）套置在溅射台托盘（3）上后，利用弹性压紧机构（37）能对处于对准状态的衬底（44）与掩膜板（45）进行压紧，以将处于对准状态的衬底（44）与掩膜板（45）转移至溅射台托盘（3）上；通过夹爪控制状态机构使得压紧夹爪（20）张开时，能将溅射台托盘（3）从对准夹具（2）内移出。


2.根据权利要求1所述的溅射台托盘对准转移装置，其特征是：所述夹具操作装置（1）包括夹具拆装底盘（11）以及位于所述夹具拆装底盘（11）正上方的夹具拆装面板（4），所述夹具拆装面板（4）通过铰链（5）与夹具拆装底盘（11）连接，在夹具拆装底盘（11）上还设置能对夹具拆装面板（4）进行支撑的面板定位柱（14）；
在夹具拆装底盘（11）的中心区设置转移托盘支撑板（13），在转移托盘支撑板（13）上设置若干能与溅射台托盘（3）适配的转移托盘定位销（12），在转移托盘支撑板（13）的外圈设置若干能与对准夹具（2）适配的夹具定位销（16）。


3.根据权利要求2所述的溅射台托盘对准转移装置，其特征是：所述溅射台托盘（3）包括托盘体（36）以及若干设置于托盘体（36）内的托盘体定位孔（46），托盘体（36）通过托盘体定位孔（46）与转移托盘定位销（12）配合能置于转移托盘支撑板（13）上，托盘体（36）上还设置若干能与对准夹具（2）适配的托盘定位缺口（38）。


4.根据权利要求3所述的溅射台托盘对准转移装置，其特征是：所述弹性压紧机构（37）包括能相对托盘体（36）运动的弹性压杆（39）以及设置于弹性压杆（39）上的托盘压板（40），托盘压板（40）位于托盘体（36）的上方且所述托盘压板（40）与托盘体（36）相互平行；
弹性压杆（39）的下部位于托盘体（36）内的弹性体放置槽（49）内，弹性体放置槽（49）内设置套在弹性压杆（39）上的压杆弹性体（41），弹性压杆（39）位于弹性体放置槽（49）的端部设置用于支撑压杆弹性体（41）的弹性挡片（43）。


5.根据权利要求3所述的溅射台托盘对准转移装置，其特征是：所述对准夹具（2）包括夹具体（21）以及位于所述夹具体（21）中心区的夹具体通孔（22），夹具体通孔（22）贯通夹具体（21）且夹具体通孔（22）与托盘体（36）适配，夹具体（21）通过夹具体通孔（22）能套置在托盘体（36）上，夹具体（21）套置在托盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：王云翔，冒薇，段仲伟，马冬月，许爱玲，李晓帅，
申请(专利权)人：苏州美图半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32