在基板上沉积沉积材料的蒸镀板、蒸镀设备、以及在基板上沉积沉积材料的方法技术

一种用于在基板(5，5a，5b)上沉积沉积材料的蒸镀板(100)，蒸镀板(100)具有第一侧(S1)和与第一侧(S1)相对的第二侧(S2)，包括：主体板(1)；第一冷却层(11)，其位于主体板(1)上并且位于蒸镀板(100)的第一侧(S1)；以及第一加热层(12)，其位于第一冷却层(11)的远离主体板(1)的一侧。第一冷却层(11)构造为冷却位于蒸镀板(100)的第一侧(S1)的第一加热层(12)。第一加热层(12)构造为加热沉积在蒸镀板(100)的第一侧(S1)上的材料。还提供一种蒸镀设备、在基板(5，5a，5b)上沉积沉积材料的方法，以及显示设备。

Evaporation plate, evaporation equipment for depositing deposition materials on the substrate, and method for depositing deposition materials on the substrate

A evaporated plate (100) for depositing deposition materials on a substrate (5, 5A, 5b) has a first side (S1) and a second side (S2) opposite to the first side (S1), including: a main body plate (1); a first cooling layer (11), which is on the main body plate (1) and is on the first side (S1) of the evaporated plate (100); and a first heating layer (12), which is far away from the main body plate (1) of the first cooling layer (11) One side. The first cooling layer (11) is configured to cool the first heating layer (12) on the first side (S1) of the evaporation plate (100). The first heating layer (12) is configured to heat the material deposited on the first side (S1) of the evaporation plate (100). The invention also provides a evaporation plating device, a method for depositing a deposition material on a substrate (5, 5A, 5b), and a display device.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在基板上沉积沉积材料的蒸镀板、蒸镀设备、以及在基板上沉积沉积材料的方法
本专利技术涉及显示技术，更具体地，涉及用于在基板上沉积沉积材料的蒸镀板、蒸镀设备、以及在基板上沉积沉积材料的方法。
技术介绍
在制作有机发光二极管(OLED)的常规工艺中，利用蒸镀坩埚将有机发光材料蒸镀到基板上。具体地，将有机发光材料置于具有热源的蒸镀坩埚内。当将电力施加至热源时，将有机发光材料蒸发或升华为蒸汽。蒸发或升华的蒸汽在其到达位于蒸镀坩埚的顶部的基板时凝结。有机发光材料被沉积在基板上。
技术实现思路
在一方面，本公开提供了一种用于在基板上沉积沉积材料的蒸镀板，该蒸镀板具有第一侧和与第一侧相对的第二侧，该蒸镀板包括：主体板；第一冷却层，其位于主体板上并且位于蒸镀板的第一侧；以及第一加热层，其位于第一冷却层的远离主体板的一侧；其中，第一冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第一侧的第一加热层；并且，第一加热层构造为加热沉积在蒸镀板的第一侧上的材料。可选地，蒸镀板还包括：第二冷却层，其位于主体板上并且位于蒸镀板的第二侧；以及第二加热层，其位于第二冷却层的远离主体板的一侧；其中，第二冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第二侧的第二加热层；并且，第二加热层构造为加热沉积在蒸镀板的第二侧上的材料。可选地，蒸镀板还包括：第一热扩散层，其位于第一加热层的远离第一冷却层的一侧，并且构造为分配从第一加热层传导的热；以及第二热扩散层，其位于第二加热层的远离第二冷却层的一侧，并且构造为分配从第二加热层传导的热；其中，第一冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第一侧的第一加热层和第一热扩散层；第一加热层构造为通过第一热扩散层加热沉积在第一热扩散层上的材料；第二冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第二侧的第二加热层和第二热扩散层；并且，第二加热层构造为通过第二热扩散层加热沉积在第二热扩散层上的材料。可选地，蒸镀板还包括枢轴，其构造为使蒸镀板在第一位置和第二位置之间旋转。在另一方面，本公开提供了一种蒸镀设备，其包括本文描述的蒸镀板或通过本文描述的方法制造的蒸镀板。可选地，蒸镀设备还包括：多个喷嘴，其构造为将蒸发的沉积材料扩散到蒸镀板上。可选地，蒸镀板还包括：第二冷却层，其位于主体板上并且位于蒸镀板的第二侧；以及第二加热层，其位于第二冷却层的远离主体板的一侧；其中，第二冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第二侧的第二加热层；并且，第二加热层构造为加热沉积在蒸镀板的第二侧上的材料。可选地，蒸镀板还包括：第一热扩散层，其位于第一加热层的远离第一冷却层的一侧，并且构造为分配从第一加热层传导的热；以及第二热扩散层，其位于第二加热层的远离第二冷却层的一侧，并且构造为分配从第二加热层传导的热；其中，第一冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第一侧的第一加热层和第一热扩散层；第一加热层构造为通过第一热扩散层加热沉积在第一热扩散层上的材料；第二冷却层构造为冷却位于蒸镀板的第二侧的第二加热层和第二热扩散层；并且，第二加热层构造为通过第二热扩散层加热沉积在第二热扩散层上的材料。可选地，蒸镀板构造为在第一位置和第二位置之间旋转；其中，当蒸镀板位于第一位置时，多个喷嘴面对蒸镀板的第一侧，并且构造为将蒸发的沉积材料扩散到位于第一位置的蒸镀板的第一侧上；并且，当蒸镀板位于第二位置时，多个喷嘴面对蒸镀板的第二侧，并且构造为将蒸发的沉积材料扩散到位于第二位置的蒸镀板的第二侧上。可选地，第二加热层构造为当蒸镀板位于第一位置时对扩散在蒸镀板的第二侧上的沉积材料进行加热；并且，第一加热层构造为当蒸镀板位于第二位置时对扩散在蒸镀板的第一侧上的沉积材料进行加热。可选地，蒸镀设备还包括枢轴，其与蒸镀板耦接并且构造为使蒸镀板在第一位置和第二位置之间旋转。可选地，蒸镀设备还包括：沉积阻止板，其位于蒸镀板和多个喷嘴之间；其中，沉积阻止板具有使蒸镀板暴露的开口；多个喷嘴相对于开口可运动；并且，当多个喷嘴位于与开口对应的区域之外时，阻止蒸发的沉积材料沉积在蒸镀板上。在另一方面，本公开提供了一种在基板上沉积沉积材料的方法，包括：提供本文描述的或通过本文描述的方法制造的蒸镀设备；将蒸镀板设置在第一位置，在该第一位置处，多个喷嘴面对蒸镀板的第一侧；以及将来自多个喷嘴的蒸发的沉积材料沉积到位于第一位置处的蒸镀板的第一侧上，从而形成第一沉积材料层。可选地，所述方法还包括：将蒸镀板设置在第二位置，在该第二位置处，多个喷嘴面对蒸镀板的第二侧；以及将来自多个喷嘴的蒸发的沉积材料沉积到位于第二位置处的蒸镀板的第二侧上，从而形成第二沉积材料层。可选地，蒸镀设备还包括：沉积阻止板，其位于蒸镀板和多个喷嘴之间；沉积阻止板具有使蒸镀板暴露的开口；多个喷嘴相对于开口可运动；当多个喷嘴位于与开口对应的区域之外时，阻止蒸发的沉积材料沉积在蒸镀板上；其中，在形成第一沉积材料层之后和将蒸镀板设置在第二位置之前，所述方法还包括：将多个喷嘴移动到与开口相对应的区域之外。可选地，所述方法还包括：在第一加热层的远离主体板的一侧提供第一基板；在第一基板的靠近第一加热层的一侧提供第一掩模板；当蒸镀板位于第二位置时对第一加热层进行加热，以将第一沉积材料层加热到使得第一沉积材料层中的第一沉积材料蒸发的温度；以及将第一沉积材料沉积在第一基板上。可选地，在沉积第一沉积材料之后，所述方法还包括：冷却第一冷却层以降低第一加热层的温度；将蒸镀板设置在第一位置；以及将来自多个喷嘴的蒸发的沉积材料沉积到位于第一位置处的蒸镀板的第一侧上，从而形成第一沉积材料层。可选地，所述方法还包括：在第二加热层的远离主体板的一侧提供第二基板；在第二基板的靠近第二加热层的一侧提供第二掩模板；当蒸镀板位于第一位置时对第二加热层进行加热，以将第二沉积材料层加热到使得第二沉积材料层中的第二沉积材料蒸发的温度；以及将第二沉积材料沉积在第二基板上。在另一方面，本公开提供了一种显示设备，其中显示设备的至少一个层由本文所述的方法制造。可选地，所述显示设备为有机发光二极管显示设备；并且所述至少一个层包括有机发光层。附图说明以下附图仅为根据所公开的各种实施例的用于示意性目的的示例，而不旨在限制本专利技术的范围。图1是示出根据本公开的一些实施例中的蒸镀设备的侧视示意图。图2是示出根据本公开的一些实施例中的蒸镀设备的正视示意图。图3是示出根据本公开的一些实施例中的蒸镀设备的正视示意图。图4至图8示出了根据本公开的一些实施例中的将沉积材料沉积在基板上的过程。具体实施方式现在将参照以下实施例更具体地描述本公开。需注意，以下对一些实施例的描述仅针对示意和描述的目的而呈现于此。其不旨在是穷尽性的或者受限为所公开的确切形式。在将沉积材料沉积在基板上的传统工艺中，沉积材料从多个喷嘴中蒸发出来，然后在基板的表面上凝结。离开多个喷嘴的蒸汽以与基板的表面不垂直的一定角度到达基板的表面。此外，通常，由于制造工艺的限制，导致在置于基板之上的掩模板和基板之间存在小间隙。在本公开本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于在基板上沉积沉积材料的蒸镀板，该蒸镀板具有第一侧和与第一侧相对的第二侧，该蒸镀板包括：/n主体板；/n第一冷却层，其位于所述主体板上并且位于所述蒸镀板的第一侧；和/n第一加热层，其位于所述第一冷却层的远离所述主体板的一侧；/n其中，所述第一冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第一侧的所述第一加热层；并且/n所述第一加热层构造为加热沉积在所述蒸镀板的第一侧上的材料。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在基板上沉积沉积材料的蒸镀板，该蒸镀板具有第一侧和与第一侧相对的第二侧，该蒸镀板包括：
主体板；
第一冷却层，其位于所述主体板上并且位于所述蒸镀板的第一侧；和
第一加热层，其位于所述第一冷却层的远离所述主体板的一侧；
其中，所述第一冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第一侧的所述第一加热层；并且
所述第一加热层构造为加热沉积在所述蒸镀板的第一侧上的材料。


2.根据权利要求1所述的蒸镀板，还包括：
第二冷却层，其位于所述主体板上并且位于所述蒸镀板的第二侧；和
第二加热层，其位于所述第二冷却层的远离所述主体板的一侧；
其中，所述第二冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第二侧的所述第二加热层；并且
所述第二加热层构造为加热沉积在所述蒸镀板的第二侧上的材料。


3.根据权利要求2所述的蒸镀板，还包括：
第一热扩散层，其位于所述第一加热层的远离所述第一冷却层的一侧，并且构造为分配从所述第一加热层传导的热；和
第二热扩散层，其位于所述第二加热层的远离所述第二冷却层的一侧，并且构造为分配从所述第二加热层传导的热；
其中，所述第一冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第一侧的所述第一加热层和所述第一热扩散层；
所述第一加热层构造为通过所述第一热扩散层加热沉积在所述第一热扩散层上的材料；
所述第二冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第二侧的所述第二加热层和所述第二热扩散层；并且
所述第二加热层构造为通过所述第二热扩散层加热沉积在所述第二热扩散层上的材料。


4.根据权利要求2所述的蒸镀板，还包括：枢轴，其构造为使所述蒸镀板在第一位置和第二位置之间旋转。


5.一种蒸镀设备，包括根据权利要求1所述的蒸镀板。


6.根据权利要求5所述的蒸镀设备，还包括：多个喷嘴，其构造为将蒸发的沉积材料扩散到所述蒸镀板上。


7.根据权利要求6所述的蒸镀设备，其中，所述蒸镀板还包括：
第二冷却层，其位于所述主体板上并且位于所述蒸镀板的第二侧；和
第二加热层，其位于所述第二冷却层的远离所述主体板的一侧；
其中，所述第二冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第二侧的所述第二加热层；并且
所述第二加热层构造为加热沉积在所述蒸镀板的第二侧上的材料。


8.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其中，所述蒸镀板还包括：
第一热扩散层，其位于所述第一加热层的远离所述第一冷却层的一侧，并且构造为分配从所述第一加热层传导的热；和
第二热扩散层，其位于所述第二加热层的远离所述第二冷却层的一侧，并且构造为分配从所述第二加热层传导的热；
其中，所述第一冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第一侧的所述第一加热层和所述第一热扩散层；
所述第一加热层构造为通过所述第一热扩散层加热沉积在所述第一热扩散层上的材料；
所述第二冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第二侧的所述第二加热层和所述第二热扩散层；并且
所述第二加热层构造为通过所述第二热扩散层加热沉积在所述第二热扩散层上的材料。


9.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其中，所述蒸镀板构造为在第一位置和第二位置之间旋转；
其中，当所述蒸镀板位于所述第一位置时，所述多个喷嘴面对所述蒸镀板的第一侧，并且构造为将蒸发的沉积材料扩散到位于所述第一位置的所述蒸镀板的第一侧上；并且
当所述蒸镀板位于所述第二位置时，所述多个喷嘴面对所述蒸镀板的第二侧，并且构造为将蒸发的沉积材料扩散到位于所述第二位置的所述蒸镀板的...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚固，邹清华，段廷原，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11