材料沉积布置、用于沉积材料的方法和材料沉积腔室技术

描述了一种用于将材料沉积在基板上的材料沉积布置腔室(1000)。材料沉积布置腔室包括真空产生装置(1060)和材料沉积布置(100)。材料沉积布置具有阀元件(200)，阀元件被配置为调节将沉积的材料的材料流通。

Material deposition arrangements, methods for depositing materials, and material deposition chambers

A material deposition arrangement chamber (1000) for depositing material on a substrate is described. The material deposition arrangement chamber includes a vacuum generating device (1060) and a material deposition arrangement (100). The material deposition arrangement has a valve element (200) configured to regulate the material flow of the material to be deposited.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】材料沉积布置、用于沉积材料的方法和材料沉积腔室
本公开的实施方式涉及一种材料沉积布置，包括阀元件。此外，实施方式涉及一种材料沉积腔室。再者，实施方式还涉及一种用于材料的沉积的工艺。特别是，本公开的实施方式涉及在需要蒸发不同材料以形成数层于数个基板上的情况下，如在数种
中使用的数个基板的真空涂布。
技术介绍
用于沉积材料的蒸发工艺一般包含两种基本工艺；热源材料蒸发并接着凝结于基板上。执行蒸发有数个方法，其中一个执行蒸发的方法是热方法，其中例如金属材料供给至加热的半金属上，或置于坩锅中。半金属像是陶瓷。坩锅例如是电加热的。融化的金属材料在源的上方蒸发成云状物，并且接着导引至基板来用于形成一个或多个沉积层。然而，蒸发技术不限于蒸发金属，但还可与有机材料结合来执行。有机蒸发器例如适用于制造有机发光二极管(organiclight-emittingdiodes，OLEDs)。对于此种二极管的功能来说，特定有机化合物的发光层沉积于适当的基板上。此层接着包括沉积材料的薄膜。OLEDs可结合数种应用来使用，例如制造电视屏幕、监视器、平板、智能型手机和其他手持装置等。此外，在OLED
中，许多其他应用是可预期的。在蒸发材料时的一个参数是温度。使用温度以蒸发沉积材料。温度不仅与确保时间效率、材料不受干扰和适当改变的物理状态有关，还包括对材料和结构设计有高度需求。鉴于包含于工艺中的材料非常昂贵，将要避免任何材料的损耗。因此，对于材料沉积布置和工艺有需求，而适用于在如所述的此种情况中使用。
技术实现思路
鉴于上述，提出如独立权利要求所述的一种材料沉积布置、一种材料沉积布置腔室和一种用于将材料沉积在基板上的方法。本公开的其他方面、优点、和特征根据权利要求、说明书和附图更为清楚。根据本公开的一方面，提出一种材料沉积布置。材料沉积布置包括阀元件，其中至少部分的阀元件是可加热的。根据本公开的一方面，提出一种材料沉积布置腔室。材料沉积布置腔室包括一种根据本文所述的实施方式的材料沉积布置和真空产生装置。根据本公开的一方面，提出一种用于将材料沉积在基板上的方法。此方法包括直接地加热阀元件。附图说明在下文中，提供附图的简要说明。这些图意欲帮助详细地说明下方所公开的本专利技术。图1示出根据本文所述一些实施方式的材料沉积布置的剖面图；图2示出根据本文所述实施方式的具有阀元件位于第一位置中的阀元件的剖面图；图3示出根据参照图2所述的实施方式的阀元件的示意剖面图，其中阀元件位于第二位置；图4示出根据本文所述的实施方式的阀元件的示意剖面图；图5示出根据本文所述的实施方式的关闭装置的示意剖面图；图6示出根据本文所述的实施方式的关闭装置的示意剖面图；图7示出根据本文所述的实施方式的具有驱动机构和附接于驱动机构的致动器的阀元件的剖面图；图8示出根据本文所述的实施方式的具有驱动机构的阀元件的示意剖面图；图9示出根据本文所述的实施方式的具有阀元件位于第一位置中的阀元件的示意剖面图；图10示出根据本文所述的实施方式的参照图9的阀元件的示意剖面图，其中阀元件位于第二位置；图11示出根据本文所述的实施方式的阀元件的示意剖面图；图12示出根据本文所述的实施方式的阀元件的示意剖面图；图13示出根据本文所述的实施方式的材料沉积腔室的示意剖面图。具体实施方式详细的参照现在将以数种实施方式达成，数种实施方式的一个或多个示例示出于各图式中。各示例通过说明的方式提供且不意味为限制。例如，所说明或叙述而做为一个实施方式的部分的特征可用于任何其他实施方式或与任何其他实施方式结合，以取得进一步的实施方式。此意指本公开包括这些调整和变化。在图的下方说明中，相同参考编号意指相同或类似的元件。一般来说，只有有关于个别实施方式的相异处进行说明。除非另有说明，一个实施方式中的一部分或方面的说明可还应用于另一实施方式中的对应部分或方面。在本公开的数种实施方式更详细说明之前，有关于此处所使用的部分名称和表示的一些方面进行解释。于本公开中，“材料沉积布置”理解为布置，配置为用于材料沉积。特别是，“材料沉积布置”可理解为布置，配置为用于在导引至基板之前，沉积已经转换成气态的材料。“材料沉积布置”例如包括坩锅，提供材料的蒸发。蒸发的材料接着经由入口和/或出口管传送至基板和沉积于基板上。于本公开中，“坩锅”理解为一结构，允许在高温使用，特别是在高温处理材料。“坩锅”可例如经由外壳、中空空间、管和/或阀来连接到喷头。“坩锅”可还为可发生材料的蒸发的蒸发器的一部分。于本公开中，“喷头”理解为喷雾状装置，提供沉积材料的分布于基板上。“喷头”可包括数个开口，连接到外壳、中空空间、管和/或阀。已蒸发材料于外壳、中空空间、管和/或阀中提供或导引，例如从蒸发坩锅提供或导引至基板。喷头可于水平或垂直方向或水平或垂直定向之间的其他位置导引。于本公开中，“阀元件”理解为阀。为液相或气相的任何材料可流动通过此阀。“阀元件”一般连接材料源头至材料终点且提供此连接的控制。如此处所使用的“阀元件”可影响下述的一个或多个因素：流动速率、流动速度和背压(backpressure)可通过调节“阀元件”来调节。再者，“阀元件”可使用，以调节从坩锅传送至喷头的已蒸发材料的流通。“阀元件”可为单一部件，可与入口和/或出口管结合或布置于入口和/或出口管之间。“阀元件”可作为快门。“阀元件”提供而用于控制通过材料沉积布置的流动。“阀元件”可为可交换的。“阀元件”可适用于一次性使用的应用。于本公开中，“流动”或“流动通过”理解为可双向发生的颗粒的流动。例如，已蒸发材料可在喷头的方向中从蒸发器流动通过阀元件。此外，颗粒可于蒸发器的方向中从材料沉积布置腔室流动。阀元件可控制、限制和/或避免“流动”。于本公开中，“接触区域”理解为管壁的一部分。管壁的此部分可接触另一元件，例如在关闭阀元件时，由接触元件占据的内部管壁的一部分。“接触区域”可相邻于阀颈定位，或可为阀颈的一部分。于本公开中，“阀颈”理解为入口管壁或出口管壁的构造。“阀颈”可作为用于关闭装置的边界。于本公开中，“入口管”理解为一管，可作为蒸发器和喷头之间的连接件。一般来说，“入口管”在一侧连接到阀元件和/或出口管，并且在另一侧连接到蒸发器。“入口管”可还包括阀颈。直径可在管的不同区段中变化。“入口管”一般包括两个壁，内部和外部管壁。于本公开中，“出口管”理解为一管，可作为蒸发器和喷头之间的连接件。一般来说，“出口管”在一侧连接到阀元件和/或入口管，并且在另一侧连接到喷头。“出口管”可还包括阀颈。直径可在管的不同区段中变化。“出口管”一般包括两个壁，内部和外部管壁。于本公开中，“于入口方向中定向”理解为关闭装置的一位置。当关闭装置可朝向入口管定向时，关闭装置可采用“入口位置”。当位于“入口位置”中时，关闭装置可在垂直位置中。...

【技术保护点】
1.一种材料沉积布置(100)，包括：/n阀元件(200)，其中至少部分的所述阀元件是可加热的。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种材料沉积布置(100)，包括：
阀元件(200)，其中至少部分的所述阀元件是可加热的。


2.如权利要求1所述的材料沉积布置(100)，其中所述阀元件(200)包括加热装置(440)。


3.如权利要求2所述的材料沉积布置(100)，其中所述加热装置(440)为加热筒。


4.如权利要求2或3所述的材料沉积布置(100)，其中所述阀元件(200)包括关闭装置(230)，所述关闭装置包括所述加热装置(440)。


5.如权利要求4所述的材料沉积布置(100)，其中所述关闭装置(230)包括接触元件(234)和引导元件(232)，所述引导元件连接到驱动机构(560)，用于驱动所述引导元件，其中所述驱动机构优选利用电性和/或机械致动运行。


6.如前述权利要求中任一项所述的材料沉积布置(100)，所述材料沉积布置还包括入口管(115)和出口管(116)，所述入口管和所述出口管优选以碳化物制成，更优选以不锈钢或钛制成。


7.如权利要求5所述的材料沉积布置(100)，其中所述驱动机构(560)为弹簧(664)。


8.如前述权利要求中任一项所述的材料沉积布置(100)，其中所述材料沉积布置还包括温度控制器，所述温度控制器配置为控制所述材料沉...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗兰克·施纳彭伯格，托马斯·德皮希，斯特凡·海因，安娜贝尔·霍夫曼，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US