一种半导体晶圆检测的多功能设备箱制造技术

本实用新型专利技术提供一种半导体晶圆检测的多功能设备箱，包括箱体，散热孔，指示灯，放置机构，观察窗，送料机构，万向轮和急停开关，本实用新型专利技术的放置机构，送料机构和指示灯的设置，松开翼形螺栓，将笔记本等外接设备放置在支撑板，移动调节板使其抵触外接设备，紧固翼形螺栓，使放置机构适用于不同宽度的外接设备，将键盘等放置在托盘上，便于操作人员进行外接设备的操作，提高用户的舒适度，将半导体晶圆放置在放置板上，箱体内的机械手通过送料口将半导体晶圆搬运到箱体内进行检测作业，保证检测装置平稳高效运行，指示灯通过导线与检测机构相连，指示灯的不同颜色对应检测机构的不同工作状态，便于操作人员及时了解检测装置的工作状态。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶圆检测的多功能设备箱
本技术属于半导体晶圆检测
，尤其涉及一种半导体晶圆检测的多功能设备箱。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，半导体晶圆在生产过程中平整度的好坏不仅影响半导体晶圆的品质，而且还影响着半导体晶圆的后期加工，需要及时进行晶圆的检测，在检测过程中需要用到多功能设备箱，便于检测作业的进行。中国专利公开号为CN207752966U，专利技术创造的名称为一种半导体晶圆的检测装置，包括横梁，所述横梁的两端对称安装有立柱，且在横梁的中部安装有检测笔，所述检测笔的顶部安装有显示器，且在检测笔的外部设有水平液位泡，所述检测笔的最下端安装有滚珠，所述检测笔的内部设有弹簧，且在弹簧的上端设有压力传感器，所述压力传感器的上部设有控制模块，由于设置检测笔从而使得便于该装置携带，从而有利于现场检测，进而便于及时发现问题，及时解决，同时设置的横梁可以固定检测笔，保证检测笔在检测过程中水平稳定不晃动，显示器显示控制模块反馈的信号，并通过线条样式显示出来，使得半导体晶圆表面平整度可以清楚直观的被显示出来，因此本技术携带方便、检测准确值得推广。但现有多功能设备箱缺少放置机构，不便于笔记本等外接设备的放置，降低用户的舒适度，缺少送料机构，不便于操作人员进行送料作业，影响检测装置的平稳高效运行，缺少检测装置信号指示灯，不能及时了解检测装置的工作状态的问题。因此，专利技术一种半导体晶圆检测的多功能设备箱显得非常必要。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供一种半导体晶圆检测的多功能设备箱，以解决现有多功能设备箱缺少放置机构，不便于笔记本等外接设备的放置，降低用户的舒适度，缺少送料机构，不便于操作人员进行送料作业，影响检测装置的平稳高效运行，缺少检测装置信号指示灯，不能及时了解检测装置的工作状态的问题。一种半导体晶圆检测的多功能设备箱，包括箱体，散热孔，指示灯，放置机构，观察窗，送料机构，万向轮和急停开关，所述送料机构通过螺栓固定在箱体前侧的中间位置；所述万向轮采用四个，通过螺栓固定在箱体的下方四角；所述散热孔采用多个，开设在箱体前侧的下方，位于送料机构的两侧；所述观察窗嵌装在箱体前侧的中间位置，位于送料机构的右侧；所述急停开关嵌装在箱体的前侧，位于观察窗的下方；所述指示灯通过螺纹固定在箱体上方的右侧；所述放置机构通过螺栓固定在箱体右侧的中间位置。所述指示灯和急停开关通过导线分别与检测机构相连；所述指示灯设置有红色、黄色、绿色、蓝色四种颜色；所述万向轮设置有锁止板；所述散热孔的内侧设置有防尘网。所述放置机构包括固定板，支撑杆，托盘，支撑板，调节板和通槽，所述固定板通过螺栓固定在箱体右侧前端的中间位置；所述支撑杆通过螺栓固定在固定板右侧的中间位置；所述支撑板通过螺栓固定在支撑杆的前侧；所述通槽开设在支撑板的中间位置；所述调节板通过翼形螺栓固定在通槽的前侧；所述托盘通过螺栓固定在支撑板下方的前侧。所述调节板的后侧设置有翼形螺栓，且翼形螺栓的尺寸与通槽的尺寸匹配；所述托盘的前侧设置有挡板，松开翼形螺栓，将笔记本等外接设备放置在支撑板，移动调节板使其抵触外接设备，紧固翼形螺栓，使放置机构适用于不同宽度的外接设备，将键盘等放置在托盘上，便于操作人员进行外接设备的操作，提高用户的舒适度。所述送料机构包括送料框，支柱，送料口和放置板，所述送料框通过螺栓固定在箱体前侧的中间位置；所述送料口开设在送料框的中间位置；所述支柱通过螺栓固定在送料框的前侧，位于送料口的下方；所述放置板通过螺栓固定在支柱的上方。所述送料口的尺寸大于半导体晶圆的尺寸；所述放置板的尺寸大于半导体晶圆的尺寸；所述支柱的上端与托盘的下方对齐；所述送料框的高度等于箱体的高度。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：1.本技术的放置机构的设置，松开翼形螺栓，将笔记本等外接设备放置在支撑板，移动调节板使其抵触外接设备，紧固翼形螺栓，使放置机构适用于不同宽度的外接设备，将键盘等放置在托盘上，便于操作人员进行外接设备的操作，提高用户的舒适度。2.本技术的送料机构的设置，将半导体晶圆放置在放置板上，箱体内的机械手通过送料口将半导体晶圆搬运到箱体内进行检测作业，保证检测装置平稳高效运行。3.本技术的指示灯的设置，指示灯通过导线与检测机构相连，指示灯的不同颜色对应检测机构的不同工作状态，便于操作人员及时了解检测装置的工作状态。4.本技术的急停开关的设置，急停开关通过导线与检测机构相连，当发生异常时及时按下急停开关，实现检测装置的快速停机，便于及时排除故障，避免不安全情况的发生。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术的放置机构的结构示意图。图3是本技术的送料的结构示意图。图中：1-箱体，2-散热孔，3-指示灯，4-放置机构，41-固定板，42-支撑杆，43-托盘，44-支撑板，45-调节板，46-通槽，5-观察窗，6-送料机构，61-送料框，62-支柱，63-送料口，64-放置板，7-万向轮，8-急停开关。具体实施方式以下结合附图对本技术做进一步描述：实施例：如附图1至附图3所示本技术提供一种半导体晶圆检测的多功能设备箱，包括箱体1，散热孔2，指示灯3，放置机构4，观察窗5，送料机构6，万向轮7和急停开关8，所述送料机构6通过螺栓固定在箱体1前侧的中间位置；所述万向轮7采用四个，通过螺栓固定在箱体1的下方四角；所述散热孔2采用多个，开设在箱体1前侧的下方，位于送料机构6的两侧；所述观察窗5嵌装在箱体1前侧的中间位置，位于送料机构6的右侧；所述急停开关8嵌装在箱体1的前侧，位于观察窗5的下方；所述指示灯3通过螺纹固定在箱体1上方的右侧；所述放置机构4通过螺栓固定在箱体1右侧的中间位置。所述指示灯3和急停开关8通过导线分别与检测机构相连；所述指示灯3设置有红色、黄色、绿色、蓝色四种颜色；所述万向轮7设置有锁止板；所述散热孔2的内侧设置有防尘网。所述放置机构4包括固定板41，支撑杆42，托盘43，支撑板44，调节板45和通槽46，所述固定板41通过螺栓固定在箱体1右侧前端的中间位置；所述支撑杆42通过螺栓固定在固定板41右侧的中间位置；所述支撑板44通过螺栓固定在支撑杆42的前侧；所述通槽46开设在支撑板44的中间位置；所述调节板45通过翼形螺栓固定在通槽46的前侧；所述托盘43通过螺栓固定在支撑板44下方的前侧。所述调节板45的后侧设置有翼形螺栓，且翼形螺栓的尺寸与通槽46的尺寸匹配；所述托盘43的前侧设置有挡板，松开翼形螺栓，将笔记本等外接设备放置在支撑板44，移动调节板45使其抵触外接设备，紧固翼形螺栓，使放置机构4适用于不同宽度的外接设备，将键盘等放置在托盘43上，便于操作人员进行外接设备的操作，提高用户的舒适度。所述送料机构6包括送料框61，支柱62，送料口63和放置板64，所述送料框61通过螺栓固定在箱体1前侧的中间位置；所述送料口63开设在送料框61的中间位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体晶圆检测的多功能设备箱，其特征在于：包括箱体(1)，散热孔(2)，指示灯(3)，放置机构(4)，观察窗(5)，送料机构(6)，万向轮(7)和急停开关(8)，所述送料机构(6)通过螺栓固定在箱体(1)前侧的中间位置；所述万向轮(7)采用四个，通过螺栓固定在箱体(1)的下方四角；所述散热孔(2)采用多个，开设在箱体(1)前侧的下方，位于送料机构(6)的两侧；所述观察窗(5)嵌装在箱体(1)前侧的中间位置，位于送料机构(6)的右侧；所述急停开关(8)嵌装在箱体(1)的前侧，位于观察窗(5)的下方；所述指示灯(3)通过螺纹固定在箱体(1)上方的右侧；所述放置机构(4)通过螺栓固定在箱体(1)右侧的中间位置。

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆检测的多功能设备箱，其特征在于：包括箱体(1)，散热孔(2)，指示灯(3)，放置机构(4)，观察窗(5)，送料机构(6)，万向轮(7)和急停开关(8)，所述送料机构(6)通过螺栓固定在箱体(1)前侧的中间位置；所述万向轮(7)采用四个，通过螺栓固定在箱体(1)的下方四角；所述散热孔(2)采用多个，开设在箱体(1)前侧的下方，位于送料机构(6)的两侧；所述观察窗(5)嵌装在箱体(1)前侧的中间位置，位于送料机构(6)的右侧；所述急停开关(8)嵌装在箱体(1)的前侧，位于观察窗(5)的下方；所述指示灯(3)通过螺纹固定在箱体(1)上方的右侧；所述放置机构(4)通过螺栓固定在箱体(1)右侧的中间位置。2.如权利要求1所述的半导体晶圆检测的多功能设备箱，其特征在于：所述指示灯(3)和急停开关(8)通过导线分别与检测机构相连；所述指示灯(3)设置有红色、黄色、绿色、蓝色四种颜色；所述万向轮(7)设置有锁止板；所述散热孔(2)的内侧设置有防尘网。3.如权利要求1所述的半导体晶圆检测的多功能设备箱，其特征在于：所述放置机构(4)包括固定板(41)，支撑杆(42)，托盘(43)，支撑板(44)，调节板(45)和通槽(46)，所述固定板(41)通过螺栓固定在箱体(1)右侧前端的中间...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊，金嘉辉，周魏，程宏，王勤，傅丁丁，
申请(专利权)人：杭州载力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33