一种大流量液态源供应装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种大流量液态源供应装置，包括TMA源罐、TMA供应箱、推送吹扫气架、TMA供应箱和TMA源罐。本实用新型专利技术方便大包装源瓶的就位固定，方便操作；同时也适合于后续更大容量包装的源瓶接入系统使用；使用大容量包装的源瓶，大大减少了更换源瓶次数，减低了人工操作工作量同时降低了安全风险源，提高了系统安全性；使用本实用新型专利技术可以有效减少了换瓶次数，可以保证同一源罐内的TMA质量均匀一致，尽可能长时间保持电池片的良率一致性；且本实用新型专利技术在源瓶与设备之间增加了防火隔墙，提升安全性，当源罐发生紧急情况时，不会损坏设备及内部的阀件仪表。

A large flow liquid source supply device

【技术实现步骤摘要】
一种大流量液态源供应装置
本技术涉及液态源供应领域，尤其涉及一种大流量液态源供应装置。
技术介绍
TMA三甲基铝是一种重要液态源，由于小包装瓶的体积和重量都易于搬运也易于设计成内置式，因此现有技术中通常是将小于200L的小包装源瓶内置在防爆柜体内，但随着规模化生产需要，TMA源瓶包装容积也在从常用的125L向500L增大，而500L的大包装源瓶的安全便利操作在现有技术中尚未得到完善。因此，现有技术还有待发展。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的不足之处，本技术的目的在于提供一种大流量液态源供应装置，旨在实现安全方便使用500L大包装源瓶提供TMA液态源的目的。为了达到上述目的，本技术采取了以下技术方案：一种大流量液态源供应装置，包括第一TMA源罐、第一TMA供应箱、推送吹扫气架、第二TMA供应箱和第二TMA源罐，所述第一TMA源罐与所述第一TMA供应箱连接，所述第一TMA源罐与第一TMA供应箱之间设有防火隔墙，所述第二TMA供应箱与第二TMA源罐之间也设有防火隔墙，所述第一TMA源罐与第二TMA源罐之间也设有防火隔墙，所述第一TMA源罐、第二TMA源罐所在房间分别在源罐上方设置有用于监控TMA源瓶是否泄漏的烟雾感应器和光感应器，所述第一TMA供应箱与第二TMA供应箱通过管道连接至阀组箱进一步的，所述第一TMA源罐包括第一TMA源瓶、第一环形收集槽，所述第一TMA源瓶位于所述第一环形收集槽内部，所述第一TMA源瓶通过管道与所述第一TMA供应箱连接，所述第一TMA源瓶上端设有第一进气口和第一液态源输出口；所述第二TMA源罐包括第二TMA源瓶、第二环形收集槽，所述第二TMA源瓶位于所述第二环形收集槽内部，所述第二TMA源瓶通过管道与所述第二TMA供应箱连接，所述第二TMA源瓶上端设置有第二进气口和第二液态源输出口。进一步的，所述第一环形收集槽与第二环形收集槽底部均设有蛭石。进一步的，所述第一TMA供应箱包括第一推送气体进气口、第一排气口、第一吹扫气体进口，第一液态源出口，所述第一推送气体进气口与所述第一进气口之间依次设有第一推送气体隔离阀、第一推送气体压力传感器、第一进气阀，所述第一排气口与所述第一进气口之间设有第一排气单向阀、第一排气隔离阀、第一推送气体侧吹扫隔离阀、第一进气阀，所述第一吹扫气体进口与所述第一液态源输出口之间依次设有第一吹扫气体单向阀、第一吹扫进气隔离阀、第一工艺侧吹扫隔离阀、第一液态源输出阀，所述第一液态源出口与所述第一液态源输出口之间依次设有第一供液出口手动隔离阀、第一液体供应隔离阀、第一液体供应压力传感器、第一液态源输出阀，所述第一排气隔离阀上游端通过管道与所述第一吹扫进气隔离阀下游端连接。进一步的，所述第二TMA供应箱包括第二推送气体进气口、第二排气口、第二吹扫气体进口，第二液态源出口，所述第二推送气体进气口与所述第二进气口之间依次设有第二推送气体隔离阀、第二推送气体压力传感器、第二进气阀，所述第二排气口与所述第二进气口之间设有第二排气单向阀、第二排气隔离阀、第二推送气体侧吹扫隔离阀、第二进气阀，所述第二吹扫气体进口与所述第二液态源输出口之间依次设有第二吹扫气体单向阀、第二吹扫进气隔离阀、第二工艺侧吹扫隔离阀、第二液态源输出阀，所述第二液态源出口与所述第二液态源输出口之间依次设有第二供液出口手动隔离阀、第二液体供应隔离阀、第二液体供应压力传感器、第二液态源输出阀，所述第二排气隔离阀上游段通过管道与所述第二吹扫进气隔离阀下游端连接。进一步的，所述第一TMA供应箱、第二TMA供应箱、内部上方均设有用于检测两个供应箱内部管路阀件是否泄漏的烟雾感应器、光感应器和温度感应器，所述第一TMA供应箱、第二TMA供应箱上分别设有排风调节阀和负压表。进一步的，所述推送吹扫气架包括真空泵排气口、第三推送气体口与第三吹扫气体进气口，所述第一TMA供应箱上的第一排气口与所述第二TMA供应箱上的第二排气口之间通过排气管道连接，所述真空泵排气口与所述排气管道连接，所述真空泵排气口与所述排气管道之间依次设有排气主单向阀、排气主隔离阀、排气压力传感器、测试口隔离阀，所述第一TMA供应箱上的第一推送气体进气口与所述第二TMA供应箱上的第二推送气体进气口之间通过推送气体管道连接，所述第三推送气体口与所述推送气体管道连接，所述第三推送气体口与所述推送气体管道之间依次连接有第一垫片式过滤器、推送气体进口手动阀、在线式纯化器、推送气体减压阀、推送气体压力表、推送气体安全泄压阀，所述第一TMA供应箱上的第一吹扫气体进气口与所述第二TMA供应箱上的第二吹扫气体进气口通过吹扫气体管道连接，所述第三吹扫气体进口与所述吹扫气体管道连接，所述第三吹扫气体出口与所述吹扫气体管道之间依次设有第二垫片式过滤器、吹扫气体减压阀、吹扫气体压力表、针孔微漏阀。本技术与现有技术相比的有益效果：本技术方便大包装源瓶的就位固定，方便操作；同时也适合于后续更大容量包装的源瓶接入系统使用；使用大容量包装的源瓶，大大减少了更换源瓶次数，减低了人工操作工作量同时降低了安全风险源，提高了系统安全性；使用本技术可以有效减少了换瓶次数，可以保证同一源罐内的TMA质量均匀一致，尽可能长时间保持电池片的良率一致性；且本技术在源瓶与设备之间增加了防火隔墙，提升安全性，当源罐发生紧急情况时，不会损坏设备及内部的阀件仪表。附图说明图1为本技术实施例提供的大流量液态源供应装置的结构示意图；图2为本技术实施例提供的大流量液态源供应装置的第一TMA源罐的结构示意图；图3为本技术实施例提供的大流量液态源供应装置的第一TMA供应箱的结构示意图；图4为本技术实施例提供的大流量液态源供应装置的推送吹扫气架的结构示意图；图5为本技术实施例提供的大流量液态源供应装置的第二TMA供应箱的结构示意图；图6为本技术实施例提供的大流量液态源供应装置的是我第二TMA源罐的结构示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。还需要说明的是，本技术实施例中的左、右、上、下等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。如图1所示，为本技术具体实施例的一种大流量液态源供应装置，包括第一TMA源罐1、第一TMA供应箱2、推送吹扫气架3、第二TMA供应箱4和第二TMA源罐5，所述第一TMA源罐1与所述第一TMA供应箱2连接，所述第一TMA源罐1与第一TMA供应箱2之间设有防火隔墙6，所述第二TMA供应箱4与第二TMA源罐5之间也设有防火隔墙6，所述第一TMA源罐1与第二TMA源罐5之间也设有防火隔墙6，所述两道防火隔墙6将空间分为三个房间，所述第一TMA源罐1位于第一房间，所述第一TMA供应箱2、推送吹扫气架3、第二TMA供应箱4位于第二房间，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大流量液态源供应装置，包括第一TMA源罐、第一TMA供应箱、推送吹扫气架、第二TMA供应箱和第二TMA源罐，其特征在于：所述第一TMA源罐与所述第一TMA供应箱连接，所述第一TMA源罐与第一TMA供应箱之间设有防火隔墙，所述第二TMA供应箱与第二TMA源罐之间也设有防火隔墙，所述第一TMA源罐与第二TMA源罐之间也设有防火隔墙，所述第一TMA源罐、第二TMA源罐所在房间分别在源罐上方设置有用于监控TMA源瓶是否泄漏的烟雾感应器和光感应器，所述第一TMA供应箱与第二TMA供应箱通过管道连接至阀组箱。

【技术特征摘要】
1.一种大流量液态源供应装置，包括第一TMA源罐、第一TMA供应箱、推送吹扫气架、第二TMA供应箱和第二TMA源罐，其特征在于：所述第一TMA源罐与所述第一TMA供应箱连接，所述第一TMA源罐与第一TMA供应箱之间设有防火隔墙，所述第二TMA供应箱与第二TMA源罐之间也设有防火隔墙，所述第一TMA源罐与第二TMA源罐之间也设有防火隔墙，所述第一TMA源罐、第二TMA源罐所在房间分别在源罐上方设置有用于监控TMA源瓶是否泄漏的烟雾感应器和光感应器，所述第一TMA供应箱与第二TMA供应箱通过管道连接至阀组箱。2.根据权利要求1所述的大流量液态源供应装置，其特征在于：所述第一TMA源罐包括第一TMA源瓶、第一环形收集槽，所述第一TMA源瓶位于所述第一环形收集槽内部，所述第一TMA源瓶通过管道与所述第一TMA供应箱连接，所述第一TMA源瓶上端设有第一进气口和第一液态源输出口；所述第二TMA源罐包括第二TMA源瓶、第二环形收集槽，所述第二TMA源瓶位于所述第二环形收集槽内部，所述第二TMA源瓶通过管道与所述第二TMA供应箱连接，所述第二TMA源瓶上端设置有第二进气口和第二液态源输出口。3.根据权利要求2所述的大流量液态源供应装置，其特征在于：所述第一环形收集槽与第二环形收集槽底部均设有蛭石。4.根据权利要求2所述的大流量液态源供应装置，其特征在于：所述第一TMA供应箱包括第一推送气体进气口、第一排气口、第一吹扫气体进口，第一液态源出口，所述第一推送气体进气口与所述第一进气口之间依次设有第一推送气体隔离阀、第一推送气体压力传感器、第一进气阀，所述第一排气口与所述第一进气口之间设有第一排气单向阀、第一排气隔离阀、第一推送气体侧吹扫隔离阀、第一进气阀，所述第一吹扫气体进口与所述第一液态源输出口之间依次设有第一排气单向阀、第一吹扫进气隔离阀、第一工艺侧吹扫隔离阀、第一液态源输出阀，所述第一液态源出口与所述第一液态源输出口之间依次设有第一供液出口手动隔离阀、第一液体供应隔离阀、第一液体供应压力传感器、第一液态源输出阀，所述第一排气隔离阀上游端通过管道与所述第一吹扫进气隔离阀下游端连接。5.根据权利要求2所述的大流量液态源供应装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈一林，孙效义，吴海华，
申请(专利权)人：至砾机电设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31