一种水氧颗粒分析检测系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种水氧颗粒分析检测系统，包括分析检测柜、待测设备和用以放置待测设备的设备放置架，所述分析检测柜包括柜体、测试盘面、测试仪器、真空罐和控制器，所述测试盘面、测试仪器、真空罐和控制器均设置在柜体内。本实用新型专利技术能够提高整套系统测试的通过率，缩短测试时间，降低测试成本。

An analysis and detection system of water and oxygen particles

【技术实现步骤摘要】
一种水氧颗粒分析检测系统
本技术涉及特气设备安全性检测
，尤其涉及一种水氧颗粒分析检测系统。
技术介绍
随着半导体集成电路、光伏等行业国内外市场需求的不断扩大，特气的用量也不断增大，因此对特气设备的需求量也越来越大，对特气设备的品质要求也越来越高。为了保证特气设备安全、稳定、可靠地贮存和输送特种气体，除了在特气输送系统设计时，全面考虑安全问题外，还需在特气设备生产过程中对设备进行安全性测试。目前特气设备的主要安全性测试项目有：保压测试、氦检测试、水分测试、氧分测试、颗粒测试。保压测试的目的是确保管路系统没有明显的泄漏，以便对管路系统进行氦测漏。测试工具：压力表。氦检测试的目的是利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量氦气，并根据检测到的氦气的量来确定漏率的大小。水分检测的目的主要是为了避免管道内水含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。测试仪器：水分仪。氧分检测的目的主要是为了避免管道内氧含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。测试仪器：氧分仪颗粒检测主要是检测管道内微粒子的粒径大小和数量多少。如果管道内微粒子过多会对Wafer(晶片)良率影响很大。测试仪器：颗粒仪目前对特气设备进行安全性测试时，直接将吹扫气源连接到管路系统的进气端，所有阀门处于开启状态，连续吹扫2H后，将管路系统的出气端与三个测试仪器(水分仪、氧分析仪、颗粒仪)中的一个相连接，使气体通入测试仪器，10分钟后打开电源，设置测试仪器各项参数后开始测试，待测试数据达到标准要求后，记录测试数据，关闭进气端和出气端阀门，使管道内保持正压，然后将测试仪器断电，使测试仪器与系统分离。然后重复上述步骤，将管路系统的出气端依次连接至另外两个测试仪器，进行测试。目前的测试方式，通过率低，时间需求长，无法满足大规模的设备需求，主要有以下几点：1、测试设备本身的管线洁净度，校验偏差。测试设备每天开启后都需要自检，达到合格值之后才能进行特气设备的测试，由于连接管路部分的洁净度无法时刻保持在合格值，需要耗费一定时间来进行仪器自检。每次测试仪器与特气设备的连接和分离，都对连接管路造成了一定程度的污染，需要时间进行清洁与校验。2、目前的测试过程只对设备进行吹扫，不能有效快速的去除设备里面原有的水氧颗粒，同时受人为因素干扰太大，如因人为操作不当导致测试未通过，需要耗费更多的时间来达到合格的测试结果。3、系统吹扫—如纯度提升方式不正确，未大量吹扫。系统吹扫是整个水分、氧分、颗粒检测过程中的关键点，特气设备在整个生产过程中会有各种的污染来源，在进行测试前需要接入吹扫气体对设备进行系统吹扫，人为吹扫过程中很难快速的让设备达到测试条件，其中包括对吹扫次数的控制，对吹扫时间的控制等等。是整个测试过程中耗时最长，通过率低的主要因素。4、目前整套测试系统通过率低，时间需求长，测试成本太高。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种水氧颗粒分析检测系统，用以解决现有测试系统通过率低，时间需求长，测试成本太高的问题。一种水氧颗粒分析检测系统，包括分析检测柜；待测设备；以及用以放置待测设备的设备放置架；其中，所述分析检测柜包括柜体、测试盘面、测试仪器、真空罐和控制器，所述测试盘面、测试仪器、真空罐和控制器均设置在柜体内，所述测试盘面包括进气管路、保养管路、测试管路、吹扫管路和抽真空管路，所述进气管路的进气端与气源相连、出气端与待测设备的进气口相连，待测设备的出气口分别与吹扫管路、抽真空管路和测试管路相连，测试管路与测试仪器的进气端相连，测试仪器的出气端连接有排气管路；所述保管管路的进气端与气源相连，保养管路的出气端连接至测试仪器的进气端。优选地，所述抽真空管路由真空主管、以及并联设置在真空主管上的多路真空支管构成，每路真空支管分别连接一个待测设备；每路真空支管上均设有第一压力控制阀，真空主管上依次设置有第二压力控制阀、真空罐、第三压力控制阀和真空泵，所述真空罐上安装有用于检测真空罐罐体内压力的第一压力传感器，所述第一压力控制阀、第三压力控制阀、第一压力传感器均与控制器电连接。优选地，所述测试仪器包括水分仪、氧分析仪和颗粒仪，水分仪的进气端、氧分析仪的进气端、颗粒仪的进气端均与测试管路相连。优选地，所述进气管路、测试管路均设置有多路，进气管路和测试管路的数量均与待测设备的数量相等，每个待测设备上均连接有一路进气管路、一路测试管路。优选地，所述测试管路由一路测试主管、以及并联设置在测试主管出气端的三路测试支管构成，三路测试支管依次连接至水分仪、氧分析仪和颗粒仪的进气端；所述测试主管上设置有第一测试控制阀，所述测试支管上依次串联连接有第二测试控制阀和第三测试控制阀，第二测试控制阀和第三测试控制阀的连接点处依次连接有第一单向阀和排气阀，所述第一测试控制阀、第二测试控制阀、第三测试控制阀、排气阀均与控制器电连接。优选地，所述吹扫管路由吹扫主管、以及并联设置在吹扫主管进气端的多路吹扫支管构成，每路吹扫支管分别连接一个待测设备；所述吹扫主管上设置有第二单向阀，每路吹扫支管上均设置有吹扫控制阀，所述吹扫控制阀与控制器电连接。优选地，所述保养管路由保养主管、以及并联设置在保养主管出气端的三路保养支管构成，三路保养支管依次连接至水分仪、氧分析仪和颗粒仪的进气端；所述保养主管上设有微漏阀，每路保养支管上均设有保养控制阀，所述保养控制阀与控制器电连接。优选地，所述气源处设置有用以检测气源压力的第二压力传感器，所述第二压力传感器与控制器电连接。本技术的有益效果是：本申请提高了整套系统测试的通过率，缩短测试时间，降低测试成本，大大提高了测试的合格率，且通过吹扫管路和抽真空管路的配合，对待测设备进行盘面脉冲吹扫，能够解决原有系统吹扫不足的问题，提高了系统吹扫的有效性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1是本技术水氧颗粒分析检测系统的管路图。图2是分析检测柜的立体结构示意图。图3是分析检测柜的内部视图。图4是设备放置架的立体结构示意图。图中标号的含义为：1为分析检测柜，2为设备放置架，3为柜体，4为测试盘面，5为控制器，6为测试仪器，7为真空罐，8为进气管路，10为排气管路，11为真空主管，12为真空支管，13为测试主管，14为测试支管，15为吹扫主管，16为吹扫支管，17为保养主管，18为保养支管；Gi为进气阀；Vi为吹扫控制阀；Bi为第一压力控制阀，TIN为第二压力控制阀，TOUT为第三压力控制阀；Ti为第一测试控制阀，Hi、oi和ri均为第二测试本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水氧颗粒分析检测系统，其特征在于，包括/n分析检测柜；/n待测设备；/n以及用以放置待测设备的设备放置架；/n其中，所述分析检测柜包括柜体、测试盘面、测试仪器、真空罐和控制器，所述测试盘面、测试仪器、真空罐和控制器均设置在柜体内，/n所述测试盘面包括进气管路、保养管路、测试管路、吹扫管路和抽真空管路，所述进气管路的进气端与气源相连、出气端与待测设备的进气口相连，待测设备的出气口分别与吹扫管路、抽真空管路和测试管路相连，测试管路与测试仪器的进气端相连，测试仪器的出气端连接有排气管路；/n所述保养管路的进气端与气源相连，保养管路的出气端连接至测试仪器的进气端。/n

【技术特征摘要】
1.一种水氧颗粒分析检测系统，其特征在于，包括
分析检测柜；
待测设备；
以及用以放置待测设备的设备放置架；
其中，所述分析检测柜包括柜体、测试盘面、测试仪器、真空罐和控制器，所述测试盘面、测试仪器、真空罐和控制器均设置在柜体内，
所述测试盘面包括进气管路、保养管路、测试管路、吹扫管路和抽真空管路，所述进气管路的进气端与气源相连、出气端与待测设备的进气口相连，待测设备的出气口分别与吹扫管路、抽真空管路和测试管路相连，测试管路与测试仪器的进气端相连，测试仪器的出气端连接有排气管路；
所述保养管路的进气端与气源相连，保养管路的出气端连接至测试仪器的进气端。


2.根据权利要求1所述的水氧颗粒分析检测系统，其特征在于，所述抽真空管路由真空主管、以及并联设置在真空主管上的多路真空支管构成，每路真空支管分别连接一个待测设备；
每路真空支管上均设有第一压力控制阀，真空主管上依次设置有第二压力控制阀、真空罐、第三压力控制阀和真空泵，所述真空罐上安装有用于检测真空罐罐体内压力的第一压力传感器，所述第一压力控制阀、第三压力控制阀、第一压力传感器均与控制器电连接。


3.根据权利要求1所述的水氧颗粒分析检测系统，其特征在于，所述测试仪器包括水分仪、氧分析仪和颗粒仪，水分仪的进气端、氧分析仪的进气端、颗粒仪的进气端均与测试管路相连。


4.根据权利要求1所述的水氧颗粒分析检测系统，其特征在于，所述进气管路、测试管路均设置有多路...

【专利技术属性】
技术研发人员：时昌杰，陈菊，马东，
申请(专利权)人：至砾机电设备上海有限公司，上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31