一种水氧颗粒分析检测柜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种水氧颗粒分析检测柜，包括柜体、测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器，所述测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器均设置在柜体内。本实用新型专利技术能够同时连接多个特气设备，测试过程中无需将测试仪器与某一特气设备拆除，连接到另一特气设备上，可避免对连接管路造成二次污染，提高了特气设备测试的通过率，缩短了测试时间，降低了测试成本。

A water oxygen particle analysis and detection cabinet

【技术实现步骤摘要】
一种水氧颗粒分析检测柜
本技术涉及特气设备安全性检测
，尤其涉及一种水氧颗粒分析检测柜。
技术介绍
随着半导体集成电路、光伏等行业国内外市场需求的不断扩大，特气的用量也不断增大，因此对特气设备的需求量也越来越大，对特气设备的品质要求也越来越高。为了保证特气设备安全、稳定、可靠地贮存和输送特种气体，除了在特气输送系统设计时，全面考虑安全问题外，还需在特气设备生产过程中对设备进行安全性测试。目前特气设备的主要安全性测试项目有：保压测试、氦检测试、水分测试、氧分测试、颗粒测试。目前的测试系统，通过率低，时间需求长，无法满足大规模的设备测试需求，主要有以下几点：1、测试设备本身的管线洁净度，校验偏差。测试设备每天开启后都需要自检，达到合格值之后才能进行特气设备的测试，由于连接管路部分的洁净度无法时刻保持在合格值，需要耗费一定时间来进行仪器自检。每次测试仪器与特气设备的连接和分离，都对连接管路造成了一定程度的二次污染，需要时间进行清洁与校验。2、水分、氧分、颗粒检测都是直接将气体输入特气设备，通过测试仪器检测设备内的气体数值是否合格，如果气源本身都不达标，那通过特气设备时的气体最终到达测试仪器时的结果必然是不合格的。3、目前整套测试系统通过率低，时间需求长，测试成本太高。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种水氧颗粒分析检测柜，用以解决现有测试系统通过率低，时间需求长，测试成本太高的问题。一种水氧颗粒分析检测柜，包括柜体；以及设置在柜体内的测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器；其中，所述测试盘面包括进气管路、保养管路、测试管路、吹扫管路和抽真空管路，所述进气管路的一个进气支路与气源相连、另一进气支路连接至纯化器的出气端，所述纯化器的进气端与气源相连接、出气端与保管管路的进气端相连，保养管路的出气端连接至测试仪器的进气端，所述测试仪器的进气端与测试管路相连，测试仪器的出气端连接有出气管路。优选地，所述抽真空管路由真空主管、以及并联设置的真空主管上的多路真空支管构成；每路真空支管上均设有第一压力控制阀，真空主管上依次设置有第二压力控制阀、真空罐、第三压力控制阀和真空泵，所述真空罐上安装有用于检测真空罐罐体内压力的第一压力传感器，所述第一压力控制阀、第三压力控制阀、第一压力传感器均与控制器电连接。优选地，所述测试仪器包括水分仪、氧分析仪和颗粒仪，水分仪的进气端、氧分析仪的进气端、颗粒仪的进气端均与测试管路相连。优选地，所述进气管路、测试管路均设置有多路，进气管路和测试管路的数量均与待测设备的数量相等，每个待测设备上均连接有一路进气管路、一路测试管路。优选地，所述测试管路由一路测试主管、以及并联设置在测试主管出气端的三路测试支管构成，三路测试支管依次连接至水分仪、氧分析仪和颗粒仪的进气端；所述测试主管上设置有第一测试控制阀，所述测试支管上依次串联连接有第二测试控制阀和第三测试控制阀，第二测试控制阀和第三测试控制阀的连接点处依次连接有第一单向阀和排气阀，所述第一测试控制阀、第二测试控制阀、第三测试控制阀、排气阀均与控制器电连接。优选地，所述吹扫管路由吹扫主管、以及并联设置在吹扫主管进气端的多路吹扫支管构成；所述吹扫主管上设置有第二单向阀，每路吹扫支管上均设置有吹扫控制阀，所述吹扫控制阀与控制器电连接。优选地，所述保养管路由保养主管、以及并联设置在保养主管出气端的三路保养支管构成，三路保养支管依次连接至水分仪、氧分析仪和颗粒仪的进气端；所述保养主管上设有微漏阀，每路保养支管上均设有保养控制阀，所述保养控制阀与控制器电连接。优选地，所述纯化器的出气端管路上设置有用以检测气源压力的第二压力传感器，所述第二压力传感器与控制器电连接。本技术的有益效果是：本申请的分析检测柜能够同时连接多个特气设备，测试过程中无需将测试仪器与某一特气设备拆除，连接到另一特气设备上，可避免对连接管路造成二次污染，提高了特气设备测试的通过率，缩短了测试时间，降低了测试成本。且通过设置纯化器，能够有效保证吹扫气源的洁净等级，大大提高测试的合格率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1是本技术水氧颗粒分析检测柜的管路图。图2是分析检测柜的立体结构示意图。图3是分析检测柜的内部视图之一。图4是分析检测柜的内部视图之二。图中标号的含义为：1为分析检测柜，3为柜体，4为测试盘面，5为纯化器，6为测试仪器，7为真空罐，8为进气管路，9为进气支路，10为排气管路，11为真空主管，12为真空支管，13为测试主管，14为测试支管，15为吹扫主管，16为吹扫支管，17为保养主管，18为保养支管,19为控制器；Gi为第一进气阀，Pi为第二进气阀；Vi为吹扫控制阀；Bi为第一压力控制阀，TIN为第二压力控制阀，TOUT为第三压力控制阀；Ti为第一测试控制阀，Hi、oi和ri均为第二测试控制阀，HA、oA和rA均为第三测试控制阀，CVi为第一单向阀，HV、oV和rV均为排气阀，HB、oB和rB均为保养控制阀；PT1为第一压力传感器，PT2为第二压力传感器，PT3-PT7均为第三压力传感器。具体实施方式为了更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。应当明确，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。下面通过具体的实施例并结合附图对本申请做进一步的详细描述。在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。本说明书的描述中，需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。本技术实施例给出一种水氧颗粒分析检测柜，包括柜体3、测试盘面4、纯化器5、测试仪器6、真空罐7和控制器，所述测试盘面4、纯化器5、测试仪器6、真空罐7和控制器均设置在柜体3内。所述测试盘面4包括进气管路、保养管路、测试管路、吹扫管路和抽真空管路。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水氧颗粒分析检测柜，其特征在于，包括/n柜体；/n以及设置在柜体内的测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器；/n其中，所述测试盘面包括进气管路、保养管路、测试管路、吹扫管路和抽真空管路，/n所述进气管路的一个进气支路与气源相连、另一进气支路连接至纯化器的出气端，所述纯化器的进气端与气源相连接、出气端与保管管路的进气端相连，保养管路的出气端连接至测试仪器的进气端，所述测试仪器的进气端与测试管路相连，测试仪器的出气端连接有出气管路。/n

【技术特征摘要】
1.一种水氧颗粒分析检测柜，其特征在于，包括
柜体；
以及设置在柜体内的测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器；
其中，所述测试盘面包括进气管路、保养管路、测试管路、吹扫管路和抽真空管路，
所述进气管路的一个进气支路与气源相连、另一进气支路连接至纯化器的出气端，所述纯化器的进气端与气源相连接、出气端与保管管路的进气端相连，保养管路的出气端连接至测试仪器的进气端，所述测试仪器的进气端与测试管路相连，测试仪器的出气端连接有出气管路。


2.根据权利要求1所述的水氧颗粒分析检测柜，其特征在于，所述抽真空管路由真空主管、以及并联设置的真空主管上的多路真空支管构成；
每路真空支管上均设有第一压力控制阀，真空主管上依次设置有第二压力控制阀、真空罐、第三压力控制阀和真空泵，所述真空罐上安装有用于检测真空罐罐体内压力的第一压力传感器，所述第一压力控制阀、第三压力控制阀、第一压力传感器均与控制器电连接。


3.根据权利要求1所述的水氧颗粒分析检测柜，其特征在于，所述测试仪器包括水分仪、氧分析仪和颗粒仪，水分仪的进气端、氧分析仪的进气端、颗粒仪的进气端均与测试管路相连。


4.根据权利要求1或3所述的水氧颗粒分析检测柜，其特征在于，所述进气管路、测试管路均设置有多路，进气管路和测试管路的数量均与待测设备的数量相等，每个待测设备上均连接有...

【专利技术属性】
技术研发人员：时昌杰，冯明，陈菊，
申请(专利权)人：至砾机电设备上海有限公司，上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31