一种手控装置及特气柜制造方法及图纸

技术编号:24241554 阅读:52 留言:0更新日期:2020-05-21 10:58
本实用新型专利技术公开了一种手控装置及应用该种手控装置的特气柜,所述手控装置包括壳体、设置在壳体外侧面的手控阀和压力指示器、以及设置在壳体内的逻辑阀,所述手控阀的进气口连接有用于与气源相连的进气管,手控阀的出气口通过控制气管分别与逻辑阀的第一进气口和压力指示器的进气口相连接,所述逻辑阀的出气口连接有出气管。本实用新型专利技术结构简单、操作方便,能够避免手控阀过多而产生的误操作,从而造成指示灯指示错误,同时也能简化了手控装置的连接管路,方便后期维护、检修等工作。

A manual control device and special gas holder

【技术实现步骤摘要】
一种手控装置及特气柜
本技术涉及特气供应的安全控制技术,尤其涉及一种手控装置及特气柜。
技术介绍
随着我国半导体产业的快速发展和国家政策的大力支持,各类高新技术产业,如芯片等行业进入高速发展时期,大量自动控制的特气柜被使用,但是当其自动控制系统因不可控的因素(如控制元件故障等)而无法正常工作时,手动控制就成为保证供气正常供应的首选方法。伴随着行业发展的同时,客户对于特气柜从功能、人性化、体积等方面的要求不断提高,但特气柜的手动控制系统还沿用着老式的设计方案,在功能、操控和体积等方面,已经不能满足工厂生产的所需,主要存在以下几个缺点:1、体积过大。传统手控系统壳体过大,而特气柜为适应生产需要,总体体积持续不断的缩小,这样在内部盘面、气体钢瓶体积不变的情况下,可供安装手控系统的空间也越来越少。至今传统手控系统已经难以满足安装需求了。2、手控系统复杂。传统手控系统需要三个手控阀加上三个指示灯,手控阀与指示灯之间的间距较小,容易造成指示灯指示结果的误判。其次部件较多造成连接的管路与线路复杂,不利于后期维护检修。3、原来安装手控阀时,三个手控阀的阀柄都在壳体外部,操作人员操作特气柜内其他部件时容易误触手控阀柄造成控制系统异常,产生不必要的生产损失。4、成本昂贵。因结构设计问题,壳体加工材料较多,加工成本较贵,电控器件较多,所以装置价格昂贵,使用者往往付出较大成本。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提供了一种手控装置及特气柜,用以解决上述
技术介绍
中存在的问题。一种手控装置,包括壳体;设置在壳体外侧面的手控阀和压力指示器;以及设置在壳体内的逻辑阀;其中,所述手控阀的进气口连接有用于与气源相连的进气管,手控阀的出气口通过控制气管分别与逻辑阀的第一进气口和压力指示器的进气口相连接,所述逻辑阀的出气口连接有出气管。优选地,所述壳体包括前壳和后盖,所述前壳为后端面开口的内中空箱体,后盖安装在前壳的后端面上,前壳的一侧面设有向内凹陷的凹陷部,所述手控阀和压力指示器卡在所述凹陷部。优选地,所述凹陷部的凹陷深度不小于手控阀的垂直高度。优选地,所述后盖上开设有多个可供进气管和出气管穿过的圆孔。优选地,所述圆孔设置有4个,4个圆孔分别分布在后盖的四个边角。优选地,所述逻辑阀采用的是或门逻辑阀。一种特气柜,包括手控装置,所述手控装置的进气管的自由端与气源相连、出气管的自由端与特气柜内的气动阀相连,所述逻辑阀的第二进气口与电磁阀的出气口相连,电磁阀的进气口与气源相连。优选地,所述手控装置安装在特气柜的相对内侧壁上。本技术的有益效果是:1、本申请的手控装置只设置一个手控阀和一个压力指示器,能够避免手控阀过多而产生的误操作,从而造成指示灯指示错误,同时也能简化手控装置的连接管路,方便后期维护、检修等工作。2、通过在壳体侧面设置凹陷部,将手控阀和压力指示器卡在凹陷部内,在操作特气柜内其他部件时,能够避免误触手控阀而干扰特气柜的正常控制,避免产生不必要的生产损失。3、本申请的手控装置体积只有原来的五分之一,大大减小其安装占用空间,减少了生产材料用量,大大降低了生产成本。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。图1是手控装置的立体结构示意图。图2是手控装置的侧视图。图3是手控装置的气路连接图。图中标号的含义为:1为壳体,2为手控阀,3为压力指示器,4为逻辑阀,5为进气管,6为控制气管,7为出气管,8为前壳,9为后盖,10为凹陷部,11为圆孔,12为气动阀,13为电磁阀,14为气源。具体实施方式为了更好的理解本技术的技术方案,下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。应当明确,所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。下面通过具体的实施例并结合附图对本申请做进一步的详细描述。在本申请的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性;除非另有规定或说明,术语“多个”是指两个或两个以上;术语“连接”、“固定”等均应做广义理解,例如,“连接”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。本技术实施例给出一种手控装置,包括壳体1、手控阀2、压力指示器3和逻辑阀4。具体地,所述壳体1包括前壳8和后盖9,所述前壳8为后端面开口的内中空箱体,后盖9安装在前壳8的后端面上,前壳8的一侧面设有向内凹陷的凹陷部10。所述手控阀2和压力指示器3设置在壳体1的外侧面,具体地,手控阀2和压力指示器3均卡设在所述凹陷部10,凹陷部10的凹陷深度不小于手控阀2的垂直高度。所述逻辑阀4设置在壳体1内。本实施例中,逻辑阀4采用的是或门逻辑阀,压力指示器3采用的是德国FEST0的OH-22型指示器。所述手控阀2的进气口连接有用于与气源14相连的进气管5,手控阀2的出气口通过控制气管6分别与逻辑阀4的第一进气口和压力指示器3的进气口相连接,所述逻辑阀4的出气口连接有出气管7。壳体1的后盖9上开设有多个可供进气管5和出气管7穿过的圆孔11。本实施例中,后盖9上设置有4个圆孔,4个圆孔分别分布在后盖9的四个边角。本申请的特气柜,包括上述的手控装置,所述手控装置的进气管5的自由端与气源14相连、出气管的自由端与特气柜内的气动阀12相连,所述逻辑阀4的第二进气口与特气柜内的电磁阀13的出气口相连,电磁阀13的进气口与气源14相连。优选地,所述手控装置安装在特气柜的相对内侧壁上,每个内侧壁上各装一个手控装置。在使用时,特气柜的控制器使电磁阀13通电,电磁阀13打开,特气通过电磁阀13、逻辑门4传输至气动阀12。当工作人员手动扳动手控阀2、使手控阀2打开时,特气通过管路分别进入逻辑阀4和压力指示器3,逻辑阀4将特气传输至气动阀12。本申请的手控装置只设置一个手控阀2和一个压力指示器3,能够避免手控阀2过多而产生的误操作,从而造成指示灯指示错误,同时也能简化手控装置的连接管路,方便后期维护、检修等工作。通过在壳体1侧面设置凹陷部10,将手控阀2和压力指示器3卡在凹陷部10内,在操作特气柜内其他部件时,能够避免误触手控阀2而干扰特气柜的正常控制,避免产生不必要的生产损失。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已,并不用以限制本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种手控装置,其特征在于,包括/n壳体(1);/n设置在壳体(1)外侧面的手控阀(2)和压力指示器(3);/n以及设置在壳体(1)内的逻辑阀(4);/n其中,所述手控阀(2)的进气口连接有用于与气源相连的进气管(5),手控阀(2)的出气口通过控制气管(6)分别与逻辑阀(4)的第一进气口和压力指示器(3)的进气口相连接,所述逻辑阀(4)的出气口连接有出气管(7)。/n

【技术特征摘要】
1.一种手控装置,其特征在于,包括
壳体(1);
设置在壳体(1)外侧面的手控阀(2)和压力指示器(3);
以及设置在壳体(1)内的逻辑阀(4);
其中,所述手控阀(2)的进气口连接有用于与气源相连的进气管(5),手控阀(2)的出气口通过控制气管(6)分别与逻辑阀(4)的第一进气口和压力指示器(3)的进气口相连接,所述逻辑阀(4)的出气口连接有出气管(7)。


2.根据权利要求1所述的手控装置,其特征在于,所述壳体(1)包括前壳(8)和后盖(9),所述前壳(8)为后端面开口的内中空箱体,后盖(9)安装在前壳(8)的后端面上,前壳(8)的一侧面设有向内凹陷的凹陷部(10),所述手控阀(2)和压力指示器(3)卡在所述凹陷部(10)。


3.根据权利要求2所述的手控装置,其特征在于,所述凹陷部(10)的凹陷深度不小于手控阀(...

【专利技术属性】
技术研发人员:时昌杰王朋施胜利
申请(专利权)人:至砾机电设备上海有限公司上海至纯洁净系统科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:上海;31

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