MEMS热式质量燃气表装置及气体流量测定方法制造方法及图纸

一种MEMS热式质量燃气表装置及气体流量测定方法，其MEMS热式质量燃气表装置，是在装有温度传感器与换能器的气体流量测量装置表体上并接旁路管，旁路管上装有MEMS流量传感器；温度传感器、换能器及MEMS流量传感器均连接数据处理器。用上述装置气体流量的测定方法是：1气体瞬时流量检测；2气体转换系数的测定；3气体瞬时流量的修正，得到计量的气体流量。本发明专利技术将超声波声速测量装置与MEMS流量传感器结合，扩展了适用范围，可以对燃气和各种工业气体进行计量，在数据处理过程中，超声波声速测量装置实时监测气体组分的变化，计算气体转换系数对瞬时流量进行补偿，提高了气体流量的测量精度，对热式气体流量仪表的应用和推广具有广泛意义。

【技术实现步骤摘要】
MEMS热式质量燃气表装置及气体流量测定方法
本专利技术涉及气体流量测量领域，尤其是涉及一种热式质量燃气表装置及气体流量的测定方法。
技术介绍
众所周知，现在用以测量气体流量的方法有很多种，相应的测试装置也多种多样，但每种装置都有其测试的局限性，比如热式气体流量测量装置，其原理是气体流速与气体分子带走热量之间的关系。这样气体的组分和比定压热容的大小，都会影响测量的准确性。例如目前的热式流量测量装置，基本都是用空气或氮气标定，在燃气计量时，根据现场提供的燃气组分，计算出气体转换系数进行补偿，但在使用中如果燃气组分发生变化流量测量将会出现偏差。公开日为2011年3月30日、公开号为CN101126652B的专利文件公开了电子式质量流量燃气计量表，燃气表壳体为具有气密性容腔的壳体，壳体内的输气管分为独立的进气管，以及连接在一起的流量检测管和出气管，进气、出气管分别与壳体的进、出气接口连接，流量检测管的下游端与出气管连接并水平悬空在壳体中，流量检测管具有主流气道和旁路气道，主流气道中设置一用于分流的装置位于连通旁路气道的两通孔之间，旁路气道的截面积小于主流气道的截面积，一热式质量流量传感器的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS热式质量燃气表装置，包括温度传感器、超声波换能器及数据处理器，其特征是：MEMS热式质量燃气表装置：是在装有温度传感器4与发射换能器1和接收换能器10的气体流量测量装置表体11上并接旁路管5，旁路管5的进口9位于阻流体2的气流上游侧，旁路管的出口3位于阻流体2的气流下游侧，旁路管5上装有MEMS流量传感器6;气体流量测量装置上的温度传感器4、发射换能器1和接收换能器10及MEMS流量传感器6均连接数据处理器7，数据处理器7连接数据显示装置8。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS热式质量燃气表装置，包括温度传感器、超声波换能器及数据处理器，其特征是：MEMS热式质量燃气表装置：是在装有温度传感器4与发射换能器1和接收换能器10的气体流量测量装置表体11上并接旁路管5，旁路管5的进口9位于阻流体2的气流上游侧，旁路管的出口3位于阻流体2的气流下游侧，旁路管5上装有MEMS流量传感器6;气体流量测量装置上的温度传感器4、发射换能器1和接收换能器10及MEMS流量传感器6均连接数据处理器7，数据处理器7连接数据显示装置8。2.使用权利要求1所述装置的气体流量的测定方法，其特征是：1气体瞬时流量检测：当气体从表体11入口至出口内通过阻流体2流动时，一部分气体通过旁路管进口9流入旁路管5中，再从旁路管出口3流出，当流过MEMS流量传感器6时产生流量信号，测量岀气体瞬时流量；2气体转换系数的测定：当气体流动时，发射换能器1发射超声波，对面的接收换能器10接收到超声波，测量岀在表体11内径行程发射和接收到超声波的时间，计算出超声波在表体11内气体中的声速，温度传感器4测量出此时的温度，通过温度补偿，数据处理器计算出标准温度下气体...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩怀成，郑孚，隋晓东，
申请(专利权)人：辽宁思凯科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21