【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一具有一主流路、一副流路和一支流路的多路阀，以及一具有一主流路、一副流路、一支流路和一循环流路的多路阀，更具体一些，则涉及一种多路阀，其中，液体滞留区非常小，可达到非常优越的清洗效果，得到紧凑的管路。在此情况下，一般采取如附图说明图17所示的组合两个双通阀55、56和两个三通管53、54的方法，如图18所示的组合一个三通阀65、一个两通阀61和一个三通管60的方法，如图19所示的组合三个双通阀154、156、157和两个三通管153、155的方法，和如图20所示的组合一个三通阀162、两个双通阀164、165和一个三通管163的方法。可是，在图17所示的情况下，产生化学药品滞留在从三通管53至双通阀55的流路中的问题，和从双通阀55至三通管54的流路在清洗时不能充分洗净的问题。还有，在图18所示的情况下，产生同样的问题，即从三通阀65至三通管60的流路不能充分洗净。再有，在图19所示的情况中，产生化学液体滞留在从三通管153至双通阀154的流路中的问题，和从双通阀154至三通管155的流路在清洗时不能充分洗净的问题。还有，在图20所示的情况下，...
【技术保护点】
一多路阀包括一个本体和致动器，所述本体有通过一个连接通道相连通的一主流路侧阀室和一副流路侧阀室以及一主流路、一支流路和一副流路，所述主流路与布置在主流路侧阀室的底部的中间的主流路侧连通口连通，所述支流路与主流路侧阀室连通，所述副流路与布置在副流路侧阀室的底部的中间的副流路侧连通口连通，所述致动器有分别用于打开和关闭主流路侧连通口和副流路侧连通口的阀体。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：花田敏广，滨田健志，
申请(专利权)人：旭有机材工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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