电磁感应式编码器制造技术

一种电磁感应式编码器，其中，检测头具有产生磁通量的驱动线圈，其中标尺具有多个连接线圈，所述多个连接线圈在测量轴方向上以基础周期λ排列，并且与驱动线圈产生的磁通量电磁耦合，并且产生在测量轴方向上以预定空间周期波动的磁通量，其中，检测头具有多个接收线圈，所述多个接收线圈在测量轴方向上以基础周期λ排列，并且与通过所述多个连接线圈产生的磁通量电磁耦合，且检测磁通量的相位，其中，当所述多个连接线圈的线宽中心之间的距离为“L”且所述多个连接线圈的线宽为“d”时，满足λ/2–2d

Electromagnetic induction encoder

【技术实现步骤摘要】
电磁感应式编码器
在此描述的实施例的某方面涉及电磁感应式编码器。
技术介绍
在检测头和标尺之间使用电磁连接的电磁感应式编码器是已知的，(例如，参见日本专利申请公开No.H10-318781，日本专利申请公开No.2001-255106和日本专利申请公开No.2016-206086)。当电流在检测头的驱动线圈中流动时，产生磁通量。因此，标尺的连接线圈产生电动电流。接下来，由于连接线圈的电动电流产生的磁通量，检测头的接收线圈产生电动电流。线圈之间的每个电磁连接根据检测头和标尺之间的相对位移量而波动。由此，获得具有与连接线圈的间距相同的间距的正弦波信号。当电插值(interpolate)正弦波信号时，可以使用正弦波信号作为最小分辨率的数字量。而且，可以测量检测头的相对位移量。
技术实现思路
据认为加宽连接线圈的线宽能确保电磁感应式编码器中的信号强度。然而，当连接线圈的线宽被加宽时，插值精度可能降低并且测量精度可能降低。在本专利技术的一个方面，一个目的在于提供一种电磁感应式编码器，其能够实现高测量精度并确保信号强度。根据本专利技术的一方面，提供一种电磁感应式编码器，包括：检测头，其具有矩形形状；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电磁感应式编码器，包括：检测头，其具有矩形形状；以及标尺，其具有矩形形状，其中，检测头面对标尺，并且配置为相对于标尺在测量轴方向上相对移动，其中，检测头具有配置为产生磁通量的驱动线圈，其中，标尺具有多个连接线圈，所述多个连接线圈在测量轴方向上以基础周期λ排列，并且配置为与驱动线圈产生的磁通量电磁耦合，并且产生在测量轴方向上以预定空间周期波动的磁通量，其中，检测头具有多个接收线圈，所述多个接收线圈在测量轴方向上以基础周期λ排列，并且配置为与通过所述多个连接线圈产生的磁通量电磁耦合，且检测磁通量的相位，其中，当在测量轴方向上的所述多个连接线圈中的一个线宽中心和另一线宽中心之间的距离为“L”...

【技术特征摘要】
2018.04.13 JP 2018-0772971.一种电磁感应式编码器，包括：检测头，其具有矩形形状；以及标尺，其具有矩形形状，其中，检测头面对标尺，并且配置为相对于标尺在测量轴方向上相对移动，其中，检测头具有配置为产生磁通量的驱动线圈，其中，标尺具有多个连接线圈，所述多个连接线圈在测量轴方向上以基础周期λ排列，并且配置为与驱动线圈产生的磁通量电磁耦合，并且产生在测量轴方向上以预定空间周期波动的磁通量，其中，检测头具有多个接收线圈，所述多个接收线圈在测量轴方向上以基础周期λ排列，并且配置为与通过所述多个连接线圈产生的磁通量电磁耦合，且检测磁通量的相位，其中，当在测量轴方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：森洋笃，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本,JP