气化装置和气化系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供气化装置和气化系统。为了能够高精度地检测容器内的液体材料的液面，气化装置包括收容液体材料(X)的容器(10)、加热容器(10)内的液体材料(X)的加热器(30)、以及检测容器(10)内的液体材料的液面的液面传感器(20)，从上方观察容器(10)内时，容器(10)内形成有液体材料(X)气化的气化区域(S1)以及与气化区域(S1)不同的液面稳定区域(S2)，液面传感器(20)检测液面稳定区域(S2)中的液体材料(X)的液面。

Gasification plant and gasification system

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气化装置和气化系统
本专利技术涉及使液体材料气化的气化装置以及使用该气化装置的气化系统。
技术介绍
作为这种气化装置，如专利文献1所示，具有一种如下结构的气化装置：其具备被导入液体材料的容器以及对容器内的液体材料进行加热的加热器，将液体材料加热而使其气化，并将该气化得到的气体从容器导出并导入到各种设备。该气化装置还具备液面传感器，该液面传感器贯穿至容器内，以检查容器内的液体材料的余量。但是，在容器内由于使液体材料气化而产生气泡，因此，存在诸如由于液面晃动或者从液面飞散的液体材料附着于液面传感器而导致无法准确地检测液面之类的问题。这些问题随着气化装置的小型化而变得显著。专利文献1：日本专利公开公报特开平7-194961号
技术实现思路
因此，本专利技术是为了解决上述问题而完成的，其主要课题在于提供一种能够高精度地检测容器内的液体材料的液面的气化装置。即，本专利技术的气化装置包括：容器，收容液体材料；加热器，加热所述容器内的所述液体材料；以及液面传感器，检测所述容器内的所述液体材料的液面，从上方观察所述容器内时，所述容器内形成有所述液体材料气化的气化区域和液面稳定区域，所述液面传感器检测所述液面稳定区域中的所述液体材料的液面。如果是如此构成的气化装置，则从上方观察容器内时，容器内形成有气化区域和液面稳定区域，利用液面传感器检测液面稳定区域中的液面，因此，能够高精度地检测容器内的液体材料的液面。另外，在此所谓的液面稳定区域不限于液面完全不晃动的区域，只要是能够相比于以往提高液面传感器的检测精度的程度，则液面也可以晃动。作为更具体的实施方式，可以列举：所述加热器设置于所述容器的侧壁的一部分或者其附近。如果这样构成，则能够在容器内对配置有加热器的一侧积极地进行加热，能够在加热器侧形成气化区域，并且在加热器的相反侧形成液面稳定区域。其结果，能够使气化区域的液面处产生的晃动在到达液面稳定区域之前减小，或者能够使从气化区域的液面飞散的液体材料不会到达液面传感器，因此，能够高精度地检测液体材料的液面。优选的是，还包括分隔部件，所述分隔部件以使所述液体材料能够在所述气化区域与所述液面稳定区域之间流通的方式，将所述气化区域与所述液面稳定区域分隔。如果这样构成，则能够利用分隔部件更可靠地防止气化区域的液面的晃动、以及从气化区域的液面飞散的液体材料到达液面稳定区域的情况。为了保证气化区域与液面稳定区域的液面为相同的高度，优选的是，所述分隔部件以使所述液体材料气化而成的材料气体能够在所述气化区域与所述液面稳定区域之间流通的方式，将所述气化区域与所述液面稳定区域分隔。作为用于在容器内形成气化区域和液面稳定区域的具体实施方式，可以列举如下构成：与所述气化区域相比，所述液面稳定区域在单位体积且单位时间被施加的热量较少。另外，如果液体材料气化而成的材料气体在容器内凝结而液化，则液体材料与材料气体被一起从容器导出，例如有可能导致不能高精度地控制材料气体的流量等。因此，为了抑制材料气体的液化，优选的是，包括设置于所述容器的上部且对所述液体材料气化而成的材料气体进行加热的加热器。为了即使材料气体在容器内液化，也能够防止该液化得到的液体材料被与材料气体一起从容器导出，优选的是，在所述容器的所述气化区域侧设有将所述液体材料气化而成的材料气体从所述容器导出的导出口。如果构成为向气化区域导入液体材料，则导入的液体材料可能会一举气化而导致容器内的圧力急剧上升，可能变得不能高精度地控制例如材料气体的流量。因此，为了避免容器内的急剧的压力上升，优选的是，在所述容器的所述液面稳定区域侧形成有将所述液体材料导入所述容器内的导入口。另外，本专利技术的气化系统包括：上述的气化装置；液体材料供给装置，向所述气化装置供给所述液体材料；以及控制装置，基于所述液面传感器的检测信号控制所述液体材料的供给量。如果是这样的气化系统，则能够利用液面传感器高精度地检测液体材料的液面，因此，能够加强控制装置对液体材料的供给量的控制。根据如此构成的本专利技术，即便是小型装置，也能够高精度地检测容器内的液体材料的液面。附图说明图1是示意性表示本专利技术一个实施方式的气化系统的构成的图。图2是示意性表示同一个实施方式的气化装置的构成的图。图3是从液面的面方向观察同一个实施方式的气化装置的图。图4是从液面的面方向观察其他实施方式的气化装置的图。图5是示意性表示其他实施方式的气化装置的构成的图。图6是示意性表示其他实施方式的气化装置的构成的图。图7是示意性表示其他实施方式的气化装置的构成的图。附图标记说明100气化装置X液体材料10容器20液面传感器30加热器P1导入口P2导出口11侧壁S1气化区域S2液面稳定区域40分隔部件具体实施方式下面，参照附图对本专利技术的气化装置的一个实施方式进行说明。本实施方式的气化装置100例如构成在半导体等的制造工序中使用的气化系统Z的一部分，如图1所示，经由导入通道L1供给有来自液体材料供给装置200的液体材料X，使该液体材料X气化而生成材料气体。如图1所示，由气化装置100生成的材料气体经由导出通道L2朝向对象设备输送。导入通道L1和导出通道L2分别设有开闭阀V1、V2，通过使上述开闭阀V1、V2配合适当状况而开闭，从而例如切换成向气化装置100导入液体材料X以及从气化装置100导出材料气体中的任意一方。另外，也能够使开闭阀V1、V2双方打开，还能够使双方关闭。具体而言，后述的液面传感器20检测气化装置100内的液体材料X的液面，根据其检测信号由未图示的控制装置对设置于导入通道L1的开闭阀V1的开度进行调整，由此能够控制液体材料X的供给量。另外，导出通道L2设有例如差压式或热式的质量流量控制器等流量控制装置MFC，能够将导出通道L2中流动的材料气体的流量控制成例如预先设定的目标流量。另外，能够使构成流量控制装置MFC的控制阀具备作为上述的开闭阀V2的功能，在这种情况下，并非必须设置开闭阀V2。如图2所示，本实施方式的气化装置100包括：收容液体材料X的容器10；检测容器10内的液体材料X的液面的液面传感器20；以及加热容器10内的液体材料X的加热器30。容器10例如呈框体形状，其内部形成为使液体材料X气化的气化室S。此处的容器10是纵向长的纵置型容器，形成有与上述的导入通道L1连接的导入口P1、以及与上述的导出通道L2连接的导出口P2。导入口P1位于容器10的下部，具体而言，形成于容器10的侧壁11的下端部。另外，导入口P1也可以形成于容器10的底壁12，还可以设置于容器10的上部。导出口P2位于容器10的上部，具体而言，形成于容器10的侧壁11的上端部。另外，导出口P2也可以形成于容器10的上壁13。液面传感器20能够使用传感器部(未图示)以与液体材料X接触的状态检测液面的接触式液面传感器、传感器部以与液体材料X非接触的状态检测液面的非接触式液面传感器，或者如浮标式那样具有可动部的液面传感器、如电极式那样不具有可动部的液面传感器之类的各种液面传感器。但是，如果具有可动部，则有可能在容器10内产生微粒，因此，在此使用不具有可动部的液面传感器20。具体而言，该液面传感器20是从设置于容器10的上壁13的贯穿孔贯穿至容器10内的接触式液面传感器，具备热敏电阻等测温电阻(未图示)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气化装置，其特征在于，包括：容器，收容液体材料；加热器，加热所述容器内的所述液体材料；以及液面传感器，检测所述容器内的所述液体材料的液面，从上方观察所述容器内时，所述容器内形成有所述液体材料气化的气化区域和液面稳定区域，所述液面传感器检测所述液面稳定区域中的所述液体材料的液面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.04.13 JP 2017-0798951.一种气化装置，其特征在于，包括：容器，收容液体材料；加热器，加热所述容器内的所述液体材料；以及液面传感器，检测所述容器内的所述液体材料的液面，从上方观察所述容器内时，所述容器内形成有所述液体材料气化的气化区域和液面稳定区域，所述液面传感器检测所述液面稳定区域中的所述液体材料的液面。2.根据权利要求1所述的气化装置，其特征在于，所述加热器设置于所述容器的所述气化区域侧的侧壁或者该侧壁的附近。3.根据权利要求1所述的气化装置，其特征在于，还包括分隔部件，所述分隔部件以使所述液体材料能够在所述气化区域与所述液面稳定区域之间流通的方式，将所述气化区域与所述液面稳定区域分隔。4.根据权利要求3所述的气化装置，其特征在于，所述分隔部件以使所述液体材料气化而成的材料气...

【专利技术属性】
技术研发人员：田口明広，姜山亮一，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：日本,JP