下载气化装置和气化系统的技术资料

文档序号:22311328

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本发明提供气化装置和气化系统。为了能够高精度地检测容器内的液体材料的液面,气化装置包括收容液体材料(X)的容器(10)、加热容器(10)内的液体材料(X)的加热器(30)、以及检测容器(10)内的液体材料的液面的液面传感器(20),从上方观...
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