柔性显示基板及其制造方法、柔性显示装置制造方法及图纸

本申请公开一种柔性显示基板及其制造方法、柔性显示装置，属于显示技术领域。该方法包括：在刚性基板上形成柔性基底；在形成有柔性基底的刚性基板上形成隔热层和导热层；在形成有隔热层和导热层的刚性基板上形成显示结构；剥离刚性基板，得到柔性显示基板。本申请可以避免激光剥离刚性基板的过程中产生的热量灼伤柔性显示基板的显示结构，降低剥离刚性基板的过程对柔性显示基板的品质的影响。本申请用于柔性显示基板的制造。

Flexible display base plate and its manufacturing method, flexible display device

【技术实现步骤摘要】
柔性显示基板及其制造方法、柔性显示装置
本申请涉及显示
，特别涉及一种柔性显示基板及其制造方法、柔性显示装置。
技术介绍
随着半导体显示器件的发展以及消费者日益增长的消费需求，柔性显示基板已经开始被大量的推向市场，广泛应用于曲屏手机、曲屏车载设备以及可穿戴设备等柔性显示装置。目前，通常在刚性基板上制造柔性基底以及位于柔性基底上的显示结构，之后采用激光剥离工艺剥离刚性基板得到柔性显示基板。但是在剥离刚性基板的过程中，激光产生的高温热量会灼伤柔性显示基板的显示结构，影响柔性显示基板的品质。申请内容本申请提供一种柔性显示基板及其制造方法、柔性显示装置，有助于避免激光剥离刚性基板的过程中产生的热量灼伤柔性显示基板的显示结构。所述技术方案如下：第一方面，提供一种柔性显示基板的制造方法，所述方法包括：在刚性基板上形成柔性基底；在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成隔热层和导热层；在形成有所述隔热层和所述导热层的所述刚性基板上形成显示结构；剥离所述刚性基板，得到所述柔性显示基板。可选地，所述隔热层与所述导热层同层分布。可选地，所述隔热层具有镂空区域，所述导热层位于所述镂空区域内且与所述隔热层接触。可选地，所述隔热层的厚度与所述导热层的厚度相等。可选地，所述隔热层的材料为绝缘材料，所述导热层的材料为导电材料。可选地，所述隔热层的材料包括二氧化硅气凝胶，所述导热层的材料包括石墨烯。可选地，在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成隔热层和导热层，包括：通过一次构图工艺在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成所述隔热层和所述导热层。可选地，所述通过一次构图工艺在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成所述隔热层和所述导热层，包括：在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成隔热材质层；在形成有所述隔热材质层的所述刚性基板上形成第一光刻胶图形；对所述隔热材质层上未被所述第一光刻胶图形覆盖的区域进行刻蚀，使所述隔热材质层形成镂空区域，得到所述隔热层；在形成有所述第一光刻胶图形的所述刚性基板上形成导热材质层，所述导热材质层部分位于所述镂空区域内；去除所述第一光刻胶图形以及位于所述第一光刻胶图形上的所述导热材质层，得到所述导热层。可选地，在形成有所述隔热材质层的所述刚性基板上形成第一光刻胶图形，包括：在形成有所述隔热材质层的所述刚性基板上形成第一光刻胶层；采用第一掩膜版对所述第一光刻胶层进行曝光，并对曝光后的所述第一光刻胶层进行显影，得到所述第一光刻胶图形；所述显示结构包括：开关单元，所述开关单元包括栅极，所述在形成有所述隔热层和所述导热层的所述刚性基板上形成显示结构，包括：在形成有所述隔热层和所述导热层的所述刚性基板上依次形成导电材质层和第二光刻胶层，所述第二光刻胶层的极性与所述第一光刻胶层的极性相反；采用所述第一掩膜版对所述第二光刻胶层进行曝光，并对曝光后的所述第二光刻胶层进行显影，得到第二光刻胶图形；对所述导电材质层上未被所述第二光刻胶图形覆盖的区域进行刻蚀，使所述导电材质层形成所述栅极，所述栅极与所述导热层叠加接触，且所述栅极在所述柔性基底上的正投影与所述导热层在所述柔性基底上的正投影重合；去除所述第二光刻胶图形。可选地，所述显示结构包括发光单元和所述开关单元，所述在形成有所述隔热层和所述导热层的所述刚性基板上形成显示结构，还包括：在形成有所述栅极的所述刚性基板上依次形成栅绝缘层、有源层、层间介质层和源漏极层，得到所述开关单元；所述方法还包括：在形成有所述开关单元的所述刚性基板上依次形成钝化层、平坦层和像素界定层；所述在形成有所述隔热层和所述导热层的所述刚性基板上形成显示结构，还包括：在所述平坦层远离所述刚性基板的一侧依次形成阳极、发光层和阴极，得到所述发光单元，所述发光单元位于所述像素界定层限定的像素开口中；在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成隔热层和导热层之前，所述方法还包括：在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成缓冲层；所述在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成隔热层和导热层，包括：在形成有所述缓冲层的所述刚性基板上形成所述隔热层和所述导热层。第二方面，提供一种柔性显示基板，所述柔性显示基板包括：柔性基底；位于所述柔性基底上的隔热层和导热层；位于所述隔热层和所述导热层远离所述柔性基底的一侧的显示结构。可选地，所述隔热层与所述导热层同层分布。可选地，所述隔热层具有镂空区域，所述导热层位于所述镂空区域内且与所述隔热层接触。可选地，所述隔热层的厚度与所述导热层的厚度相等。可选地，所述隔热层的材料为绝缘材料，所述导热层的材料为导电材料。可选地，所述隔热层的材料包括二氧化硅气凝胶，所述导热层的材料包括石墨烯。可选地，所述显示结构包括发光单元和开关单元，所述开关单元包括沿远离所述柔性基底的方向依次分布的栅极、栅绝缘层、有源层、层间介质层和源漏极层，所述发光单元包括沿远离所述柔性基底的方向依次分布的阳极、发光层和阴极；所述柔性显示基板还包括：位于所述柔性基底与所述隔热层之间的缓冲层，以及，位于所述开关单元远离所述柔性基底的一侧的钝化层、平坦层和像素界定层，所述发光单元位于所述像素界定层限定的像素开口中。第三方面，提供一种柔性显示装置，包括第二方面任一所述的柔性显示基板。本申请提供的技术方案带来的有益效果是：本申请实施例提供的柔性显示基板及其制造方法、柔性显示装置，由于柔性基底设置在刚性基板上，且柔性基底与显示结构之间具有隔热层和导热层，在采用激光剥离工艺剥离刚性基板的过程中，隔热层可以隔绝激光产生的热量，导热层可以将激光产生的热量从显示基板导出，因此可以避免激光产生的热量灼伤显示结构，降低剥离刚性基板的过程对柔性显示基板的品质的影响。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本申请实施例提供的一种柔性显示基板的制造方法的方法流程图；图2是本申请实施例提供的另一种柔性显示基板的制造方法的方法流程图；图3是本申请实施例提供的一种在刚性基板上形成柔性基底后的示意图；图4是本申请实施例提供的一种在形成有柔性基板的刚性基板上形成缓冲层后的示意图；图5是本申请实施例提供的一种在形成有缓冲层的刚性基板上形成隔热层和导热层的方法流程图；图6是本申请实施例提供的一种在形成有缓冲层的刚性基板上形成隔热材质层后的示意图；图7是本申请实施例提供的一种在形成有隔热材质层的刚性基板上形成第一光刻胶层后的示意图；图8是本申请实施例提供的一种对第一光刻胶层进行曝光的示意图；图9是本申请实施例提供的一种对曝光后的第一光刻胶层进行显影后的示意图；图10是本申请实施例提供的一种对隔热材质层上未被第一光刻胶图形覆盖的区域进行刻蚀后的示意图；图11是本申请实施例提供的一种在形成有第一光刻胶图形的刚性基板上形成导热材质层后的示意图；图12是本申请实施例提供的一种去除第一光刻胶图形以及位于第一光刻胶图形上的导热材质层后的示意图；图13是本申请实施例提供的一种在形成有隔热本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性显示基板的制造方法，其特征在于，所述方法包括：在刚性基板上形成柔性基底；在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成隔热层和导热层；在形成有所述隔热层和所述导热层的所述刚性基板上形成显示结构；剥离所述刚性基板，得到所述柔性显示基板。

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示基板的制造方法，其特征在于，所述方法包括：在刚性基板上形成柔性基底；在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成隔热层和导热层；在形成有所述隔热层和所述导热层的所述刚性基板上形成显示结构；剥离所述刚性基板，得到所述柔性显示基板。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成隔热层和导热层，包括：通过一次构图工艺在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成所述隔热层和所述导热层。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述通过一次构图工艺在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成所述隔热层和所述导热层，包括：在形成有所述柔性基底的所述刚性基板上形成隔热材质层；在形成有所述隔热材质层的所述刚性基板上形成第一光刻胶图形；对所述隔热材质层上未被所述第一光刻胶图形覆盖的区域进行刻蚀，使所述隔热材质层形成镂空区域，得到所述隔热层；在形成有所述第一光刻胶图形的所述刚性基板上形成导热材质层，所述导热材质层部分位于所述镂空区域内；去除所述第一光刻胶图形以及位于所述第一光刻胶图形上的所述导热材质层，得到所述导热层。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在形成有所述隔热材质层的所述刚性基板上形成第一光刻胶图形，包括：在形成有所述隔热材质层的所述刚性基板上形成第一光刻胶层；采用第一掩膜版对所述第一光刻胶层进行曝光，并对曝光后的所述第一光刻胶层进行显影，得到所述第一光刻胶图形；所述显示结构包括：开关单元，所述开关单元包括栅极，所述在形成有所述隔热层和所述导热层的所述刚性基板上形成显示结构，包括：在形成有所述隔热层和所述导热层的所述刚性基板上依次形成导电材质层和第二光刻胶层，所述第二光刻胶层的极性与所述第一光刻胶层的极性相反；采用所述第一掩膜版对所述第二光刻胶层进行曝光，并对曝光后的所述第二光刻胶层进行显影，得到第二光刻胶图形；对所述导电材质层上未被所述第二光刻胶图形覆盖的区域进行刻蚀，使所述导电材质层形成所述栅极，所述栅极与所述导热层叠加接触，且所述栅极在所述柔性基底上的正投影与所述导热层在所述柔性基底上的正投影重合；去除所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫奎，张志海，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11