一种基于氮化硅的激光器制造技术

本实用新型专利技术提出了一种基于氮化硅的激光器，包括：沿着光路方向上依次设置的泵浦源、反射镜面、增益介质、用于产生激光的生成器及与所述的生成器相连接的控制器，所述的反射镜面用于将来自泵浦源的激光进行反射，所述的增益介质用于将反射过来的激光进行放大，所述的生成器为氮化硅器件。本实用新型专利技术的一种基于氮化硅的激光器,运用氮化硅芯片，可以极大的简化激光的系统复杂程度并且降低成本。

A Laser Based on Silicon Nitride

【技术实现步骤摘要】
一种基于氮化硅的激光器
本技术涉及一种激光器，特别涉及一种基于氮化硅的激光器。
技术介绍
半导体激光器是目前光通信系统中最为重要的光源，在通信中现有的半导体激光器一般为DFB激光器(DistributedFeedbackLaser，分布式反馈激光器)或FP激光器(Fabry-perot激光器)，DFB激光器和FP激光器成本较低，体积较小、能耗低，但是DFB激光器和FP激光器的调谐较复杂，在下一代无源光网络(NG-PON2)和5G移动无线接入系统的光承载网中需要用到大量的低成本连续可调激光器，市场需求量非常大。目前，传统的技术方案结构复杂、成本高，尚不能满足要求。此外DFB激光器的线宽一般在MHz及以上，FP激光器的线宽更宽，使其不能满足于自动驾驶技术核心部件激光雷达LIDAR等应用的需要，并且最终会制约通信的数据量。而且，现有技术中的窄线宽可调的激光器都是基于外腔的激光器，基于外腔的激光器一般体积都较大，且售价很贵，约为一万美元以上，所以尽管新兴产业中对激光器的需求很大，但成本问题大大制约了激光器的普及，及相关应用产业的发展。
技术实现思路
为了解决现有技术中激光器体积大、成本高的不足，本技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于氮化硅的激光器，包括：沿着光路方向上依次设置的泵浦源、反射镜面、增益介质、用于产生激光的生成器及与所述的生成器相连接的控制器，所述的反射镜面用于将来自泵浦源的激光进行反射，所述的增益介质用于将反射过来的激光进行放大，其特征在于，所述的生成器为氮化硅器件。

【技术特征摘要】
2019.02.03 CN 20191011602991.一种基于氮化硅的激光器，包括：沿着光路方向上依次设置的泵浦源、反射镜面、增益介质、用于产生激光的生成器及与所述的生成器相连接的控制器，所述的反射镜面用于将来自泵浦源的激光进行反射，所述的增益介质用于将反射过来的激光进行放大，其特征在于，所述的生成器为氮化硅器件。2.根据权利要求1所述的基于氮化硅的激光器，其特征在于，所述的生成器包括光波导、环形谐振腔、谐振器及激光输出接口，所述的光波导用于将放大过的激光导入到所述的环形谐振腔进行谐振，再将谐振后的激光导出到激光输出接口以输出激光，所述的谐振器控制谐振频率。3.根据权利要求1所述的基于氮化硅的激光器，其特征在于，所述的反射镜面具有高反射镀层，至少镀在相对于所述的增益介质的一端。4.根据权利要求1所述的基于氮化硅的激光器，其特征在于，所述的增益介质采用三五族增益介质。5.根据权利要求1所述的基于氮化硅的激光器，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴兴宇，
申请(专利权)人：深圳市硅光半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44