一种高灵敏度电容薄膜真空计制造技术

本实用新型专利技术涉及一种高灵敏度电容薄膜真空计，包括外壳、检测膜片和固定极板，外壳的内部为空腔结构，检测膜片固定在外壳的内部，并将外壳的内部分割成真空腔室和检测腔室。固定极板固定在真空腔室内，固定极板与检测膜片相对设置的一面为朝远离检测膜片的一侧凹设的弧面，弧面上镀设有导电材料。其中，检测膜片为可动极板，可动极板与固定极板组成一可变电容器。本实用新型专利技术将固定极板与检测膜片相对设置的一面设计成弧面，使得边缘效应大大减小，电容的有效面积大大增加，提高了有效信号量，进而大大提高真空计的灵敏度和分辨率。

【技术实现步骤摘要】
一种高灵敏度电容薄膜真空计
本技术属于真空计量
，具体涉及一种高灵敏度电容薄膜真空计。
技术介绍
随着科学技术的不断进步，许多高
需要极高的真空环境。尤其在半导体制造领域，许多工艺步骤需要在高真空度下进行，比如刻蚀，沉积等工艺。在上述半导体制造中，对于真空度的测量往往采用真空规的方式予以实现，比如电容薄膜真空规的测量原理是气体通过进气管引入到检测腔室中，由于气体压力作用使检测膜片发生形变，引起了检测膜片与固定极板之间距离的变化，进而引起二者之间电容量的改变，再利用电学方法测出电容量，通过校准得到电容量与气体压力之间的关系来衡量真空度的大小。但是，现有技术中的真空规在灵敏度和分辨率较低。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术提供一种高灵敏度电容薄膜真空计，旨在解决现有技术中存在的电容薄膜真空计灵敏度和分辨率较低的问题。(二)技术方案为了达到上述目的，本技术采用的主要技术方案包括：本技术提供一种高灵敏度电容薄膜真空计，包括外壳、检测膜片和固定极板；外壳的内部为空腔结构，检测膜片固定在外壳的内部，并将外壳的内部分割成真空腔室和检测腔室；固定极板固定在真空腔室内，固定极板与检测膜片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高灵敏度电容薄膜真空计，其特征在于，包括外壳(1)、检测膜片(2)和固定极板(3)；所述外壳(1)的内部为空腔结构，所述检测膜片(2)固定在所述外壳(1)的内部，并将所述外壳(1)的内部分割成真空腔室(11)和检测腔室(12)；所述固定极板(3)固定在所述真空腔室(11)内，所述固定极板(3)与所述检测膜片(2)相对设置的一面为朝远离所述检测膜片(2)的一侧凹设的弧面，所述弧面上镀设有导电材料；其中，所述检测膜片(2)为可动极板，所述可动极板与所述固定极板(3)组成一可变电容器。

【技术特征摘要】
1.一种高灵敏度电容薄膜真空计，其特征在于，包括外壳(1)、检测膜片(2)和固定极板(3)；所述外壳(1)的内部为空腔结构，所述检测膜片(2)固定在所述外壳(1)的内部，并将所述外壳(1)的内部分割成真空腔室(11)和检测腔室(12)；所述固定极板(3)固定在所述真空腔室(11)内，所述固定极板(3)与所述检测膜片(2)相对设置的一面为朝远离所述检测膜片(2)的一侧凹设的弧面，所述弧面上镀设有导电材料；其中，所述检测膜片(2)为可动极板，所述可动极板与所述固定极板(3)组成一可变电容器。2.如权利要求1所述的高灵敏度电容薄膜真空计，其特征在于，所述弧面的球面弧度深度的计算公式如下：其中，Δdo为弧面的球面弧度深度，R为膜片周边半径，σ为膜片初始张力时的预紧力，t为膜片厚度，P为被测压力。3.如权利要求1所述的高灵敏度电容薄膜真空计，其特征在于，所述固定极板(3)采用陶瓷或者蓝宝石材料制成。4.如权利要求1所述的高灵敏度电容薄膜真空计，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐云剑，
申请(专利权)人：上海振太仪表有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31