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本实用新型涉及一种高灵敏度电容薄膜真空计，包括外壳、检测膜片和固定极板，外壳的内部为空腔结构，检测膜片固定在外壳的内部，并将外壳的内部分割成真空腔室和检测腔室。固定极板固定在真空腔室内，固定极板与检测膜片相对设置的一面为朝远离检测膜片的一侧...
该专利属于上海振太仪表有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海振太仪表有限公司授权不得商用。

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