本技术适用于真空测量技术领域，涉及一种双腔体多电容薄膜差压计，包括：壳体；壳体包括第一腔体和第二腔体，第一腔体和第二腔体通过膜片连接；第一腔体内设有第一极板和第一盖板，第一极板设置在膜片的一侧，第一盖板设置在远离膜片的第一极板一侧；第二腔体内设有第二极板和第二盖板，第二极板设置在膜片的另一侧，第二盖板设置在远离膜片的第二极板一侧。本技术结构简单，功能强大，解决了现有真空测量技术中的非对称性和非线性的差异，精确度和稳定性高。
【技术实现步骤摘要】
本技术属于真空测量，尤其涉及一种双腔体多电容薄膜差压计。
技术介绍
1、电容薄膜差压计是一种薄膜差压测量仪器，其测量使用在10-4～106pa范围，由于电容薄膜规具有高稳定性、高精度和耐腐蚀性等优点，被广泛应用在航天航空、半导体装备、太阳能、食品包装和科学研究等重要领域。
2、目前电容薄膜差压计均采用单侧电容，其存正反向工作的非对称性和非线性的差异，一般只能做到0.5％的精度，在使用时，要求膜片朝电极方向变动，才能获得较为线性的测量特性，因此，准确度无法做到很高，稳定性相对比较差。公告号为cn100507468c的专利提供了一种易挥发变密度介质中的液位测量装置及其方法，该液位测量装置包括储罐顶端测压点、储罐中间液相取压点、储罐底部测压点、干隔离管、微功耗无线传输单元、第一差压计、第二差压计、ptc加热单元、温度传感器。此专利当中所设置的第一差压计和第二差压计均是采用单电容，精度较低，稳定性也较差，存在与现有技术相同的弊端。
3、因此，如何提供一种精确度和稳定性高的差压计是本
人员亟待解决的问题。
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【技术保护点】
1.一种双腔体多电容薄膜差压计，其特征在于，包括：壳体；
2.根据权利要求1所述的一种双腔体多电容薄膜差压计，其特征在于，所述第一腔体内还设有第一波形弹簧，所述第一波形弹簧设置在所述第一极板和第一盖板之间；所述第二腔体内还设有第二波形弹簧，所述第二波形弹簧设置在所述第二极板和第二盖板之间。
3.根据权利要求1所述的一种双腔体多电容薄膜差压计，其特征在于，还包括第一引针和第二引针，所述第一引针嵌设在所述第一腔体一侧的开孔内，所述第二引针嵌设在所述第二腔体一侧的开孔内。
4.根据权利要求3所述的一种双腔体多电容薄膜差压计，其特征在于，还包括第一宝塔弹簧和第...
【技术特征摘要】
1.一种双腔体多电容薄膜差压计，其特征在于，包括：壳体；
2.根据权利要求1所述的一种双腔体多电容薄膜差压计，其特征在于，所述第一腔体内还设有第一波形弹簧，所述第一波形弹簧设置在所述第一极板和第一盖板之间；所述第二腔体内还设有第二波形弹簧，所述第二波形弹簧设置在所述第二极板和第二盖板之间。
3.根据权利要求1所述的一种双腔体多电容薄膜差压计，其特征在于，还包括第一引针和第二引针，所述第一引针嵌设在所述第一腔体一侧的开孔内，所述第二引针嵌设在所述第二腔体一侧的开孔内。
4.根据权利要求3所述的一种双腔体多电容薄膜差压计，其特征在于，还包括第一宝塔弹...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐云剑，
申请(专利权)人：上海振太仪表有限公司，
类型：新型
国别省市：
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