机器人系统以及机器人的控制方法技术方案

本发明专利技术提供一种机器人系统以及机器人的控制方法，即使在周围的温度等条件存在变化的情况下也能够以均匀的层厚来涂布液体。机器人系统包括：机器人；液体涂布部，设于机器人；涂布厚度测量部，对由液体涂布部所涂布的液体的涂布厚度进行测量；距离测量部，对从距离测量部直至涂布对象为止的第1距离进行测量；控制部，基于第1距离来控制机器人，以使从液体涂布部直至涂布对象为止的第2距离为固定；以及供给量调整部，根据由涂布厚度测量部所测量的涂布厚度，来调整液体朝向涂布对象的供给量，距离测量部、液体涂布部及涂布厚度测量部是朝向液体的涂布方向，依照距离测量部、液体涂布部及涂布厚度测量部的顺序进行配置。

【技术实现步骤摘要】
机器人系统以及机器人的控制方法
本专利技术涉及一种机器人系统(robotsystem)以及机器人的控制方法。
技术介绍
在专利文献1中揭示了下述技术：在上下移动的致动器(actuator)上安装模头(diehead)，通过配设在模头中的距离测定传感器(sensor)来测定模头与基板表面的距离，将模头与基板表面的距离维持为设定距离。根据专利文献1，追随于基板的起伏而在基板上形成均匀的涂布膜。在专利文献2中揭示了下述技术：根据溶液的粘度来设定药液喷嘴(nozzle)相对于基盘的位置。根据专利文献2，在基盘表面以均匀的膜厚来涂布高粘度的溶液。[现有技术文献][专利文献]专利文献1：日本专利特开2004-298697号公报专利文献2：日本专利特开2010-042325号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]但是，在使用机器人在基板等上涂布液体的情况下，液体的涂布厚度不仅受到基板的起伏影响，而且受到周围温度、液体涂布部中的液体剩余量、或者液体涂布部内的压力等影响。关于此点，在专利文献1及专利文献2所记载的技术中，无法实时(realtime)地追随于周围的温度变化等来控制液体的涂布量，从而无法以均匀的层厚来涂布液体。因此，本专利技术的课题在于提供一种即使在周围的温度等条件存在变化的情况下也能够以均匀的层厚来涂布液体的机器人系统以及机器人的控制方法。[解决问题的技术手段]为了解决所述课题，本揭示的机器人系统包括：机器人；液体涂布部，设于所述机器人；涂布厚度测量部，对由所述液体涂布部所涂布的液体的涂布厚度进行测量；距离测量部，对从所述距离测量部直至涂布对象为止的第1距离进行测量；控制部，基于所述第1距离来控制所述机器人，以使从所述液体涂布部直至所述涂布对象为止的第2距离为固定；以及供给量调整部，根据由所述涂布厚度测量部所测量的涂布厚度，来调整所述液体朝向所述涂布对象的供给量，所述距离测量部、所述液体涂布部及所述涂布厚度测量部是朝向所述液体的涂布方向，依照所述距离测量部、所述液体涂布部及所述涂布厚度测量部的顺序进行配置。所述机器人系统中，通过设于机器人的液体涂布部来涂布液体，通过涂布厚度测量部来测量液体的涂布厚度。距离测量部对从距离测量部直至涂布对象为止的第1距离进行测量。控制部基于第1距离来控制机器人，以使从液体涂布部直至涂布对象为止的第2距离为固定。供给量调整部根据由涂布厚度测量部所测量的涂布厚度，来调整液体朝向涂布对象的供给量。在如上所述的机器人系统中，距离测量部、液体涂布部及涂布厚度测量部是朝向液体的涂布方向，依照距离测量部、液体涂布部及涂布厚度测量部的顺序进行配置。因此，根据所述机器人系统，使用距离测量部与涂布厚度测量部来测量液体的涂布厚度，并根据涂布厚度来线性(linear)地实时(realtime)控制液体的供给量，因此即使在周围的温度等条件存在变化的情况下，也能够以均匀的层厚来涂布液体。而且，根据所述机器人系统，距离测量部、液体涂布部及涂布厚度测量部是朝向液体的涂布方向而依此顺序配置，因此能够借助时间差运算来测量涂布厚度。一实施方式的机器人系统中，在所述液体涂布部到达由所述距离测量部测量出所述第1距离的所述涂布对象上的点(point)时，所述控制部基于所述第1距离来控制所述机器人，以使从所述液体涂布部直至所述涂布对象为止的第2距离为固定，在所述涂布厚度测量部到达由所述距离测量部测量出所述第1距离的所述涂布对象上的点时，所述涂布厚度测量部基于从所述涂布厚度测量部直至涂布面为止的距离与所述第1距离，来测量所述液体的所述涂布厚度。所述一实施方式的机器人系统中，通过依照如上所述的顺序进行配置的距离测量部、液体涂布部及涂布厚度测量部，能够借助时间差运算来测量涂布厚度和调整液体的供给量。一实施方式的机器人系统中，所述液体涂布部包括注射器(syringe)及喷嘴，所述喷嘴包括所述液体的喷出口的节流部件，所述供给量调整部通过驱动所述节流部件，来调整所述液体朝向所述涂布对象的供给量。所述一实施方式的机器人系统中，液体的供给量是通过驱动喷嘴的节流部件而调整。并且，如上述那样测量所供给的液体的涂布厚度，根据涂布厚度来线性地实时控制液体涂布部与涂布对象的距离。因此，即使在周围的温度等条件存在变化的情况下，也能够以均匀的层厚来涂布液体。一实施方式的机器人系统中，所述液体涂布部包括注射器及喷嘴，通过将所述注射器内设为负压，从而抑制液体的喷出，通过将注射器内设为大气压或正压，从而进行液体的喷出，所述供给量调整部通过调整所述喷嘴与所述涂布对象的距离，来调整所述液体朝向所述涂布对象的供给量。所述一实施方式的机器人系统中，注射器内的压力被设为正压时的液体喷出量将根据喷嘴与涂布对象的距离而变化。对所喷出的液体的涂布厚度进行测量，并根据涂布厚度来线性地实时控制液体涂布部与涂布对象的距离。因此，即使在周围的温度等条件存在变化的情况下，也能够以均匀的层厚来涂布液体。为了解决所述课题，本揭示的机器人的控制方法包括下述步骤：对由设于机器人的液体涂布部所涂布的液体的涂布厚度进行测量；测量从距离测量部直至涂布对象为止的第1距离；基于所述第1距离来控制所述机器人，以使从所述液体涂布部直至所述涂布对象为止的第2距离为固定；以及根据所测量出的涂布厚度来调整所述液体朝向所述涂布对象的供给量，依照对直至所述涂布对象为止的距离进行测量的步骤、通过所述液体涂布部来涂布所述液体的步骤及测量所述涂布厚度的步骤的顺序来进行处理。根据本揭示的控制方法，使用距离测量部与涂布厚度测量部来测量液体的涂布厚度，并根据涂布厚度来线性地实时控制液体的供给量，因此即使在周围的温度等条件存在变化的情况下，也能够以均匀的层厚来涂布液体。而且，根据所述控制方法，依照对直至涂布对象为止的距离进行测量的步骤、通过液体涂布部来涂布液体的步骤及测量涂布厚度的步骤的顺序来进行处理，因此能够借助时间差运算来测量涂布厚度。[专利技术的效果]根据以上可明确的是，根据本揭示的机器人系统以及机器人的控制方法，即使在周围的温度等条件存在变化的情况下，也能够以均匀的层厚来涂布液体。附图说明图1是表示一实施方式中的机器人系统的俯视图。图2是表示分注器头(dispenserhead)的结构的侧面图。图3是表示分注器控制器的硬件(hardware)结构的框图。图4是分注器控制器的功能框图。图5的(A)是对工件与喷嘴分离时的涂布液的喷出进行说明的图，图5的(B)是对工件与喷嘴未较图5的(A)分离时的涂布液的喷出进行说明的图。图6的(A)及图6的(B)是用于说明喷嘴-工件间距离的控制方法的图。图7的(A)及图7的(B)是用于说明涂布厚度测量方法的图。图8是表示喷嘴-工件间距离的控制的控制回路(loop)的框线图。图9是表示分注器头的Z轴(上下方向)控制的控制回路的框线图。[符号的说明]22a：距离测量传感器(距离测量部)22b：涂布厚度测量传感器(涂布厚度测量部)24：喷嘴(液体涂布部)30：分注器控制器73a：控制部73b：供给量调整部100：机器人系统具体实施方式以下，参照附图来详细说明本专利技术的实施方式。(机器人系统)图1是表示本揭示的一实施方式中的机器人系统100的俯视图。如图1所示，本实施方式中的机器人系统100包括机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机器人系统，其特征在于包括：机器人；液体涂布部，设于所述机器人；涂布厚度测量部，对由所述液体涂布部所涂布的液体的涂布厚度进行测量；距离测量部，对从所述距离测量部直至涂布对象为止的第1距离进行测量；控制部，基于所述第1距离来控制所述机器人，以使从所述液体涂布部直至所述涂布对象为止的第2距离为固定；以及供给量调整部，根据由所述涂布厚度测量部所测量的涂布厚度，来调整所述液体朝向所述涂布对象的供给量，所述距离测量部、所述液体涂布部及所述涂布厚度测量部是朝向所述液体的涂布方向，依照所述距离测量部、所述液体涂布部及所述涂布厚度测量部的顺序进行配置。

【技术特征摘要】
2018.03.15 JP 2018-0485031.一种机器人系统，其特征在于包括：机器人；液体涂布部，设于所述机器人；涂布厚度测量部，对由所述液体涂布部所涂布的液体的涂布厚度进行测量；距离测量部，对从所述距离测量部直至涂布对象为止的第1距离进行测量；控制部，基于所述第1距离来控制所述机器人，以使从所述液体涂布部直至所述涂布对象为止的第2距离为固定；以及供给量调整部，根据由所述涂布厚度测量部所测量的涂布厚度，来调整所述液体朝向所述涂布对象的供给量，所述距离测量部、所述液体涂布部及所述涂布厚度测量部是朝向所述液体的涂布方向，依照所述距离测量部、所述液体涂布部及所述涂布厚度测量部的顺序进行配置。2.根据权利要求1所述的机器人系统，其特征在于，在所述液体涂布部到达由所述距离测量部测量出所述第1距离的所述涂布对象上的点时，所述控制部基于所述第1距离来控制所述机器人，以使从所述液体涂布部直至所述涂布对象为止的所述第2距离为固定，在所述涂布厚度测量部到达由所述距离测量部测量出所述第1距离的所述涂布对象上的点时，所述涂布厚度测量部基于从所述涂...

【专利技术属性】
技术研发人员：滝沢一博，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP