一种晶圆检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种晶圆检测装置，包括控制器、两个传感器和传感器固定机构，两个传感器设置在传感器固定机构上，两个传感器中心所在平面与晶舟槽位平行，两个传感器和传感器固定机构与控制器连接，控制器控制传感器固定机构升降使得两个传感器依次扫描晶舟内部的槽位，两个传感器每次分别扫描同一槽位的两侧，控制器用于在两个传感器采集的信号不一致时输出晶圆斜插信息。本方案通过两个传感器对晶舟对应槽位进行扫描，可以判断晶圆是否存在斜插的异常情况，避免生产过程中产生因晶圆斜插而引起的破片异常。

A Wafer Detection Device

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检测装置
本专利技术涉及自动化设备领域，尤其涉及一种晶圆检测装置。
技术介绍
晶圆作业机台通过固定机械式的手臂进行晶圆的抓取，在机械手臂自动抓取晶圆前，需要先进行晶圆状态信息的扫描读取，以获取晶圆的数量以及所放置的晶舟槽位等信息，从而通过控制端反馈并下达指令给机械手臂进行准确的晶圆抓取。目前业界常用单个传感器等辅助扫描器扫描待作业的晶舟，从而将数据反馈控制端分析得出晶圆所放置的对应槽位，精准下达指令给机械手臂进行晶圆抓取。但是目前机台仅扫描晶舟对应槽位是否有晶圆，无法判断晶圆是否存在斜插的异常情况。当发生斜插时，此时抓取晶圆会导致晶圆破碎。
技术实现思路
为此，需要提供一种晶圆检测装置，解决现有晶圆作业机台无法获取晶圆斜插情况的问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种晶圆检测装置，包括控制器、两个传感器和传感器固定机构，两个传感器设置在传感器固定机构上，两个传感器中心所在平面与晶舟槽位平行，两个传感器和传感器固定机构与控制器连接，控制器控制传感器固定机构升降使得两个传感器依次扫描晶舟内部的槽位，两个传感器每次分别扫描同一槽位的两侧，控制器用于在两个传感器采集的信号不一致时输出晶圆斜插信息。进一步地，还包括可旋转式的机械手臂，控制器与机械手臂连接，控制器用于在晶圆斜插时，控制机械手臂旋转一调整角度后抓取晶圆。进一步地，所述控制器用于根据斜插晶圆的宽度和高度差再利用三角函数算出斜插角度值为调整角度。进一步地，所述控制器用于根据两个传感器都采集到信号时，输出该槽位具有晶圆的信息。进一步地，所述控制器用于根据两个传感器都没有采集到信号时，输出该槽位没有晶圆的信息。进一步地，所述传感器为摄像头或者测距传感器。区别于现有技术，上述技术方案通过两个传感器对晶舟对应槽位进行扫描，可以判断晶圆是否存在斜插的异常情况，避免生产过程中产生因晶圆斜插而引起的破片异常。附图说明图1为具体实施方式所述晶圆检测装置的结构示意图；图2为具体实施方式所述晶舟上晶圆正常存放的结构示意图；图3为具体实施方式所述晶舟上晶圆斜插的结构示意图；图4为具体实施方式所述晶舟上晶圆斜插角度计算的结构示意图；图5为具体实施方式所述晶舟上晶圆斜插角度计算的结构示意图。附图标记说明：10、传感器；11、传感器固定机构；12、晶舟；13、槽位。具体实施方式为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。请参阅图1到图5，本实施例提供一种晶圆检测装置，包括控制器，控制器可以设置晶圆检测装置内或者设置在晶圆作业机台内，如可以是计算机、PLC控制器或者嵌入式控制器等。还包括两个传感器10和传感器固定机构11，两个传感器设置在传感器固定机构上，两个传感器中心所在平面与晶舟12槽位13平行，这样晶圆正常放置槽位内的时候，两个传感器中心所在平面会与晶圆平行。两个传感器和传感器固定机构与控制器连接，控制器控制传感器固定机构升降使得两个传感器依次扫描晶舟内部的槽位，可以从上往下扫描或者从下往上扫描。两个传感器每次分别扫描同一槽位的两侧，控制器用于在两个传感器采集的信号不一致时输出晶圆斜插信息。正常时，晶舟上放置有多片晶圆，如图2所示，晶圆水平地放置在每个槽位中。控制器控制传感器固定机构将传感器中心上升到与每个槽位平行，而后槽位内有晶圆的话，则两个传感器都会采集到晶圆信息，如果没有晶圆，则都会采集到没有晶圆信息。具体在采集判断时，请参阅图2和图3，图2为各个晶圆都正常放置的示意图，则传感器固定机构由上往下带动传感器扫描的时候，在有晶圆的槽位，如槽位1、2、4、5、7，两个传感器会扫描到晶圆的两侧，两个传感器都会采集到晶圆，采集到的信息一致。在没有晶圆的槽位，如槽位3、6，传感器会扫描到空的情况，采集到的信息一致，则晶圆没有斜插。图3为有晶圆斜插的情况示意图，则传感器固定机构由上往下带动传感器扫描的时候，在扫描槽位5的时候，左侧的传感器采集到晶圆为空的信息，而右侧的传感器采集到有晶圆的情况，则两侧的传感器采集到的信息不一致，判断为有晶圆斜插。在扫描槽位6的时候，右侧的传感器采集到晶圆为空的信息，而右侧的传感器采集到有晶圆的情况，则两侧的传感器采集到的信息不一致，判断为有晶圆斜插。从而可以将这个信息输送给机台，避免直接抓取有斜插晶圆的槽位，避免生产过程中产生因晶圆斜插而引起的破片异常。为了实现对斜插晶圆的抓取，本装置还包括可旋转式的机械手臂，机械手臂为抓取晶圆的机械手臂，前端带有旋转机构，可以带动机械手臂的抓手旋转，从而可以抓取倾斜的晶圆。控制器与机械手臂连接，控制器用于在晶圆斜插时，控制机械手臂旋转一调整角度后抓取晶圆。调整角度可以预存在控制器内，如晶舟是固定类型的，则斜插的晶圆其倾斜角度基本固定的，只需要知道往左下方倾斜或者往右下方倾斜即可。通过从上往下扫描，如果第一次两侧传感器采集到的信息不一致且是右传感器有晶圆，如图4所示，则说明晶圆左侧向下斜插，则晶圆往左下方倾斜，则控制器带动机械手臂往左下方旋转一个调整角度。如果第一次两侧传感器采集到的信息不一致且是左传感器有晶圆，如图5所示，则说明晶圆右侧向下斜插，则晶圆往右下方倾斜，则控制器带动机械手臂往右下方旋转一个调整角度。在某些实施例中，还可以通过控制器来自动计算出倾斜角度，所述控制器用于根据斜插晶圆的宽度和高度差再利用三角函数算出斜插角度值为调整角度，这样可以实现自动的角度计算。在某些实施例中，还可以通过传感器固定机构来自动计算出斜插晶圆的高度差，具体地，通过传感器固定机构的上下运动速度，以及传感器采集到斜插晶圆的时间差，将二者相乘来计算出斜插晶圆两侧的高度差，而后根据高度差和两个传感器间距再利用三角函数算出斜插角度值为调整角度。斜插晶圆的时间差即为一侧扫描到晶圆到另一侧扫描到晶圆的时间差。从而可以实现晶圆斜插角度的自动计算。可以适用于不同的槽位高度。一般地，机械手臂的旋转机构都是在正中心的位置，取晶圆的时候也是在中间位置抓取，则斜插的晶圆其中心的高度会下降，控制器通过获取传感器固定机构在采集到斜插晶圆的两侧位置，根据两侧位置取中间值，即可以获取到晶圆的中间位置，而后控制器可以驱动机械手臂到该位置，并旋转一个调整角度，即可以抓取。以及为了让机台可以获取到哪些槽位有晶圆，哪些槽位没有晶圆，所述控制器用于根据两个传感器都采集到信号时，输出该槽位具有晶圆的信息。以及可以控制器获取此时传感器固定机构的位置，即晶圆的位置，而后可以控制机械手臂到该位置进行抓取晶圆。所述控制器用于根据两个传感器都没有采集到信号时，输出该槽位没有晶圆的信息。两个传感器可以是相同结构，只能能获取到晶圆情况即可，如所述传感器为摄像头或者测距传感器。如果是摄像头则可以通过图像采集的方式来判断图像特定位置是否有晶圆。如果是测距传感器，如激光或者红外，可以通过测到较短距离判断为有晶圆，测得较长距离判断没有晶圆。需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本专利技术的专利保护范围。因此，基于本专利技术的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本专利技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的
，均包括在本专利技术的专利保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆检测装置，其特征在于：包括控制器、两个传感器和传感器固定机构，两个传感器设置在传感器固定机构上，两个传感器中心所在平面与晶舟槽位平行，两个传感器和传感器固定机构与控制器连接，控制器控制传感器固定机构升降使得两个传感器依次扫描晶舟内部的槽位，两个传感器每次分别扫描同一槽位的两侧，控制器用于在两个传感器采集的信号不一致时输出晶圆斜插信息。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测装置，其特征在于：包括控制器、两个传感器和传感器固定机构，两个传感器设置在传感器固定机构上，两个传感器中心所在平面与晶舟槽位平行，两个传感器和传感器固定机构与控制器连接，控制器控制传感器固定机构升降使得两个传感器依次扫描晶舟内部的槽位，两个传感器每次分别扫描同一槽位的两侧，控制器用于在两个传感器采集的信号不一致时输出晶圆斜插信息。2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测装置，其特征在于：还包括可旋转式的机械手臂，控制器与机械手臂连接，控制器用于在晶圆斜插时，控制机械手臂旋转一...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭文海，钟艾东，甘凯杰，翁佩雪，林锦伟，赵玉会，邓丹丹，林伟铭，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35