探针测试机及其载台制造技术

本实用新型专利技术公开一种探针测试机及其载台。该载台包括顶座，包括朝下的吸附平面；位于所述吸附平面下方的底座，包括向上伸出的抽气管；位于所述吸附平面与底座之间的承载座，包括套装在所述抽气管上且竖直贯穿所述承载座的吸附孔，以及设置在所述吸附平面下方且朝向所述吸附平面的吸附口；用于连通真空源与所述吸附孔的第一通道；以及用于连通所述真空源与所述吸附口的第二通道；其中，所述承载座能沿所述抽气管滑动，所述第一通道长于所述第二通道。采用该载台的探针测试机在测试晶圆过程中真空源出现故障时能避免探针与晶圆互作用而导致的晶圆或探针损坏。

Probe Tester and Its Platform

【技术实现步骤摘要】
探针测试机及其载台
本技术总体来说涉及一种用于测试晶圆的技术，具体而言，涉及一种探针测试机及其载台。
技术介绍
晶圆在被封装成完整芯片前需要进行测试，以筛选出不良的晶圆，从而降低封装成本。探针测试机用于对未封装的晶圆进行电学性能测试。探针测试机包括载台和探针。载台用于承载晶圆。探针是测试机连接晶圆的接口。探针通常设置有多根，多根探针同时与晶圆上的多个焊垫直接接触来引导电信号。探针测试机上的测试仪器通过分析该电信号来获得晶圆的电学性能。晶圆通过真空吸附的方式固定在载台上，下降探针后探针的针尖从晶圆的上方插到晶圆的焊垫上。如果此时抽真空装置异常使得真空吸附解除，晶圆会向上浮动和/或在探针的挤压下向一侧移动，从而导致探针和/或晶圆的损伤。在所述
技术介绍
部分公开的上述信息仅用于加强对本技术的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
在
技术实现思路
部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本
技术实现思路
部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。本技术的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种探针测试机的载台，其包括：顶座，包括朝下的吸附平面；位于所述吸附平面下方的底座，包括向上伸出的抽气管；位于所述吸附平面与底座之间的承载座，包括套装在所述第一抽气管上且竖直贯穿所述承载座的吸附孔，以及设置在所述吸附平面下方且朝向所述吸附平面的吸附口；用于连通真空源与所述吸附孔的第一通道；以及用于连通所述真空源与所述吸附口的第二通道；其中，所述承载座能沿所述抽气管滑动，所述第一通道长于所述第二通道。根据本技术的一个实施例，所述抽气管内设置有节流环。根据本技术的一个实施例，所述第一通道的弯折次数大于所述第二通道的弯折次数。根据本技术的一个实施例，所述顶座包括水平设置且设置有通孔的吸附板，所述吸附平面为所述吸附板的底面；所述承载座还包括与所述吸附板平行且中部与所述通孔对齐的基板；所述吸附口设置有多个，多个所述吸附口均匀地分布在所述基板的边缘。根据本技术的一个实施例，所述承载座还包括从所述基板的中部向上凸出且插入所述通孔的凸台，所述吸附孔从所述基板的底面延伸到所述凸台的顶面；所述吸附口未所述吸附平面时，所述凸台的顶面高于或平齐于所述吸附板的顶面。根据本技术的一个实施例，所述通孔为圆孔，所述凸台为与所述通孔间隙配合的圆台。根据本技术的一个实施例，所述承载座包括多根从所述基板向所述吸附平面伸出的吸附管，所述吸附口为位于所述吸附管顶端的管口。根据本技术的一个实施例，所述载台还包括套装在所述吸附管上的弹簧；所述弹簧在未被压缩时长于吸附管。根据本技术的一个实施例，所述顶座还包括从所述吸附板的边缘向下方伸出的多块侧板，所述底座和所述承载座均容纳于多块所述侧板和所述吸附板围合的盒体内。根据本技术的一个实施例，底座还包括基座，所述抽气管从所述基座的顶部向上延伸。根据本技术的一个实施例，所述基座的底部设置有抽气口，所述基座内还设置有连通所述抽气口与所述抽气管相连的抽气通道；所述基板上还设置有垂直贯穿所述基板的吸气通道；所述载台还包括一端连通于所述吸气通道的第一支管、一端连通于所述抽气口的第二支管以及一端用于连接于所述真空源的主管道，所述主管道的另一端连通于所述第一支管和所述第二支管的另一端；其中，所述第一通道包括依次连通的所述抽气管、所述抽气通道、所述抽气口、所述第二支管、所述主管道的内腔，所述第二通道包括依次连通的所述吸附管、所述吸气通道、所述第一支管、所述主管道的内腔。本技术还提出了一种探针测试机，其包括如上所述的载台。由上述技术方案可知，本技术的探针测试机的载台的优点和积极效果在于：在测试时，如果真空源发生故障，由于第一通道的长度大于第二通道的长度，气压变化从真空源传递到吸附孔的时间比从真空源传递到吸附口的时间会更长，同时第一流动阻力大于第二流动阻力，吸附口处的气压上升速度也会快于吸附孔处的气压上升速度。因此，吸附口会先脱离吸附平面，承载座在重力的作用下下降使得晶圆与探针分离，在探针与晶圆分离后，晶圆才脱离吸附孔的吸附。由于探针先与晶圆分离，晶圆才脱离吸附孔的约束，晶圆在脱离吸附时晶圆与探针之间不相互接触，这样就避免了两者相互作用而导致的晶圆或探针损坏。附图说明通过结合附图考虑以下对本技术的优选实施例的详细说明，本技术的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本技术的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：图1是根据一示例性实施方式示出的一种探针测试机的载台的俯视示意图；图2是根据一示例性实施方式示出的一种处于未吸附晶圆状态下的载台的在A-A面的剖视示意图；图3是根据一示例性实施方式示出的底座的俯视示意图；图4是根据一示例性实施方式示出的承载座的俯视示意图；图5是根据一示例性实施方式示出的一种处于吸附晶圆状态下的载台的在A-A面的剖视示意图。其中，附图标记说明如下：1、载台；11、顶座；111、吸附板；112、侧板；113、吸附平面；114、通孔；12、底座；121、抽气管；122、基座；123、抽气通道；124、抽气口；13、承载座；131、基板；132、凸台；133、吸附孔；134、吸附管；135、吸附口；136、吸气通道；141、主管道；142、第一支管；143、第二支管；15、弹簧；16、第一通道；17、第二通道；18、节流环；2、晶圆；3、真空源；4、探针。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本技术将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。如图1、2所示，图1、2显示了本实施例中的一种探针测试机的载台1。该载台1包括顶座11、底座12、承载座13、主管道141、第一支管142和第二支管143。底座12设置在顶座11的下方，承载座13设置在底座12和顶座11之间。承载座13用于承载并真空吸附晶圆2。承载座13在能在底座12和顶座11之间上下运动，在真空吸附解除之前承载座13能自动下降以避免晶圆2和探针4损坏。顶座11包括吸附板111。吸附板111为平板，优先为方形板。吸附板111水平设置。吸附板111可以是金属板或塑料板。吸附板111的底面为吸附平面113，吸附平面113平整、光滑。吸附板111上设置有垂直贯穿吸附板111的通孔114，该通孔114可以是圆孔。通孔114优选设置在吸附板111的中部。如图3所示，底座12设置在吸附平面113的下方。底座12包括基座122和抽气管121。基座122为圆板形。基座122与吸附板111相互平行。抽气管121为竖直设置的直管。抽气管121从基座122的顶部向上伸出。抽气管121优选设置多根，多根抽气管121均匀地布置在基座122的顶部。基座122的底部设置有抽气口124，基座1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针测试机的载台，其特征在于，包括：顶座，包括朝下的吸附平面；位于所述吸附平面下方的底座，包括向上伸出的抽气管；位于所述吸附平面与底座之间的承载座，包括套装在所述抽气管上且竖直贯穿所述承载座的吸附孔，以及设置在所述吸附平面下方且朝向所述吸附平面的吸附口；用于连通真空源与所述吸附孔的第一通道；以及用于连通所述真空源与所述吸附口的第二通道；其中，所述承载座能沿所述抽气管滑动，所述第一通道长于所述第二通道。

【技术特征摘要】
1.一种探针测试机的载台，其特征在于，包括：顶座，包括朝下的吸附平面；位于所述吸附平面下方的底座，包括向上伸出的抽气管；位于所述吸附平面与底座之间的承载座，包括套装在所述抽气管上且竖直贯穿所述承载座的吸附孔，以及设置在所述吸附平面下方且朝向所述吸附平面的吸附口；用于连通真空源与所述吸附孔的第一通道；以及用于连通所述真空源与所述吸附口的第二通道；其中，所述承载座能沿所述抽气管滑动，所述第一通道长于所述第二通道。2.根据权利要求1所述的载台，其特征在于，所述抽气管内设置有节流环。3.根据权利要求1所述的载台，其特征在于，所述第一通道上的弯折数量多于所述第二通道上的弯折数量。4.根据权利要求1至3中任一项所述的载台，其特征在于，所述顶座包括水平设置且设置有通孔的吸附板，所述吸附平面为所述吸附板的底面；所述承载座还包括与所述吸附板平行且中部与所述通孔对齐的基板；所述吸附口设置有多个，多个所述吸附口均匀地分布在所述基板的边缘。5.根据权利要求4所述的载台，其特征在于，所述承载座还包括从所述基板的中部向上凸出且插入所述通孔的凸台，所述吸附孔从所述基板的底面延伸到所述凸台的顶面；所述吸附口未所述吸附平面时，所述凸台的顶面高于或平齐于所述吸附板的顶面。6.根据权利要求5所述的载台，其特征在于，所述通孔为圆孔，所述凸台为与所述通孔间...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34