具有折叠部分和探针组件的弹簧加载探针制造技术

一种用于与测试设备一起使用的测试探针。所述测试探针包括第一部分、第二部分和第三部分，在所述第一部分与所述第二部分之间以及所述第二部分与所述第三部分之间具有铰链。所述第一部分在第一铰链处折叠在所述第二部分之上，所述第三部分在第二铰链处折叠在所述第二部分之上，其中所述第二部分堆叠在所述第一部分与所述第三部分之间。所述测试探针能够从第一非压缩状态压缩到第二压缩状态。

Spring loaded probe with folding part and probe assembly

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有折叠部分和探针组件的弹簧加载探针优先权申请本申请要求2016年12月16日提交的美国临时申请号62/435,366的优先权。上文所提及申请的全部内容特此以引用的方式并入本文。
弹簧接触组件和可用于测试探针的组件以及相关方法。
技术介绍
集成电路(IC)越来越多地在晶片级进行封装。晶片级芯片尺寸封装(WLCSP)在改进的电气性能、小成品封装尺寸和经济制造方面提供若干优点。为了充分利用经济封装方面，这些装置也在晶片级进行测试。随着WLCSP的尺寸变小，触点之间的间距也在缩减。例如，0.4mm的间距正在变为0.3mm，并且对0.2和更小的需求在增长。传统晶片探针技术可应对更精细的间距，但不适合于晶片级测试(WLT)(最终测试)所需的更高的电气性能。WLT需要高带宽来进行RF装置的全速测试，需要低电感来进行清洁功率输送，并且需要高载流能力来进行一些DC参数测试。
技术实现思路
一种用于与测试设备一起使用的测试探针。所述测试探针包括第一部分、第二部分和第三部分，在所述第一部分与所述第二部分之间以及所述第二部分与所述第三部分之间具有铰链。所述第一部分在第一铰链处折叠在所述第二部分之上，所述第三部分在第二铰链处折叠在所述第二部分之上，其中所述第二部分堆叠在所述第一部分与所述第三部分之间。所述测试探针能够从第一非压缩状态压缩到第二压缩状态。在一个或多个实施方案中，所述第一铰链是第一环圈。在一个或多个实施方案中，所述第二铰链是第二环圈。在一个或多个实施方案中，所述第二环圈朝向所述第一部分弯曲并且提供用于冗余电流流动。在一个或多个实施方案中，所述第一部分、所述第二部分或所述第三部分中的至少一者包括弹簧。在一个或多个实施方案中，所述第一部分包括蛇形扁平压缩弹簧。在一个或多个实施方案中，所述第二部分包括蛇形扁平拉伸弹簧。在一个或多个实施方案中，所述第三部分包括蛇形扁平压缩弹簧。在一个或多个实施方案中，所述第一部分包括蛇形压缩弹簧，所述第二部分包括蛇形拉伸弹簧，并且所述第三部分包括蛇形压缩弹簧。在一个或多个实施方案中，所述第二部分是不变形刚性部分，并且所述第一部分和所述第三部分包括压缩弹簧。在一个或多个实施方案中，所述第二部分包括拉伸弹簧，并且所述第一部分和所述第三部分包括不变形刚性部分。在一个或多个实施方案中，一种测试设备包括：外壳；至少一个测试探针，所述至少一个测试探针从第一端延伸到第二端，并且所述至少一个测试探针设置在所述外壳内。所述测试探针包括第一部分，所述第一部分在第一部分第一端与第一部分第二端之间延伸且在其间具有第一部分中间部分。所述测试探针包括第二部分，所述第二部分在第二部分第一端与第二部分第二端之间延伸且在其间具有第二部分中间部分。所述测试探针还包括第三部分，所述第三部分在第三部分第一端与第三部分第二端之间延伸且在其间具有第三部分中间部分，其中所述第二部分设置在所述第一部分与所述第三部分之间。所述测试探针还包括连接所述第一部分与所述第二部分的第一铰链，以及连接所述第二部分与所述第三部分的第二铰链。所述测试探针的所述第一部分在所述第一铰链处折叠在所述第二部分之上，并且所述第三部分在所述第二铰链处折叠在所述第二部分之上，并且所述测试探针能够从第一非压缩状态压缩到第二压缩状态。在一个或多个实施方案中，所述第一铰链是第一环圈。在一个或多个实施方案中，所述第二铰链是第二环圈。在一个或多个实施方案中，所述第二环圈朝向所述第一部分弯曲并且提供用于冗余电流流动。在一个或多个实施方案中，所述第一部分、所述第二部分或所述第三部分中的至少一者包括弹簧。在一个或多个实施方案中，所述第一部分包括蛇形扁平压缩弹簧。在一个或多个实施方案中，所述第二部分包括蛇形扁平拉伸弹簧。在一个或多个实施方案中，所述第三部分包括蛇形扁平压缩弹簧。在一个或多个实施方案中，所述测试设备包括两个或更多个探针，其中至少两个探针的第一部分第一端彼此偏移。在一个或多个实施方案中，所述外壳是金属管。在一个或多个实施方案中，其中所述外壳是具有封闭端且具有用于第一端和第二端的开口的金属管。在一个或多个实施方案中，所述第三部分包括蛇形扁平压缩弹簧。在一个或多个实施方案中，所述第一部分包括蛇形压缩弹簧，所述第二部分包括蛇形拉伸弹簧，并且所述第三部分包括蛇形压缩弹簧。在一个或多个实施方案中，所述第二部分是不变形刚性部分，并且所述第一部分和所述第三部分包括弹簧。在一个或多个实施方案中，所述第二部分包括弹簧，并且所述第一部分和所述第三部分包括不变形刚性部分。本专利技术的这些和其他实施方案、方面、优点和特征将在以下说明中部分地陈述，并且通过参考本专利技术的以下描述和所提及附图或者通过实践本专利技术，对于本领域技术人员将显而易见。本专利技术的方面、优点和特征通过随附权利要求及其等效物中特别指出的手段、程序和组合来实现或获得。附图说明图1是根据一个或多个实施方案的未组装测试探针的透视图。图2是根据一个或多个实施方案的已组装测试探针的透视图。图3是根据一个或多个实施方案的位于插口孔内的测试探针的俯视图。图4是根据一个或多个实施方案的位于插口孔内的测试探针的透视图。图5是根据一个或多个实施方案的处于未压缩状态的测试探针的透视图。图6是根据一个或多个实施方案的处于压缩状态的测试探针的透视图。图7是根据一个或多个实施方案的测试探针的功能框图，其示出处于未压缩状态和压缩状态的测试探针。图8是根据一个或多个实施方案的位于插口外壳内的测试探针组件的功能框图，所述测试探针组件被示出为处于未压缩状态和压缩状态。图9是根据一个或多个实施方案的测试探针组件的测试构型，其示出以开尔文构型接合BGA装置的探针对。图10是根据一个或多个实施方案的测试探针组件的一部分的测试构型，其示出以开尔文构型接合BGA装置的探针对。图11是根据一个或多个实施方案的处于未压缩位置的测试探针的一部分的侧视图。图12是根据一个或多个实施方案的处于压缩位置的测试探针组件的第一侧视图。图13是根据一个或多个实施方案的测试探针的放大透视图。图14是根据一个或多个实施方案的处于未压缩位置的测试探针组件的侧视图。图15是根据一个或多个实施方案的处于压缩位置的测试探针组件的侧视图。图16是根据一个或多个实施方案的测试探针组件的放大透视图。图17是图16的测试探针组件的放大剖视图。图18是图14的测试探针组件的剖视图。图19是图15的测试探针组件的剖视图。图20是根据一个或多个实施方案的未组装测试探针的侧视图。图21是根据一个或多个实施方案的已组装测试探针的透视图。图22是根据一个或多个实施方案的未组装测试探针的侧视图。图23是根据一个或多个实施方案的已组装测试探针的透视图。图24是根据一个或多个实施方案的位于外壳内的测试探针的侧视图。图25是根据一个或多个实施方案的图24的端视图。图26是根据一个或多个实施方案的测试探针的第一部分的侧视图。图27是根据一个或多个实施方案的测试探针的第三部分的侧视图。图28是根据一个或多个实施方案的测试探针的中间部分的侧视图。具体实施方式以下具体实施方式包括对形成具体实施方式的一部分的附图的参考。附图通过说明示出可实践设备的特定实施方案。足够详细地描述这些实施方案(本文中也称为“示例”或“选项”)，以使本领域技术人员能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于与测试设备一起使用的测试探针，其包括：所述测试探针从第一端延伸到第二端；所述测试探针包括第一部分，所述第一部分在第一部分第一端与第一部分第二端之间延伸且在其间具有第一部分中间部分；所述测试探针包括第二部分，所述第二部分在第二部分第一端与第二部分第二端之间延伸且在其间具有第二部分中间部分；所述测试探针包括第三部分，所述第三部分在第三部分第一端与第三部分第二端之间延伸且在其间具有第三部分中间部分，其中所述第二部分设置在所述第一部分与所述第三部分之间；第一铰链，所述第一铰链将所述第一部分与所述第二部分连接起来；第二铰链，所述第二铰链将所述第二部分与所述第三部分连接起来；所述第一部分在所述第一铰链处折叠在所述第二部分之上；所述第三部分在所述第二铰链处折叠在所述第二部分之上；并且所述测试探针能够从第一非压缩状态压缩到第二压缩状态。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.12.16 US 62/4353661.一种用于与测试设备一起使用的测试探针，其包括：所述测试探针从第一端延伸到第二端；所述测试探针包括第一部分，所述第一部分在第一部分第一端与第一部分第二端之间延伸且在其间具有第一部分中间部分；所述测试探针包括第二部分，所述第二部分在第二部分第一端与第二部分第二端之间延伸且在其间具有第二部分中间部分；所述测试探针包括第三部分，所述第三部分在第三部分第一端与第三部分第二端之间延伸且在其间具有第三部分中间部分，其中所述第二部分设置在所述第一部分与所述第三部分之间；第一铰链，所述第一铰链将所述第一部分与所述第二部分连接起来；第二铰链，所述第二铰链将所述第二部分与所述第三部分连接起来；所述第一部分在所述第一铰链处折叠在所述第二部分之上；所述第三部分在所述第二铰链处折叠在所述第二部分之上；并且所述测试探针能够从第一非压缩状态压缩到第二压缩状态。2.如权利要求1所述的测试探针，其中所述第一铰链是第一环圈。3.如权利要求1-2中任一项所述的测试探针，其中所述第二铰链是第二环圈。4.如权利要求3所述的测试探针，其中所述第二环圈朝向所述第一部分弯曲并且提供用于冗余电流流动。5.如权利要求1-4中任一项所述的测试探针，其中所述第一部分、所述第二部分或所述第三部分中的至少一者包括弹簧。6.如权利要求1-5中任一项所述的测试探针，其中所述第一部分包括蛇形扁平压缩弹簧。7.如权利要求1-6中任一项所述的测试探针，其中所述第二部分包括蛇形扁平拉伸弹簧。8.如权利要求1-7中任一项所述的测试探针，其中所述第三部分包括蛇形扁平压缩弹簧。9.如权利要求1所述的测试探针，其中所述第一部分包括蛇形压缩弹簧，所述第二部分包括蛇形拉伸弹簧，并且所述第三部分包括蛇形压缩弹簧。10.如权利要求1所述的测试探针，其中所述第二部分是不变形刚性部分，并且所述第一部分和所述第三部分包括弹簧。11.如权利要求1所述的测试探针，其中所述第二部分包括弹簧，并且所述第一部分和所述第三部分包括不变形刚性部分。12.一种测试设备，其包括：外壳；至少一个测试探针，所述至少一个测试探针从第一端延伸到第二端，所述至少一个测试探针设置在所述外壳内；所述测试探针包括第一部分，所述第一部分在第一部分第一端与第一部分第二端之间延伸且在其间具有第一部分中间部分；所述测试探针包括第二部分，所述第二部分在第二部分第一端与第二部分第二端之间延伸且在其间具有第二部分中间部分；所述测试探针包括第三部分，所述第三部分在第三部分第一端与第三部分第二端之间延伸且在其间具有第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：V特雷伯格斯，J布兰德斯，T埃文斯，
申请(专利权)人：艾科塞拉公司，
类型：发明
国别省市：美国,US