连续真空镀膜装置及镀膜系统制造方法及图纸

本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种连续真空镀膜装置及镀膜系统，一种连续真空镀膜装置，包括:运送机构、进片室、镀膜室、出片室和传送机构；进片室与所述镀膜室之间设置有第一竖推式插板阀，镀膜室与所述出片室之间设置有第二竖推式插板阀，运送机构至少设置有两个，其中至少一个运送机构用于将待镀件输送至进片室内，其中至少另一个运送机构用于将已镀件由出片室输送到外部；进片室的顶部、镀膜室的顶部与所述出片室的顶部均设置有传送机构。本申请可实现对工件在相邻真空室内的传送，自动化成都高，生产效率高。

Continuous Vacuum Coating Device and Coating System

【技术实现步骤摘要】
连续真空镀膜装置及镀膜系统
本申请涉及真空镀膜
，尤其是涉及一种连续真空镀膜装置及镀膜系统。
技术介绍
目前，现有的真空镀膜工艺均是集中在一个真空室内完成，各步工艺会互相影响，导致镀膜效果差等，且多需人工放置、调整以及从真空室取出工件，生产效率低。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种连续真空镀膜装置及镀膜系统，以解决现有技术中存在的真空镀膜工艺均是集中在一个真空室内完成，各步工艺会互相影响，导致镀膜效果差，且生产效率低的技术问题。本申请提供了一种连续真空镀膜装置，包括:运送机构、进片室、镀膜室、出片室和传送机构；所述进片室与所述镀膜室之间设置有第一竖推式插板阀，所述第一竖推式插板阀用于控制所述进片室与所述镀膜室相连通或者相隔离；所述镀膜室与所述出片室之间设置有第二竖推式插板阀，所述第二竖推式插板阀用于控制所述镀膜室与所述出片室相连通或者相隔离；所述运送机构至少设置有两个，其中至少一个所述运送机构用于将待镀件输送至所述进片室内，其中至少另一个所述运送机构用于将已镀件由所述出片室输送到外部；所述进片室的顶部、所述镀膜室的顶部与所述出片室的顶部均设置有所述传送机构。具体地，所述镀膜室设置为内部中空的腔体，所述镀膜室的腔体内部设置有加热组件、电子枪、自动填料组件和坩埚组件；所述自动填料组件设置在所述镀膜室的侧壁上，且设置在所述坩埚组件的正上方，所述自动填料组件用于将物料添加到所述坩埚组件内部；所述电子枪设置在所述坩埚组件的一侧，所述电子枪用于对所述坩埚组件内部物料蒸发；所述镀膜室的腔体内部设置有所述加热组件，所述加热组件用于加快物料蒸发。具体地，所述自动填料组件包括进料容器、进料开关和驱动组件；所述进料容器包括储料仓、进料管和出料管，所述储料仓和所述进料管相连通；所述进料管和所述出料管之间设置有所述进料开关，所述进料开关用于使所述进料管与所述出料管之间连通或者断开；所述驱动组件用于驱动所述进料开关运动，以使所述进料管与所述出料管之间连通或者断开。具体地，还包括第一抽真空装置，所述第一抽真空装置与所述进片室连通，所述进片室设置为中空结构，所述第一抽真空装置用于对所述进片室抽真空；所述第一抽真空装置包括第一低温泵、第一罗茨泵和第一机械泵；所述第一机械泵至少设置有三个，其中，至少一个所述第一机械泵与所述第一低温泵连通，所述第一低温泵与所述进片室连通，其中，至少两个所述第一机械泵与所述第一罗茨泵连通，所述第一罗茨泵的另一端通过管路分别与所述进片室和第一低温泵连通。具体地，还包括第二抽真空装置，所述第二抽真空装置与所述镀膜室连通，且所述第二抽真空装置用于对所述镀膜室抽真空；所述所述第二抽真空装置包括第二机械泵、第二罗茨泵、第二低温泵；第二低温泵与所述镀膜室相连通，且设置在所述镀膜室的顶部；所述第二低温泵的另一端与所述第二罗茨泵连通，第二罗茨泵的另一端与所述第二机械泵连通。具体地，还包括第三抽真空装置，所述第三抽真空装置与所述出片室连通，所述出片室设置为中空结构，所述第三抽真空装置用于对所述出片室抽真空；所述第三抽真空装置包括第三低温泵、第三罗茨泵和第三机械泵；所述第三机械泵至少设置有三个，所述第三低温泵设置在所述出片室的底壁上，所述第三低温泵至少设置有两组，且每组所述第三低温泵的数量设置为两个，所述第三罗茨泵至少设置有一个；其中，至少两个所述第三机械泵与所述第三罗茨泵相连通，所述第三罗茨泵的另一端通过管路分别与所述第三低温泵和所述出片室底壁相连通，其中，至少一个所述第三机械泵与所述第三低温泵连通设置。具体地，所述传送机构包括：第一电机、第一传递杆、第一同步轮和第一皮带；所述第一电机的输出轴通过第一皮带与所述第一传递杆连接，所述第一传递杆的一侧两端分别设置有多个第一同步轮，同一侧的多个所述第一同步轮沿第一方向间隔排布，所述第一方向垂直于所述第一传递杆的长度方向，每相邻所述第一同步轮之间通过所述第一皮带连接，所述第一传递杆与所述第一同步轮通过第一皮带连接。具体地，所述运送机构包括第二框架以及设置在所述第二框架内的水平运送组件、竖直运送组件、承载组件和第一框架；所述第一框架用于支撑所述承载组件，所述承载组件用于悬挂待镀件，所述竖直运送组件用于将悬挂待镀件的所述承载组件提升至与所述进片室同一高度处位置；所述水平运输组件用于将悬挂待镀件的所述承载组件运输至所述进片室内；所述承载组件包括大齿轮盘、承重板和承载板；所述大齿轮盘的下面设置有所述承重板，所述承重板的下面通过连接件与所述承载板连接；所述水平运送组件包括：第二电机、第二传递杆、第二同步轮、第二皮带；所述第二电机的输出轴通过第二皮带与所述传递杆连接，所述第二传递杆的一侧两端分别设置有多个第二同步轮，同一侧的多个所述第二同步轮沿第一方向间隔排布，所述第一方向垂直于所述第二传递杆的长度方向，每相邻所述第二同步轮之间通过所述第二皮带连接，所述第二传递杆与所述第二同步轮通过皮带连接；所述竖直运送组件包括：第三电机、滚轮组、第一滑轮、第二滑轮、第一吊环和第二吊环；所述第一吊环设置在所述第一框架的上端，所述第二吊环设置在所述第一框架的下端，所述第一滑轮至少设置有四个，其中至少一个所述第一滑轮设置在所述第二框架的顶部边框上，其中至少另一个所述第一滑轮设置在所述第二框架的顶部中间，所述第二滑轮至少设置有四个，其中至少一个所述第二滑轮设置在所述第二框架的底部边框上，其中至少另一个所述其中至少另一个所述设置在所述第二框架的底部中间，所述滚轮组至少设置有两个滚轮，其中至少一个滚轮通过钢丝绳依次穿过第一滑轮和第一吊环；其中至少另一个滚轮通过钢丝绳依次穿过第二滑轮和第二吊环；所述滚轮同轴设置，且轴的一端设置有大齿轮，所述第三电机的输出小齿轮带动大齿轮旋转；所述大齿轮旋转带动所述第一框架沿竖直方向运动。具体地，所述第一竖推式插板阀；所述第一竖向插板阀包括阀体、密封板组件、导向组件和驱动装置；所述密封板组件、所述导向组件均位于所述阀体内；所述阀体的第一方向上的第一侧壁上设有第一通孔，所述阀体的第一方向上的第二侧壁上设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置；所述密封板组件包括支撑板和密封板，所述支撑板用于封堵所述第一通孔，所述密封板用于封堵所述第二通孔，所述支撑板与所述密封板通过伞形连接件相连接；所述导向组件包括沿第二方向设置的导杆和导轮，所述导杆位于所述密封板组件上方，所述密封板组件与所述导轮相连接，所述导轮位于所述导杆上，并能沿着所述导杆的延伸方向滑动；所述第二方向垂直于所述第一方向；所述驱动装置能够驱动所述密封板组件沿所述导杆方向移动。本申请还提供一种镀膜系统，包括上述技术方案中任一项所述的连续真空镀膜装置。与现有技术相比，本申请的有益效果为：本申请提供的连续真空镀膜装置将整个工艺分别为多个步骤，每一步骤在不同的真空室内进行，且相邻的真空室有插板阀机构控制相隔离，进而避免了相互影响，保证镀膜效果，且每个真空室内设置有传送机构，加以插板阀机构可以控制相邻的真空室连通，进而可实现了对工件在相邻真空室内的传送，自动化成都高，生产效率高。本申请提供的镀膜系统，包括上述所述的连续真空镀膜装置，因而，通过真空室内的传送机构实现了工件的自动传送。附图说明为了更清楚地说明本申请具体实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种连续真空镀膜装置，其特征在于，包括:运送机构、进片室、镀膜室、出片室和传送机构；所述进片室与所述镀膜室之间设置有第一竖推式插板阀，所述第一竖推式插板阀用于控制所述进片室与所述镀膜室相连通或者相隔离；所述镀膜室与所述出片室之间设置有第二竖推式插板阀，所述第二竖推式插板阀用于控制所述镀膜室与所述出片室相连通或者相隔离；所述运送机构至少设置有两个，其中至少一个所述运送机构用于将待镀件输送至所述进片室内，其中至少另一个所述运送机构用于将已镀件由所述出片室输送到外部；所述进片室的顶部、所述镀膜室的顶部与所述出片室的顶部均设置有所述传送机构。

【技术特征摘要】
1.一种连续真空镀膜装置，其特征在于，包括:运送机构、进片室、镀膜室、出片室和传送机构；所述进片室与所述镀膜室之间设置有第一竖推式插板阀，所述第一竖推式插板阀用于控制所述进片室与所述镀膜室相连通或者相隔离；所述镀膜室与所述出片室之间设置有第二竖推式插板阀，所述第二竖推式插板阀用于控制所述镀膜室与所述出片室相连通或者相隔离；所述运送机构至少设置有两个，其中至少一个所述运送机构用于将待镀件输送至所述进片室内，其中至少另一个所述运送机构用于将已镀件由所述出片室输送到外部；所述进片室的顶部、所述镀膜室的顶部与所述出片室的顶部均设置有所述传送机构。2.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室设置为内部中空的腔体，所述镀膜室的腔体内部设置有加热组件、电子枪、自动填料组件和坩埚组件；所述自动填料组件设置在所述镀膜室的侧壁上，且设置在所述坩埚组件的正上方，所述自动填料组件用于将物料添加到所述坩埚组件内部；所述电子枪设置在所述坩埚组件的一侧，所述电子枪用于对所述坩埚组件内部物料蒸发；所述镀膜室的腔体内部设置有所述加热组件，所述加热组件用于加快物料蒸发。3.根据权利要求2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述自动填料组件包括进料容器、进料开关和驱动组件；所述进料容器包括储料仓、进料管和出料管，所述储料仓和所述进料管相连通；所述进料管和所述出料管之间设置有所述进料开关，所述进料开关用于使所述进料管与所述出料管之间连通或者断开；所述驱动组件用于驱动所述进料开关运动，以使所述进料管与所述出料管之间连通或者断开。4.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，还包括第一抽真空装置，所述第一抽真空装置与所述进片室连通，所述进片室设置为中空结构，所述第一抽真空装置用于对所述进片室抽真空；所述第一抽真空装置包括第一低温泵、第一罗茨泵和第一机械泵；所述第一机械泵至少设置有三个，其中，至少一个所述第一机械泵与所述第一低温泵连通，所述第一低温泵与所述进片室连通，其中，至少两个所述第一机械泵与所述第一罗茨泵连通，所述第一罗茨泵的另一端通过管路分别与所述进片室和第一低温泵连通。5.根据权利要求2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，还包括第二抽真空装置，所述第二抽真空装置与所述镀膜室连通，且所述第二抽真空装置用于对所述镀膜室抽真空；所述所述第二抽真空装置包括第二机械泵、第二罗茨泵、第二低温泵；第二低温泵与所述镀膜室相连通，且设置在所述镀膜室的顶部；所述第二低温泵的另一端与所述第二罗茨泵连通，第二罗茨泵的另一端与所述第二机械泵连通。6.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，还包括第三抽真空装置，所述第三抽真空装置与所述出片室连通，所述出片室设置为中空结构，所述第三抽真空装置用于对所述出片室抽真空；所述第三抽真空装置包括第三低温泵、第三罗茨泵和第三机械泵；所述第三机械泵至少设置有三个，所述第三低温泵设置在所述出片室的底壁上，所述第三低温泵至少设置有两组，且每组所述第三低温泵的数量设置为两个，所述第三罗茨泵至少设置有一个；其中，至少两个所述第三机械泵与所述第三罗茨泵相连通，所述第三罗茨泵的另一端通过管路分别与所述第三低温泵和所述出片室底壁相连通，其中，至少一个所述第三机械泵与所述第三低温泵连通设...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君，郭爱云，汪友林，
申请(专利权)人：沈阳爱科斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21