下载连续真空镀膜装置及镀膜系统的技术资料

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本申请涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及一种连续真空镀膜装置及镀膜系统,一种连续真空镀膜装置,包括:运送机构、进片室、镀膜室、出片室和传送机构;进片室与所述镀膜室之间设置有第一竖推式插板阀,镀膜室与所述出片室之间设置有第二竖推式插板阀,运送机...
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