用于干法刻蚀的硅片夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于干法刻蚀的硅片夹具，包括底板和压板，所述的底板两侧具有螺杆安装孔，螺杆垂直固定在安装孔内；所述的压板的两侧设置有便于螺杆穿过的通孔，压板在螺杆上相对底板上下移动；所述的底板上设置有两条相互垂直的槽，所述的槽分别设置有挡板；所述的螺杆上分别自上而下设置有上螺栓、弹性伸缩支架以及下螺栓；所述的上螺栓设置于压板的上方，所述的弹性伸缩支架设置于压板的下方，所述的下螺栓设置于底板与压板之间；所述的压板通过弹性伸缩支架的张开或闭合在螺杆上定位或移动。采用本实用新型专利技术可进行均匀的刻蚀，且有效地避免了二次划伤，很好的解决电性能良率低(漏电部分偏大)，大大提高了生产良率。

Silicon wafer fixture for dry etching

【技术实现步骤摘要】
用于干法刻蚀的硅片夹具
本技术涉及太阳能电池
，尤其是一种用于干法刻蚀的硅片夹具。
技术介绍
干法刻蚀也即等离子刻蚀，是前期晶硅电池行业中使用较多的刻蚀方法。其原理为采用CF4和O2作为反应气体，将硅片叠放在一起后，让裸露出来的边缘硅材料和反应气体发生反应，最终起到边缘刻蚀的效果，打断电池正负两级的导通。从刻蚀的方式来看，刻蚀夹具是影响刻蚀效果的重要因素，如果硅片堆放的不是太齐整会导致边缘一边刻多及另一边漏刻的现象，影响发电效率。传统夹具结构较简单，仅有两块金属矩形板，通过两侧的螺杆和螺栓将两块金属板间的硅片加紧。但原有的刻蚀夹具操作复杂且刻蚀不均匀，易造成划伤等，主要存在以下几个劣势：1、硅片堆放时需要人为手动的规整，易造成对硅片表面PN结的损伤及额外的碎片；2、夹具的上金属板经常要拿进拿出，不利于操作工进行操作且容易误伤工人。3、人为手工规整硅片，经常会捋的层次不齐，易造成刻蚀不均匀。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种用于干法刻蚀的硅片夹具，使得硅片堆放的更齐整，有效地避免了硅片摩擦，杜绝了人为手动拿金属板减少了操作时间及误伤员工的可能性。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于干法刻蚀的硅片夹具，包括底板和压板，所述的底板两侧具有螺杆安装孔，螺杆垂直固定在安装孔内；所述的压板的两侧设置有便于螺杆穿过的通孔，压板在螺杆上相对底板上下移动；所述的底板上设置有两条相互垂直的槽，所述的槽分别设置有挡板；所述的螺杆上分别自上而下设置有上螺栓、弹性伸缩支架以及下螺栓；所述的上螺栓设置于压板的上方，所述的弹性伸缩支架设置于压板的下方，所述的下螺栓设置于底板与压板之间；所述的压板通过弹性伸缩支架的张开或闭合在螺杆上定位或移动。进一步的说，本技术所述的弹性伸缩支架具有弹簧以及支撑块，所述的支撑块为4个，呈十字分布在螺杆外圈，所述的弹簧呈十字形设置在螺杆内，弹簧的4个端部分别连接一个支撑块。再进一步的说，本技术所述的弹性伸缩支架打开时，弹性伸缩支架的宽度大于压板上通孔的外径。再进一步的说，本实用新所述的弹性伸缩支架通过下螺栓压紧闭合，闭合时，压板上通孔的内径大于下螺栓的外径。本技术的有益效果是，解决了
技术介绍
中存在的缺陷，采用改造后的刻蚀夹具结构，可进行均匀的刻蚀，且有效地避免了二次划伤，很好的解决电性能良率低(漏电部分偏大)，大大提高了生产良率。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是本技术底板的结构示意图；图3是本技术挡板的结构示意图；图中：1、底板；2、压板；3、螺杆；4、上螺栓；5、下螺栓；6、支撑块；7、槽；8、挡板。具体实施方式现在结合附图和优选实施例对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。如图1所示的一种用于干法刻蚀的硅片夹具，具有底板、压板、螺杆、上螺栓、下螺栓以及弹性伸缩支架，底板、压板为金属板。螺杆固定在底板上，压板通过两侧的通孔套于螺杆上，并在螺杆上相对于底板上下移动。如图2所示，底板边长为190-200mm，厚度为13-16mm，底板上设置有两条相互垂直的槽，槽内放置挡板，槽深为5-8mm；其中挡板如图3所示，长为180-190mm，宽为165-175mm，两面为直角。挡板的安放是为了规整硅片的叠放，可移动式的操作。底板的耳朵的长宽分别控制在40-45mm、30-35mm，安装孔的孔径控制在10-12mm；压板的边长控制在165-175mm，厚度为8-10mm；压板的耳朵的长宽分别控制在55-60mm、30-35mm，通孔的直径控制在15-18mm。螺杆的长度为150-170mm；螺杆外径为10-12mm；下螺栓内径为11-13mm，外经为13-15mm；下螺栓能够控制弹性伸缩支架的打开或闭合；弹性伸缩支架具有弹簧以及支撑块，支撑块为4个，呈十字分布在螺杆外圈，弹簧呈十字形设置在螺杆内，弹簧的4个端部分别连接一个支撑块。支撑块长为5-6mm，宽为3-4mm，垂直高度为15-20mm,下边缘距底板距离为150-160mm；此为仿雨伞的开关设计，需要移动压板时，只需要将下螺栓移动至支撑块处，由于支撑块连接有弹簧，因此下螺栓会压缩支撑块退回螺栓内，并固定在支撑块位置防止支撑块弹出，此时，压板通孔的内径大于下螺栓的外径，因此，压板可以穿过下螺栓进行上下移动；反之，移开下螺栓，支撑块弹出，压板可以定在支撑块上方，这样无需进行手动拆卸上金属板就可以直接堆放硅片，实现一体化的简便操作。上螺栓的内径为10-12mm，外径控制在16-19mm，上螺栓为固定压板与硅片的紧实成度。本设计可将电性能中漏电良率(反向偏置电压设置在14.5V时，值<1.5的比例)从98％提升至100％；整体的工装夹具，避免了人为接触，减少了碎片率，生产良率从99％提升至100％；无需手动拿取金属板的操作，整体工序时间减少了5min，提高了产出率。以上说明书中描述的只是本技术的具体实施方式，各种举例说明不对本技术的实质内容构成限制，所属
的普通技术人员在阅读了说明书后可以对以前所述的具体实施方式做修改或变形，而不背离技术的实质和范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于干法刻蚀的硅片夹具，包括底板和压板，其特征在于：所述的底板两侧具有螺杆安装孔，螺杆垂直固定在安装孔内；所述的压板的两侧设置有便于螺杆穿过的通孔，压板在螺杆上相对底板上下移动；所述的底板上设置有两条相互垂直的槽，所述的槽分别设置有挡板；所述的螺杆上分别自上而下设置有上螺栓、弹性伸缩支架以及下螺栓；所述的上螺栓设置于压板的上方，所述的弹性伸缩支架设置于压板的下方，所述的下螺栓设置于底板与压板之间；所述的压板通过弹性伸缩支架的张开或闭合在螺杆上定位或移动。

【技术特征摘要】
1.一种用于干法刻蚀的硅片夹具，包括底板和压板，其特征在于：所述的底板两侧具有螺杆安装孔，螺杆垂直固定在安装孔内；所述的压板的两侧设置有便于螺杆穿过的通孔，压板在螺杆上相对底板上下移动；所述的底板上设置有两条相互垂直的槽，所述的槽分别设置有挡板；所述的螺杆上分别自上而下设置有上螺栓、弹性伸缩支架以及下螺栓；所述的上螺栓设置于压板的上方，所述的弹性伸缩支架设置于压板的下方，所述的下螺栓设置于底板与压板之间；所述的压板通过弹性伸缩支架的张开或闭合在螺杆上定位或移动。...

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿辉，曹玉甲，王芹芹，
申请(专利权)人：江苏顺风光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32