一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构，包括置于壳体内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，在所述壳体上连接有柔性排屑管，在所述壳体和/或柔性排屑管上设有环形密封槽，在所述密封槽内装有密封圈；所述柔性排屑管与真空抽吸器或吸粉箱连接。本实用新型专利技术通过在壳体上连接一用于抽排所述壳体内粉屑的抽排管，由所述抽排管路的吸力就可将壳体内的粉屑抽排干净，防止粉屑堵塞导轨，从而保证皮带在导轨上顺利运动，进而，有效避免了电机因过载而发生损毁现象。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能硅片光刻机，具体涉及一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构。
技术介绍
现有的光刻机在对太阳能硅片进行光刻时，通过太阳能硅片传送机构来传输太阳能硅片。所述太阳能硅片传送机构包括电机、皮带和导轨。所述皮带在电机带动下在导轨上运动。太阳能硅片则放置在皮带上，跟随皮带运动，以便进行光刻。然而，这种光刻机的太阳能硅片传送机构在使用过程中，经常会出现损坏现象。通过对损坏部件的失效分析发现，一般都是由于电机(马达)损坏引起。而进一步分析发现， 电机是因为过载而烧坏。电机过载的原因经研究发现是由于粉屑阻塞导轨使得皮带运动阻力变大而引起。而这些粉屑是由于皮带在使用过程中磨损而产生的，这些粉屑会堵塞导轨，使得皮带运动受阻，最终使得电机因为过载而烧毁。因此，如何防止粉屑堵塞导轨，从而防止电机因此发生损坏事故，是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构，可以抽排掉导轨上的粉屑，防止粉屑堵塞导轨而引发电机烧毁事故。为实现上述目的，本技术的技术方案是一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构，包括置于壳体内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，其特征在于，在所述壳体上连接有柔性排屑管，在所述壳体和/或柔性排屑管上设有环形密封槽，在所述密封槽内装有密封圈。作为优选的技术方案，所述柔性排屑管与真空抽吸器连接。作为优选的技术方案，所述柔性排屑管与处于负压状态的光刻机机台的风管管路连接。作为优选的技术方案，所述柔性排屑管经一吸粉箱与所述壳体密封连接。进一步优选的技术方案，所述吸粉箱设置在壳体的下方。进一步优选的技术方案，所述吸粉箱设置在壳体的上方。进一步优选的技术方案，所述吸粉箱设置在壳体的侧方。本技术的优点和有益效果在于通过在壳体上连接一用于抽排所述壳体内粉屑的抽排管，由所述抽排管路的吸力就可将壳体内的粉屑抽排干净，防止粉屑堵塞导轨，从而保证皮带在导轨上顺利运动，进而，有效避免了电机因过载而发生损毁现象。附图说明3图1是本技术太阳能硅片光刻机中的排屑机构的结构示意图；图2是图1中A部局部放大剖视图。图中1、壳体；2、柔性排屑管；3、环形密封槽；4、密封圈；5、吸粉箱；6、三通阀。具体实施方式以下结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。本技术的核心思想是，通过在壳体上连接一用于抽排所述壳体内粉屑的柔性排屑管，由所述柔性排屑管的吸力将壳体内的粉屑抽排干净，防止粉屑堵塞导轨，从而保证皮带在导轨上顺利运动，进而，有效避免了电机因过载而发生损毁现象。如图1所示为，本技术一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构，包括置于壳体1 内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，在所述壳体1上连接有柔性排屑管2， 在所述壳体1和/或柔性排屑管2上设有环形密封槽3，在所述密封槽内装有密封圈4。所述柔性排屑管2可以与真空抽吸器连接。当然，所述柔性排屑管2也可以与处于负压状态的光刻机机台的风管管路(图中为示出)连接。本实施例中，由于光刻机机台原本设有具有负压状态的风管管路，所以，所述柔性排屑管2可以通过一个三通阀6接入该光刻机机台本身具有的处于负压状态的风管管路中。本实施例中，所述柔性排屑管2和壳体1之间增设一吸粉箱5，三者之间密闭连通。 即所述柔性排屑管2通过该吸粉箱5所述壳体1密封连接。具体结构如下所述吸粉箱5 设有吸入口和排出口，所述壳体1的接口与所述吸粉箱5的吸入口密封固定连接，所述吸粉箱5的排出口与所述柔性排屑管2的吸入口密封固定连接。通过增设吸粉箱5，可以在保证一定抽吸面积(抽吸面积与壳体1上的接口面积相等)的前提下，缩小柔性排屑管2的截面积，从而节约管材，并减少整个机构的体积。本实施例中，所述吸粉箱5设置在壳体1的侧方。当然，所述吸粉箱5也可以设置在壳体1的上方或下方。当吸粉箱5设置在壳体1的下方时，由于可以利用粉屑的重力，因此，抽排粉屑的效率最高。经过反复实验可知，当所述柔性排屑管2的吸力大于等于0. OOlkg/cm2，可以取得比较好的粉屑抽排效果。本技术通过在壳体1上连接一用于抽排所述壳体1内粉屑的柔性排屑管2，由所述柔性排屑管2的吸力将壳体内的粉屑抽排干净，防止粉屑堵塞导轨，从而保证皮带在导轨上顺利运动，进而，有效避免了电机因过载而发生损毁现象。本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。权利要求1.一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构，包括置于壳体内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，其特征在于，在所述壳体上连接有柔性排屑管，在所述壳体和/或柔性排屑管上设有环形密封槽，在所述密封槽内装有密封圈。2.如权利要求1所述的太阳能硅片光刻机中的排屑机构，其特征在于，所述柔性排屑管与真空抽吸器连接。3.如权利要求1所述的太阳能硅片光刻机中的排屑机构，其特征在于，所述柔性排屑管与处于负压状态的光刻机机台的风管管路连接。4.如权利要求1所述的太阳能硅片光刻机中的排屑机构，其特征在于，所述柔性排屑管经一吸粉箱与所述壳体密封连接。5.如权利要求4所述的太阳能硅片光刻机中的排屑机构，其特征在于，所述吸粉箱设置在壳体的下方。6.如权利要求4所述的太阳能硅片光刻机中的排屑机构，其特征在于，所述吸粉箱设置在壳体的上方。7.如权利要求4所述的太阳能硅片光刻机中的排屑机构，其特征在于，所述吸粉箱设置在壳体的侧方。专利摘要本技术公开了一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构，包括置于壳体内的电机、皮带和导轨，电机带动皮带在导轨上运行，在所述壳体上连接有柔性排屑管，在所述壳体和/或柔性排屑管上设有环形密封槽，在所述密封槽内装有密封圈；所述柔性排屑管与真空抽吸器或吸粉箱连接。本技术通过在壳体上连接一用于抽排所述壳体内粉屑的抽排管，由所述抽排管路的吸力就可将壳体内的粉屑抽排干净，防止粉屑堵塞导轨，从而保证皮带在导轨上顺利运动，进而，有效避免了电机因过载而发生损毁现象。文档编号H01L31/18GK202189226SQ20112026134公开日2012年4月11日 申请日期2011年7月22日 优先权日2011年7月22日专利技术者李向清, 沈彪, 胡德良 申请人:江阴市爱多光伏科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沈彪，李向清，胡德良，
申请(专利权)人：江阴市爱多光伏科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：