一种平面靶材的绑定装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种平面靶材的绑定装置和方法，该装置包括带滑轨的机架、热台、密封滑盖、气动升降滑块、辅助板、用于控制热台温度的温度控制箱和多个可通过可拆卸方式安装在背板上的限位块。本发明专利技术绑定方法是在常温下将背板、铟板和靶材初步定位在辅助板上，然后放置到热台上加热绑定。当温度升高后，在高温状态时，操作人员只需要打开密封滑盖，检查靶材绑定位置是否符合要求，如有不符合的地方，进行调整。与现有在高温下需要搬运靶材与金属背板贴合的绑定方式相比，本发明专利技术的操作人员只需在高温下进行位置精度检查和微调，可避免操作人员长时间高温作业，从而降低了工人操作强度，改善了工作环境，提高了绑定质量稳定性。

A Binding Device and Method for Planar Targets

【技术实现步骤摘要】
一种平面靶材的绑定装置和方法
本专利技术涉及一种平面靶材的绑定装置和方法。
技术介绍
磁控溅射镀膜靶材在使用时，需要将靶材与背板焊接在一起。通常采用铟为焊料进行钎焊。常规操作是在热台上将铟加热到160℃以上进行熔化，靶材也加热到相近温度，然后由操作人员戴耐热手套，在160℃以上的高温下，将重达几公斤至十几公斤的靶材贴合在金属背板上，并进行反复调整位置和靶材之间的间距，精度要求在0.2mm左右，工作人员需长时间在靠近高温热台的情况下精细操作，工作环境恶劣，劳动强度高，且容易出现贴合位置不准确的问题导致返工。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：提供一种平面靶材的绑定装置和方法，结构简单，可在常温下对靶材进行初步定位，操作人员只需在高温下进行位置精度检查和微调，极大的降低了劳动强度并改善了工作环境。解决上述技术问题的技术方案是：一种平面靶材的绑定装置，包括带滑轨的机架、热台、密封滑盖、气动升降滑块、辅助板、用于控制热台温度的温度控制箱和多个可通过可拆卸方式安装在背板上的限位块，所述热台和温度控制箱固定在机架上，机架两侧边分别设置两条滑轨，热台位于两条滑轨之间，所述密封滑盖是下端面和一侧面具有开口的长方体结构，密封滑盖上设置有抽排气口，密封滑盖设置有两个，两个密封滑盖对称放置在机架的两端，所述气动升降滑块包括滑块、安装在滑块上的气缸和与气缸活塞杆连接的连接板，一个密封滑盖的两侧与多个气动升降滑块连接，即气动升降滑块的滑块安装在机架的滑轨上，连接板与密封滑盖上端面连接，所述辅助板上安装有多个用于夹紧背板的固定夹。所述密封滑盖边缘设置有凸缘，密封滑盖上还设置有滑动手柄。所述固定夹是由支撑架、螺杆和连接在螺杆底端的压块构成，所述支撑架是由一体连接的横向杆和纵向杆构成，横向杆上开有螺孔，螺杆安装在螺孔内。本专利技术的另一技术方案是：一种平面靶材的绑定方法，采用的装置是上述平面靶材的绑定装置，包括以下步骤：⑴首先，将背板用固定夹固定在辅助板的中间位置，使背板保持平整；⑵在背板之上，预计贴合靶材的区域，铺上厚度0.5-2毫米厚的铟板，其间放置直径0.3-1毫米的铜丝若干；⑶将靶材按要求位置摆放在背板上，靶材与靶材之间放一定厚度的间隔片控制间距，靶材外周通过高温双面胶将多个限位块固定在背板上定位，以控制靶材与背板周边的距离；⑷然后将辅助板及固定在其上的待绑定靶材转移至热台上；移动密封滑盖将待绑定靶材密封，移动密封滑盖前，先通过气动升降滑块将密封滑盖升起，通过气动升降滑块的滑块在滑轨上滑动，从而带动密封滑盖移动，移动完成后，通过气动升降滑块使密封滑盖下降盖紧；⑸将热台升温至130-150℃；用真空泵通过抽排气口进行抽气，使密封滑盖内部达到一定的真空，使靶材与背板间的空气排出，减少后期焊接气孔的出现；继续升温至170-200℃后，再通过抽排气口破除真空；⑹然后打开密封滑盖，检查靶材绑定位置是否符合要求，如有不符合的地方，进行调整；确定好靶材位置后，重新盖上密封滑盖，开始降温，等温度降至室温后，对靶材周边多余的焊料进行清理即绑定完成。由于采用上述技术方案，本专利技术具有以下有益效果：1、本专利技术在常温下将背板、铟板和靶材初步定位在辅助板上，然后放置到热台上加热绑定。当温度升高后，在高温状态时，操作人员只需要打开密封滑盖，检查靶材绑定位置是否符合要求，如有不符合的地方，进行调整。与现有在高温下需要搬运靶材与金属背板贴合的绑定方式相比，本专利技术的操作人员只需在高温下进行位置精度检查和微调，可避免操作人员长时间高温作业，从而降低了工人操作强度，改善了工作环境，提高了绑定质量稳定性。2、本专利技术结构简单，操作容易。下面结合附图和实施例对本专利技术之一种平面靶材的绑定装置和方法的技术特征作进一步的说明。附图说明图1：本专利技术之平面靶材的绑定装置结构示意图（放置有待绑定靶材）。图2：本专利技术之机架、热台和温度控制器结构示意图。图3：本专利技术之密封滑盖结构示意图。图4：本专利技术之气动升降滑块结构示意图。图5：本专利技术之辅助板及固定在其上的待绑定靶材结构示意图。图6：图5的B部放大图。图中：1-热台，2-温度控制箱，3-带滑轨机架，3-1-滑轨，4-密封滑盖，4-1-抽排气口，4-2-滑动手柄，4-3-凸缘，5-气动升降滑块，5-1-滑块，5-2-气缸，5-3-连接板，5-4-气口Ⅰ，5-5-气口Ⅱ，6-辅助板，7-固定夹，7-1-支撑架，7-2-螺杆，7-3-压块，8-限位块。A1-靶材，A2-背板。具体实施方式实施例1：一种平面靶材的绑定装置，如图1-图6所示，包括带滑轨的机架3、可程序控温的热台1、密封滑盖4、气动升降滑块5、辅助板6、用于控制热台温度的温度控制箱2和多个可通过可拆卸方式安装在背板上的限位块8，所述热台1和温度控制箱2固定在机架3上，机架两侧边分别设置两条滑轨3-1，热台1位于两条滑轨之间，所述密封滑盖4是下端面和一侧面具有开口的长方体结构，密封滑盖上设置有抽排气口4-1，密封滑盖设置有两个，两个密封滑盖对称放置在机架的两端，所述气动升降滑块5包括滑块5-1、安装在滑块上的气缸5-2和与气缸活塞杆连接的连接板5-3，一个密封滑盖4的两侧与多个气动升降滑块5连接，即气动升降滑块的滑块安装在机架3的滑轨3-1上，连接板5-3与密封滑盖4上端面连接，所述辅助板上安装有多个用于夹紧背板的固定夹7。本实施例中，所述密封滑盖边缘设置有凸缘4-3，便于滑动和密封。密封滑盖上还设置有滑动手柄4-2。本实施例中，所述固定夹7是由支撑架7-1、螺杆7-2和连接在螺杆底端的压块7-3构成，所述支撑架是由一体连接的横向杆和纵向杆构成，横向杆上开有螺孔，螺杆安装在螺孔内。作为一种变换，还可以采用其他结构的固定夹，只要能够满足使用要求即可。实施例2：一种平面靶材的绑定方法，采用的装置是如实施例1所述的平面靶材的绑定装置，包括以下步骤：⑴首先，将背板A2用固定夹7固定在辅助板6的中间位置，使背板保持平整；⑵在背板之上，预计贴合靶材的区域，铺上厚度0.5-2毫米厚的铟板，其间放置直径0.3-1毫米的铜丝若干（调整铜丝直径可以控制绑定后铟焊料的厚度）；⑶将8片靶材A1按要求位置摆放在背板上，靶材与靶材之间放一定厚度的间隔片控制间距，靶材外周通过高温双面胶将多个限位块8固定在背板上定位，以控制靶材与背板周边的距离；⑷然后将辅助板6及固定在其上的待绑定靶材转移至热台1上；移动密封滑盖4将待绑定靶材密封，移动密封滑盖前，先通过气动升降滑块5将密封滑盖升起，通过气动升降滑块的滑块5-1在滑轨3-1上滑动，从而带动密封滑盖移动，移动完成后，通过气动升降滑块使密封滑盖下降盖紧；⑸将热台1升温至130-150℃；用真空泵通过抽排气口4-1进行抽气，使密封滑盖4内部达到一定的真空，使靶材与背板间的空气排出，减少后期焊接气孔的出现；继续升温至170-200℃后，再通过抽排气口破除真空；⑹然后打开密封滑盖，检查靶材绑定位置是否符合要求，如有不符合的地方，进行调整；确定好靶材位置后，重新盖上密封滑盖，开始降温，等温度降至室温后，对靶材周边多余的焊料进行清理即绑定完成。绑定时，为避免铟熔化后流出背板，可以在靶材四周用硅胶密封条围堵。实施例2中，绑定结束后，需要拆下限位块和间隔片。限位块再次使用时本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平面靶材的绑定装置，其特征在于：包括带滑轨的机架（3）、热台（1）、密封滑盖（4）、气动升降滑块（5）、辅助板（6）、用于控制热台温度的温度控制箱（2）和多个可通过可拆卸方式安装在背板上的限位块（8），所述热台和温度控制箱固定在机架上，机架两侧边分别设置两条滑轨（3‑1），热台位于两条滑轨之间，所述密封滑盖是下端面和一侧面具有开口的长方体结构，密封滑盖上设置有抽排气口（4‑1），密封滑盖设置有两个，两个密封滑盖对称放置在机架的两端，所述气动升降滑块包括滑块（5‑1）、安装在滑块上的气缸（5‑2）和与气缸活塞杆连接的连接板（5‑3），一个密封滑盖的两侧与多个气动升降滑块连接，即气动升降滑块的滑块安装在机架的滑轨上，连接板与密封滑盖上端面连接，所述辅助板上安装有多个用于夹紧背板的固定夹（7）。

【技术特征摘要】
1.一种平面靶材的绑定装置，其特征在于：包括带滑轨的机架（3）、热台（1）、密封滑盖（4）、气动升降滑块（5）、辅助板（6）、用于控制热台温度的温度控制箱（2）和多个可通过可拆卸方式安装在背板上的限位块（8），所述热台和温度控制箱固定在机架上，机架两侧边分别设置两条滑轨（3-1），热台位于两条滑轨之间，所述密封滑盖是下端面和一侧面具有开口的长方体结构，密封滑盖上设置有抽排气口（4-1），密封滑盖设置有两个，两个密封滑盖对称放置在机架的两端，所述气动升降滑块包括滑块（5-1）、安装在滑块上的气缸（5-2）和与气缸活塞杆连接的连接板（5-3），一个密封滑盖的两侧与多个气动升降滑块连接，即气动升降滑块的滑块安装在机架的滑轨上，连接板与密封滑盖上端面连接，所述辅助板上安装有多个用于夹紧背板的固定夹（7）。2.根据权利要求1所述一种平面靶材的绑定装置，其特征在于：所述密封滑盖边缘设置有凸缘（4-3），密封滑盖上还设置有滑动手柄（4-2）。3.根据权利要求1或2所述一种平面靶材的绑定装置，其特征在于：所述固定夹是由支撑架（7-1）、螺杆（7-2）和连接在螺杆底端的压块（7-3）构成，所述支撑架是由一体连接的横向杆和纵向杆构成，横向杆上开有螺孔，螺杆安装在螺孔内。4.一种平面靶...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆映东，廖政堂，郑飞雄，黄作，张倍维，
申请(专利权)人：广西晶联光电材料有限责任公司，
类型：发明
国别省市：广西,45