提高脉冲功能的高频功率发生装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及提高脉冲功能的高频功率发生装置，用于向等离子体负载供给高频功率，包括：整流器；直流‑直流变换器；射频功率放大器；射频功率控制器；以及直流‑直流变换器控制器；上述直流‑直流变换器控制器包括：第一减法器；第一比例积分控制器；第二减法器；第二比例积分控制器；比较器，通过比较上述第二比例积分控制器的输出和载流子频率，来生成脉冲宽度调制信号，并向构成上述直流‑直流变换器的开关元件提供所生成的脉冲宽度调制信号；以及适应型控制器，从上述射频功率控制器接收与上述射频功率放大器的输出相对应的脉冲信号，来调整上述第一比例积分控制器及上述第二比例积分控制器的增益。

High Frequency Power Generator for Improving Pulse Function

【技术实现步骤摘要】
提高脉冲功能的高频功率发生装置
本专利技术涉及向等离子体负载供给高频功率的高频功率发生装置，更详细地涉及提高脉冲功能的高频功率发生装置，对于射频(RF)功率放大器的脉冲输出，调节适应性地对直流-直流(DC-DC)变换器的开关元件施加的脉冲宽度调制(PWM)波形，从而稳定输出，并且在脉冲区间中可防止防止过冲或下冲。
技术介绍
通常，等离子放电使用于产生包含离子，自由基，原子及分子的活性气体的气体激发。在多种领域中广泛使用活性气体，典型地，在半导体制造工序，例如在蚀刻、蒸镀、清洗等领域中使用。等离子处理装置包括：高频功率发生装置，发生高频功率；阻抗匹配箱，用于供给最大功率；以及等离子体负载。高频功率发生装置发生高频率的射频电源，阻抗匹配箱通过使高频功率发生装置的输出端阻抗和等离子体负载的阻抗匹配，来向工艺处理室内施加所需的高频电源。高频功率发生器具有将商用电源转换为直流电源的整流器，通过切换整流器输出产生电压控制输出的直流-直流转换器，以及射频功率放大器，通过放大直流-直流变换器的输出，来以高频功率输出。最近，为了半导体的微细工序，需要高频功率发生装置的高速脉冲输出。在韩国授权专利第10本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提高脉冲功能的高频功率发生装置，用于向等离子体负载提供高频功率，包括：整流器，用于接收交流电源并进行整流；直流‑直流变换器，通过切换上述整流器的输出，来调节输出电压；射频功率放大器，对上述直流‑直流变换器的输出进行放大，来向上述等离子体负载传递脉冲波形的高频功率；射频功率控制器，用于控制上述射频功率放大器的输出及脉冲波形；以及直流‑直流变换器控制器，用于从上述射频功率控制器接收脉冲信号，来控制构成上述直流‑直流变换器的开关元件的占空比；上述直流‑直流变换器控制器包括：第一减法器，通过对从上述射频功率控制器接收的电压指令和上述直流‑直流变换器的输出电压进行比较来运算差异；第一比例积分控制...

【技术特征摘要】
2018.02.28 KR 10-2018-00246861.一种提高脉冲功能的高频功率发生装置，用于向等离子体负载提供高频功率，包括：整流器，用于接收交流电源并进行整流；直流-直流变换器，通过切换上述整流器的输出，来调节输出电压；射频功率放大器，对上述直流-直流变换器的输出进行放大，来向上述等离子体负载传递脉冲波形的高频功率；射频功率控制器，用于控制上述射频功率放大器的输出及脉冲波形；以及直流-直流变换器控制器，用于从上述射频功率控制器接收脉冲信号，来控制构成上述直流-直流变换器的开关元件的占空比；上述直流-直流变换器控制器包括：第一减法器，通过对从上述射频功率控制器接收的电压指令和上述直流-直流变换器的输出电压进行比较来运算差异；第一比例积分控制器，用于对上述第一减法器的输出进行比例积分；第二减法器，通过对在上述第一比例积分控制器的输出和上述直流-直流变换器的电感器中流通的电感器电流进行比较来运算差异；第二比例积分控制器，用于对上述第二减法器的输出进行比例积分；比较器，通过比较上述第二比例积分控制器的输出和载流子频率，来生成脉冲宽度调制信号，并向构成上述直流-直流变换器的开关元件提供所生成的脉冲宽度调制信号；以及适应型控制器，从上述射频功率控制器接收与上述射频功率放大器的输出相对应的脉冲信号，来调整上述第一比例积分控制器及上述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金钟云，全恩民，金英哲，金民材，
申请(专利权)人：新动力等离子体株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR