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本发明涉及提高脉冲功能的高频功率发生装置，用于向等离子体负载供给高频功率，包括：整流器；直流‑直流变换器；射频功率放大器；射频功率控制器；以及直流‑直流变换器控制器；上述直流‑直流变换器控制器包括：第一减法器；第一比例积分控制器；第二减法器...
该专利属于新动力等离子体株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过新动力等离子体株式会社授权不得商用。

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