一种方形件的夹持装置及搬运系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种方形件的夹持装置及搬运系统，用于在晶圆清洗生产线中夹持竖直状态的方形件，所述夹持装置包括：框架，所述框架中固定设置有水平状态的第一滑轨、第二滑轨；第一气缸，所述第一气缸的主体滑动设置在所述第一滑轨上，所述第一气缸的活塞固定连接在所述框架上，所述第一气缸的活塞位于所述第一气缸的主体的左侧；第二气缸，所述第二气缸的主体滑动设置在所述第二滑轨上，所述第二气缸的活塞固定连接在所述框架上，所述第二气缸的活塞位于所述第二气缸的主体的右侧；左臂；以及右臂。本发明专利技术的利用两反向动力产生第一水平臂和第二水平臂的平行反向运动，再带动竖直夹具精密稳固夹持方形件。

A clamping device and handling system for square parts

【技术实现步骤摘要】
一种方形件的夹持装置及搬运系统
本专利技术属于晶圆制造领域，具体涉及一种方形件的夹持装置及搬运系统。
技术介绍
具有微结构的半导体组件的制造需要高精密的技术。在制程中，存在于半导体组件的电路上的些微的微粒子会降低半导体组件成品的可靠度。即使制造过程中的微粒污染不会影响半导体组件电路的功能，其仍然会导致在制造上遇到困难。因此，半导体组件需要在无尘的环境中制造，且半导体组件的表面需要进行清洗，以移除制造过程中所产生的微细颗粒。晶圆清洗通常需要喷淋、超声、化学液、干燥等多个清洗工序，每个清洗工序在不同的清洗工位进行。晶圆在各个工位之间的搬运需要借助晶圆搬运装置自动完成，考虑到工作效率及避免各清洗流程间交叉污染等问题，一般采用多个机械手来完成晶圆搬运。在进行工艺的过程中，一般采用卡盘来支撑和固定晶圆等被加工工件，部分晶圆厚度减薄至0.15mm以下，相当于普通A4纸的厚度，对于大尺寸晶圆如8英寸、12英寸，如此纤薄而大面积的裸硅片在封装中极易碎裂，通过卡盘暂存晶圆从而进行各工序之间的运送。对于方形卡盘，需要对其实现平稳牢靠地搬运、翻转以及夹持。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本专利技术提本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种方形件的夹持装置，其特征在于，用于在晶圆清洗生产线中夹持竖直状态的方形件(5)，所述夹持装置包括：框架(6)，所述框架(6)中固定设置有水平状态的第一滑轨(611)、第二滑轨；第一气缸(612)，所述第一气缸(612)的主体滑动设置在所述第一滑轨(611)上，所述第一气缸(612)的活塞固定连接在所述框架(6)上，所述第一气缸(612)的活塞位于所述第一气缸(612)的主体的左侧；第二气缸(621)，所述第二气缸(621)的主体滑动设置在所述第二滑轨上，所述第二气缸(621)的活塞固定连接在所述框架(6)上，所述第二气缸(621)的活塞位于所述第二气缸(621)的主体的右侧；左臂(7)...

【技术特征摘要】
1.一种方形件的夹持装置，其特征在于，用于在晶圆清洗生产线中夹持竖直状态的方形件(5)，所述夹持装置包括：框架(6)，所述框架(6)中固定设置有水平状态的第一滑轨(611)、第二滑轨；第一气缸(612)，所述第一气缸(612)的主体滑动设置在所述第一滑轨(611)上，所述第一气缸(612)的活塞固定连接在所述框架(6)上，所述第一气缸(612)的活塞位于所述第一气缸(612)的主体的左侧；第二气缸(621)，所述第二气缸(621)的主体滑动设置在所述第二滑轨上，所述第二气缸(621)的活塞固定连接在所述框架(6)上，所述第二气缸(621)的活塞位于所述第二气缸(621)的主体的右侧；左臂(7)，所述左臂(7)与所述第一气缸(612)的主体固定连接，所述左臂(7)上设置有与所述方形件(5)轮廓相配合的左侧凹槽部件(73)；以及右臂(8)，所述右臂(8)与所述第二气缸(621)的主体固定连接，所述右臂(8)上设置有与所述方形件(5)轮廓相配合的右侧凹槽部件(83)；其中，所述左臂(7)、右臂(8)设置在所述框架(6)的同一侧，所述左侧凹槽部件(73)、右侧凹槽部件(83)高度相等，用来自左右两侧夹持所述方形件(5)。2.根据权利要求1所述的方形件的夹持装置，其特征在于，所述左臂(7)包括第一水平臂(71)和第一竖直臂(72)，所述第一水平臂(71)的一端固定连接于所述第一气缸(612)的主体，所述第一水平臂(71)的另一端与所述第一竖直臂(72)固定连接，所述第一竖直臂(72)上靠近所述第一气缸(612)的一侧固定连接有所述左侧凹槽部件(73)。3.根据权利要求2所述的方形件的夹持装置，其特征在于，所述右臂(8)包括第二水平臂(81)和第二竖直臂(82)，所述第二水平臂(81)的一端固定连接于所述第二气缸(621)的主体，所述第二水平臂(81)的另一端与所述第二竖直臂(82)固定连接，所述第二竖直臂(82)上靠近所述第二气缸(621)的一侧固定连接有所述右侧凹槽部件(83)。4.根据权利要求3所述的方形件的夹持装置，其特征在于，所述框架(6)通过隔板分为上隔区(61)与下隔区(62)，所述上隔区(61)容置所述第一滑轨(611)、第一气缸(612)，所述下隔区(62)容置所述第二滑轨、第二气缸(621)。5.根据权利要求4所述的方形件的夹持装置，其特征在于，所述框架(6)上设置有供所述第一水平臂(71)、第二水平臂(81)穿过的通孔。6.一种方形件的搬运系统，其特征在于，所述搬运系统包括如权利要求1-5中任一所述的夹持装置，所述搬运系统还包括用于在晶圆清洗生产线中将晶圆自水平状态调整为竖直状态的搬运翻转装置，所述搬运...

【专利技术属性】
技术研发人员：李杰，葛林海，丁高生，陈景韶，葛林新，
申请(专利权)人：上海提牛机电设备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31