一种气密性检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种气密性检测装置，包括工作台、气源、电压传感器和用于固定芯片的夹具，气源和电压传感器设置在工作台上，电压传感器上设置有用于连接芯片的接头，夹具包括底座、夹臂和用于驱动夹臂的夹持气缸，底座设置在工作台上，底座上开设有气体通道，气体通道的一端与气源连接，另一端设置有与芯片连接的连接口，夹持气缸固定在底座上，夹臂滑移安装在底座上，并与夹持气缸的输出端连接，从而随夹持气缸的动作，夹住或放开芯片。通过上述设置，操作人员只需将芯片与接头连接，然后再将芯片放入夹臂以及从夹臂内取出即可，无需插接另外两个接口，简化操作步骤。

A Gastightness Detection Device

【技术实现步骤摘要】
一种气密性检测装置
本专利技术涉及一种检验设备，更具体的说是涉及一种气密性检测装置。
技术介绍
现有一芯片，具有一个外壳，外壳上有一个线路接口和另外两个连接气压源的连接口。该外壳在芯片工作时，内部气压会影响芯片的输出信号，因此需要一定的气密性(即：在规定的时间内，控制气压的下降值)。在生产这一芯片时，就需要对其进行气密性检测，从而确保芯片合格。现在检测气密性时，需要人工插拔三个连接口，操作麻烦。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种气密性检测装置，辅助实现接口的插拔，方便检测操作。为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案：一种气密性检测装置，包括工作台、气源、电压传感器和用于固定芯片的夹具，气源和电压传感器设置在工作台上，电压传感器上设置有用于连接芯片的接头，夹具包括底座、夹臂和用于驱动夹臂的夹持气缸，底座设置在工作台上，底座上开设有气体通道，气体通道的一端与气源连接，另一端设置有与芯片连接的连接口，夹持气缸固定在底座上，夹臂滑移安装在底座上，并与夹持气缸的输出端连接，从而随夹持气缸的动作，夹住或放开芯片。作为本专利技术的进一步改进，底座包括底板、夹板和安装板，夹板和安装板固定在底板上并间隔设置，夹板上开设有夹孔，夹臂有两根，且均呈L型，两根夹臂的一端穿过夹孔与夹持气缸连接，另一端相向设置，在夹持气缸运行时，将芯片夹持在夹臂与夹板之间或放开芯片。作为本专利技术的进一步改进，夹臂朝向夹板的一面上固定有缓冲板。作为本专利技术的进一步改进，还包括用于放置芯片的架子和用于抓取芯片的机械手，架子包括支架、用于放置芯片的置物盘和用于移动置物盘的横向移动机构，支架设置在工作台的一侧，置物盘滑移设置在支架的顶部，横向移动机构包括横向电机、横向丝杆和横向导柱，横向电机固定在支架上，横向丝杆转动安装在支架上，横向导柱固定在支架上，置物盘的两个侧边上分别固定有一个连接块，一个连接块上开设有横向螺纹孔，横向螺纹孔与横向丝杆啮合，另一个连接块上开设有横向导孔，横向导柱穿设在横向导孔内，机械手包括行架、气爪、升降气缸、和用于移动气爪与升降气缸的纵向移动机构，行架架设在工作台和支架上，纵向移动机构包括纵向电机和纵向丝杆，纵向电机固定在行架上，纵向丝杆转动设置在行架上，并与纵向电机连接，行架上设置有纵向导轨，升降气缸可滑移的设置在纵向导轨上，升降气缸上连接有纵向螺套，纵向螺套与纵向丝杆啮合，气爪固定在升降气缸的输出端上。作为本专利技术的进一步改进，支架上设置有用于检测置物盘位置的检测装置，检测装置包括本体、探针和复位弹簧，本体上设置有延时装置和启闭按钮，探针铰接在本体上，置物盘的边沿上均匀排布有触碰块，当探针的一端接触到触碰块时，探针的另一端触碰启闭按钮，延时装置延时关闭横向电机，然后再延时启动横向电机，复位弹簧设置在本体与探针之间，推动探针远离启闭按钮。作为本专利技术的进一步改进，工作台上设置有用于插拔接头的插拔机构，插拔机构包括插拔气缸和插拔套，插拔气缸固定在底座上，插拔套的一端与插拔气缸的输出端连接，另一端与接头连接，以在插拔气缸运行时，将接头与芯片连接或将接头与芯片分开。本专利技术的有益效果，在检测时，操作人员将芯片与电压传感器连接，然后将芯片放在夹臂与底座之间，芯片的接口对准气体通道，而后夹持气缸启动，带动夹臂朝底座移动，夹臂将芯片夹在底座与夹臂之间，此时，芯片上的接口与气体通道重合，气体通道将气体冲入芯片的外壳内，在芯片内产生高压，芯片的输出电压改变，然后保压60秒，看芯片的输出电压的改变值，如果改变的值超过预设值，则芯片不合格，在此，也可以设计报警装置，提醒操作人员。测试完成后，气缸回位，将芯片放开，操作人员开始下一轮测试。通过上述设置，操作人员只需将芯片与接头连接，然后再将芯片放入夹臂以及从夹臂内取出即可，无需插接另外两个接口，简化操作步骤。附图说明图1为本专利技术第一实施例的结构图；图2为第一实施例中，工作台上方的部件的结构图；图3为本专利技术第二实施例的结构图；图4为机械手的结构图；图5为图3中A处的局部放大图；图6为图3中B处的局部放大图。具体实施方式下面将结合附图所给出的实施例对本专利技术做进一步的详述。参照图1至图6所示，本实施例的一种气密性检测装置，包括工作台1、气源2、电压传感器3和用于固定芯片的夹具4，气源2和电压传感器3设置在工作台1上，电压传感器3上设置有用于连接芯片的接头，夹具4包括底座41、夹臂42和用于驱动夹臂42的夹持气缸43，底座41设置在工作台1上，底座41上开设有气体通道，气体通道的一端与气源2连接，另一端设置有与芯片连接的连接口，夹持气缸43固定在底座41上，夹臂42滑移安装在底座41上，并与夹持气缸43的输出端连接，从而随夹持气缸43的动作，夹住或放开芯片。在检测时，操作人员将芯片与电压传感器3连接，然后将芯片放在夹臂42与底座41之间，芯片的接口对准气体通道，而后夹持气缸43启动，带动夹臂42朝底座41移动，夹臂42将芯片夹在底座41与夹臂42之间，此时，芯片上的接口与气体通道重合，气体通道将气体冲入芯片的外壳内，在芯片内产生高压，芯片的输出电压改变，然后保压60秒，看芯片的输出电压的改变值，如果改变的值超过预设值，则芯片不合格，在此，也可以设计报警装置，提醒操作人员。测试完成后，气缸回位，将芯片放开，操作人员开始下一轮测试。通过上述设置，操作人员只需将芯片与接头连接，然后再将芯片放入夹臂42以及从夹臂42内取出即可，无需插接另外两个接口，简化操作步骤。且通过夹持气缸43将芯片固定，从而使气体通道与芯片保持连接，结构简单，使用方便。作为改进的一种具体实施方式，底座41包括底板411、夹板412和安装板413，夹板412和安装板413固定在底板411上并间隔设置，夹板412上开设有夹孔414，夹臂42有两根，且均呈L型，两根夹臂42的一端穿过夹孔414与夹持气缸43连接，另一端相向设置，在夹持气缸43运行时，将芯片夹持在夹臂42与夹板412之间或放开芯片。通过两根L型的夹臂42，配合夹板412，形成环绕结构，更好的定位芯片，从而保证芯片与气体通道连接的精准度。L型的夹臂42和几块板构成整个结构，结构简单、容易制造。作为改进的一种具体实施方式，夹臂42朝向夹板412的一面上固定有缓冲板415。通过缓冲板415吸收夹臂42夹持芯片时的冲击力，减少使用过程中对夹臂42和芯片的损伤，提高夹臂42的使用寿命。作为改进的一种具体实施方式，还包括用于放置芯片的架子和用于抓取芯片的机械手，架子包括支架51、用于放置芯片的置物盘52和用于移动置物盘52的横向移动机构，支架51设置在工作台1的一侧，置物盘52滑移设置在支架51的顶部，横向移动机构包括横向电机53、横向丝杆54和横向导柱55，横向电机53固定在支架51上，横向丝杆54转动安装在支架51上，横向导柱55固定在支架51上，置物盘52的两个侧边上分别固定有一个连接块56，一个连接块56上开设有横向螺纹孔，横向螺纹孔与横向丝杆54啮合，另一个连接块56上开设有横向导孔，横向导柱55穿设在横向导孔内，机械手包括行架61、气爪62、升降气缸68、和用于移动气爪62与升降气缸68的纵向移动机构，行架61架设在工作台1和支架51上，纵向移动机构包括纵向电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气密性检测装置，其特征在于：包括工作台(1)、气源(2)、电压传感器(3)和用于固定芯片的夹具(4)，所述气源(2)和电压传感器(3)设置在工作台(1)上，所述电压传感器(3)上设置有用于连接芯片的接头(31)，所述夹具(4)包括底座(41)、夹臂(42)和用于驱动夹臂(42)的夹持气缸(43)，所述底座(41)设置在工作台(1)上，所述底座(41)上开设有气体通道，所述气体通道的一端与气源(2)连接，另一端设置有与芯片连接的连接口(42)，所述夹持气缸(43)固定在底座(41)上，所述夹臂(42)滑移安装在底座(41)上，并与夹持气缸(43)的输出端连接，从而随夹持气缸(43)的动作，夹住或放开芯片。

【技术特征摘要】
1.一种气密性检测装置，其特征在于：包括工作台(1)、气源(2)、电压传感器(3)和用于固定芯片的夹具(4)，所述气源(2)和电压传感器(3)设置在工作台(1)上，所述电压传感器(3)上设置有用于连接芯片的接头(31)，所述夹具(4)包括底座(41)、夹臂(42)和用于驱动夹臂(42)的夹持气缸(43)，所述底座(41)设置在工作台(1)上，所述底座(41)上开设有气体通道，所述气体通道的一端与气源(2)连接，另一端设置有与芯片连接的连接口(42)，所述夹持气缸(43)固定在底座(41)上，所述夹臂(42)滑移安装在底座(41)上，并与夹持气缸(43)的输出端连接，从而随夹持气缸(43)的动作，夹住或放开芯片。2.根据权利要求1所述的一种气密性检测装置，其特征在于：所述底座(41)包括底板(411)、夹板(412)和安装板(413)，所述夹板(412)和安装板(413)固定在底板(411)上并间隔设置，所述夹板(412)上开设有夹孔(414)，所述夹臂(42)有两根，且均呈L型，两根所述夹臂(42)的一端穿过夹孔(414)与夹持气缸(43)连接，另一端相向设置，在夹持气缸(43)运行时，将芯片夹持在夹臂(42)与夹板(412)之间或放开芯片。3.根据权利要求2所述的一种气密性检测装置，其特征在于：所述夹臂(42)朝向夹板(412)的一面上固定有缓冲板(415)。4.根据权利要求3所述的一种气密性检测装置，其特征在于：还包括用于放置芯片的架子和用于抓取芯片的机械手，所述架子包括支架(51)、用于放置芯片的置物盘(52)和用于移动置物盘(52)的横向移动机构，所述支架(51)设置在工作台(1)的一侧，所述置物盘(52)滑移设置在支架(51)的顶部，所述横向移动机构包括横向电机(53)、横向丝杆(54)和横向导柱(55)，所述横向电机(53)固定在支架(51)上，所述横向丝杆(54)转动安装在支架(51)上，所述横向导柱(55)固定在支架(51)上，所述置物盘(52)的两个侧边...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈婷婷，俞兴，洪灵，程旗凯，陈源通，王京，陈卸件，朱振，余晓春，盛晓祥，张晋，潘浩雷，俞妙春，朱鑫城，黄兴，汪小平，胡顺程，吴洪鑫，曹俊，徐悦新，赵俊汀，徐文韬，李陈凯，
申请(专利权)人：浙江硕和机器人科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33