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本发明公开了一种气密性检测装置，包括工作台、气源、电压传感器和用于固定芯片的夹具，气源和电压传感器设置在工作台上，电压传感器上设置有用于连接芯片的接头，夹具包括底座、夹臂和用于驱动夹臂的夹持气缸，底座设置在工作台上，底座上开设有气体通道，气...
该专利属于浙江硕和机器人科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江硕和机器人科技有限公司授权不得商用。

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