【技术实现步骤摘要】
一种硅棒切割液过滤回收装置
本技术涉及硅片生产制造领域，尤其涉及一种硅棒切割液过滤回收装置。
技术介绍
硅棒切割制备硅片过程中，切割产生的硅粉混杂在切割液中，随着切割时长的累积，硅粉累积量也越来越多，硅粉在切割液中的密度随之增高，影响切割液的降温与润滑作用，常出现断线、跳线，严重时影响切割质量，拉低切割效率。因此需要将切割液中的硅粉去除，才能使切割液重复利用，保证切割质量。本技术设计了一种硅棒切割液过滤回收装置，能有效滤除切割液中的硅粉，使切割液能循环使用降低能耗，同时可以对滤除的硅粉进行回收利用，避免资源浪费。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种能有效过滤切割液、保证切割质量的硅棒切割液过滤回收装置。为解决上述问题，本技术所采取的技术方案是：一种硅棒切割液过滤回收装置，其关键技术在于：其包括主桶体及设置在所述主桶体内的过滤桶；所述主桶体上设置有进水口、出水口、注水口和排污口，所述进水口低于所述出水口设置，所述注水口设置于所述主桶体顶部，所述排污口设置于所述主桶体底部，所述进水口、出水口、注水口和排污口上分别设置有第一阀门、第二阀门、第三阀门和第四阀门；所述...
【技术保护点】
1.一种硅棒切割液过滤回收装置，其特征在于：其包括主桶体（1）及设置在所述主桶体（1）内的过滤桶（2）；所述主桶体（1）上设置有进水口（3）、出水口（4）、注水口（5）和排污口（6），所述进水口（3）低于所述出水口（4）设置，所述注水口（5）设置于所述主桶体（1）顶部，所述排污口（6）设置于所述主桶体（1）底部，所述进水口（3）、出水口（4）、注水口（5）和排污口（6）上分别设置有第一阀门（7）、第二阀门（8）、第三阀门（9）和第四阀门（10）；所述过滤桶（2）上部设置有开口（11），内部设置有滤芯（14），侧壁上设置有滤孔；所述出水口（4）和进水口（3）分别设置于所述开口（11）上下两侧。
【技术特征摘要】
1.一种硅棒切割液过滤回收装置，其特征在于：其包括主桶体（1）及设置在所述主桶体（1）内的过滤桶（2）；所述主桶体（1）上设置有进水口（3）、出水口（4）、注水口（5）和排污口（6），所述进水口（3）低于所述出水口（4）设置，所述注水口（5）设置于所述主桶体（1）顶部，所述排污口（6）设置于所述主桶体（1）底部，所述进水口（3）、出水口（4）、注水口（5）和排污口（6）上分别设置有第一阀门（7）、第二阀门（8）、第三阀门（9）和第四阀门（10）；所述过滤桶（2）上部设置有开口（11），内部设置有滤芯（14），侧壁上设置有滤孔；所述出水口（4）和进水口（3）分别设置于所述开口（11）上下两侧。2.根据权利要求1所述的一种硅棒切割液过滤回收装置，其特征在于：所述主桶体（1）内设置有隔板（12），所述过滤桶...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫广宁，王辉，崔硕浩，赵立伟，王志强，董永见，王更磊，
申请(专利权)人：宁晋松宫电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13
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