【技术实现步骤摘要】
一种新型真空用旋转门阀
本技术涉及的是门阀
，具体涉及一种新型真空用旋转门阀。
技术介绍
在真空镀膜生产中,真空环境镀膜的需要，要求保持生产线进出口完全封闭；通常在进出口处分别设置有门阀，在基片进出生产线通过进出口时，门阀会相应地打开或关闭。真空镀膜生产线对真空环境要求非常高，这就要求真空腔室门阀密封可靠；当设备接受到基片进出的信号，门阀能很及时、灵敏、可靠地的开闭，这样才能确保生产效率，保证产品质量。本技术采用的进、出口旋转门阀，当气缸接受到基片进出的信号后，驱动气缸，通过齿条、齿轮带动门阀旋转95°动作平稳快捷，密封可靠。
技术实现思路
针对现有技术上存在的不足，本技术目的是在于提供一种新型真空用旋转门阀，密封可靠，动作灵敏，确保基片快速通过立式镀膜线的进口和出口，提高了整个真空镀膜生产线效率。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种新型真空用旋转门阀，包括门阀，门阀通过上安装轴承座和下安装轴承座按在在腔室进出口处，上气缸通过上齿条、上齿轮和上联轴器与门阀传动连接，下气缸通过下齿条、下齿轮和下联轴器与门阀传动连接，腔室上下部分别设置有上齿轮限位部件和下齿轮限位部件，门阀上的门阀轴上设置有门阀轴限位装置，阀板通过连接套、钩头键安装在门阀轴上。作为优选，所述的阀板上装有O型密封圈。作为优选，所述的阀板还通过调节块和定位螺钉设置在门阀轴上。本技术的有益效果：结构设计合理，密封可靠，动作灵敏，确保基片快速通过立式镀膜线的进口和出口，提高了整个真空镀膜生产线效率。附图说明下面结合附图和具体实施方式来详细说明本技术；图1为本技术的整体安装结构示意...
【技术保护点】
1.一种新型真空用旋转门阀，其特征在于，包括门阀(1)，门阀(1)通过上安装轴承座(2)和下安装轴承座(3)按在在腔室(4)进出口处，上气缸(5)通过上齿条(6)、上齿轮(7)和上联轴器(8)与门阀(1)传动连接，下气缸(9)通过下齿条(10)、下齿轮(11)和下联轴器(12)与门阀(1)传动连接，腔室(4)上下部分别设置有上齿轮限位部件(13)和下齿轮限位部件(14)，门阀(1)上的门阀轴(15)上设置有门阀轴限位装置(16)，阀板(17)通过连接套(18)、钩头键(19)安装在门阀轴(15)上。
【技术特征摘要】
1.一种新型真空用旋转门阀，其特征在于，包括门阀(1)，门阀(1)通过上安装轴承座(2)和下安装轴承座(3)按在在腔室(4)进出口处，上气缸(5)通过上齿条(6)、上齿轮(7)和上联轴器(8)与门阀(1)传动连接，下气缸(9)通过下齿条(10)、下齿轮(11)和下联轴器(12)与门阀(1)传动连接，腔室(4)上下部分别设置有上齿轮限位部件(13)和下齿轮限位部件(14)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：张俊峰，赵子东，许春立，张大剑，
申请(专利权)人：上海子创镀膜技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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