【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏溅射镀膜试验机设备，具体为一种新型的光伏溅射镀膜试验机。
技术介绍
1、溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面，把靶材的原子被击出的现象称为溅射，溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜，通常是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体，击出阴极靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜，人们开发出了溅射速率较高的射频溅射、三极溅射和。
2、现有的光伏溅射镀膜试验机，多采用基片在上，平面靶在下，安装在腔体底板上，通过波纹管伸缩调节靶基距，结构复杂，安装调试不便，且基片尺寸不宜过大，因此，本领域技术人员提出了一种新型的光伏溅射镀膜试验机，用来解决上述所存在的问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种新型的光伏溅射镀膜试验机，解决了现有的光伏溅射镀膜试验机结构复杂、安装调试不便的问题。
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种新型的光伏溅射镀膜试验机，包括机架和供气系统，所述机架的顶端中部一侧设置有真空腔体，所述真空腔体的外侧中部等距设置有三个观察窗，所述真空腔体的内侧设置有腔室，所述腔室的内壁上设置有衬板，所述腔室的内侧底部设置有基片台，所述基片台上等距设置有若干个基片，所述基片台的下端等距设置有若干个加热组件，所述真空腔体的底端中部固定连接有伺服电机，所述基片台的底端通过磁流体与伺服电机的输出端相连接，所述真空腔体外侧的中部一侧分别设置有手动挡板阀和放气阀，所述真空腔体的旁抽口通
3、优选的，所述真空腔体的顶端设置有真空室盖板，所述真空室盖板的顶端等距设置有四组平面靶，所述真空室盖板的顶端等距设置有多个离子源，所述真空室盖板的顶端中部固定连接有齿轮二，所述齿轮二的上端设置有挡板转圈，所述齿轮二上啮合连接有齿轮一，所述真空室盖板的顶端中部一侧设置有转动手柄，且所述转动手柄的一端固定连接在齿轮一的顶端中部，所述真空室盖板的顶端中部通过电动上掀盖机构与机架的内侧底端一侧相连接。
4、优选的，所述电动上掀盖机构包括升降机座，所述升降机座的顶端中部通过连接螺栓固定连接有蜗轮蜗杆升降机，所述蜗轮蜗杆升降机的后侧中部固定有驱动电机，且所述驱动电机的输出端与蜗轮蜗杆升降机的输入端固定连接，所述蜗轮蜗杆升降机的中上部固定连接有轴承固定座，所述轴承固定座的上端设置有直线轴承，所述蜗轮蜗杆升降机的中上部靠近边缘端通过转动架与吊座的顶端中部相连接，所述蜗轮蜗杆升降机的一侧中下部分别设置有行程开关一和行程开关二，所述蜗轮蜗杆升降机的丝杆上设置有撞块。
5、优选的，所述供气系统包括工艺气体阀门安装板，所述工艺气体阀门安装板的顶端中部一侧等距设置有多个流量计，所述工艺气体阀门安装板的顶端中部另一侧设置有混气室，所述工艺气体阀门安装板的顶端一侧边缘处等距设置有多个电磁阀一，所述工艺气体阀门安装板的顶端另一侧边缘处等距设置有多个电磁阀二的底端四角处均设置有脚轮，所述机架内侧底端的中部一侧设置有旋片泵，所述转动架远离真空室盖板的中部一侧上设置有上水冷却管，所述机架靠近电动上掀盖机构的内部底端一侧设置有下水冷却管。
6、优选的，所述真空腔体的外侧中下部等距设置有多个法兰接口，所述衬板的材质为不锈钢材质，所述加热组件为环形加热丝，所述真空室盖板的底端边缘处设置有氟橡胶圈。
7、本专利技术提供了一种新型的光伏溅射镀膜试验机。具备以下有益效果：
8、1、本专利技术通过将试验机上的四个靶与离子辅助设备均布安装在电动可上掀盖板上，相邻靶材成均匀分布，四个阴极彼此用隔板隔开，防止其中一个阴极溅射时，污染相邻两个靶，并且基片支架可连续回转，一个支架可放置多片基片，转速可通过伺服电机控制，同时也可根据工艺要求调整转速，结构较为简单，便于使用者的安装与调试。
9、2、本专利技术通过采用磁控溅射与icp离子源相结合的薄膜改性沉积制备方式，即icp作为辅助离子源使等离子体和基片引发级联碰撞造成混合，产生过渡层的牢固的薄膜结构，离子源也可对基片进行离子碰撞清洗，增加镀膜活性，可降低静电产生的副作用。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种新型的光伏溅射镀膜试验机，包括机架(1)和供气系统(27)，其特征在于：所述机架(1)的顶端中部一侧设置有真空腔体(2)，所述真空腔体(2)的外侧中部等距设置有三个观察窗(8)，所述真空腔体(2)的内侧设置有腔室(9)，所述腔室(9)的内壁上设置有衬板(11)，所述腔室(9)的内侧底部设置有基片台(12)，所述基片台(12)上等距设置有若干个基片(16)，所述基片台(12)的下端等距设置有若干个加热组件(18)，所述真空腔体(2)的底端中部固定连接有伺服电机(17)，所述基片台(12)的底端通过磁流体与伺服电机(17)的输出端相连接，所述真空腔体(2)外侧的中部一侧分别设置有手动挡板阀(13)和放气阀(15)，所述真空腔体(2)的旁抽口通过螺栓连接的方式分别固定连接有分子泵(7)和插板阀(14)。
2.根据权利要求1所述的一种新型的光伏溅射镀膜试验机，其特征在于：所述真空腔体(2)的顶端设置有真空室盖板(19)，所述真空室盖板(19)的顶端等距设置有四组平面靶(20)，所述真空室盖板(19)的顶端等距设置有多个离子源(21)，所述真空室盖板(19)的顶端中部固
3.根据权利要求2所述的一种新型的光伏溅射镀膜试验机，其特征在于：所述电动上掀盖机构(22)包括升降机座(2201)，所述升降机座(2201)的顶端中部通过连接螺栓固定连接有蜗轮蜗杆升降机(2202)，所述蜗轮蜗杆升降机(2202)的后侧中部固定有驱动电机(2203)，且所述驱动电机(2203)的输出端与蜗轮蜗杆升降机(2202)的输入端固定连接，所述蜗轮蜗杆升降机(2202)的中上部固定连接有轴承固定座(2204)，所述轴承固定座(2204)的上端设置有直线轴承(2205)，所述蜗轮蜗杆升降机(2202)的中上部靠近边缘端通过转动架(2206)与吊座(2207)的顶端中部相连接，所述蜗轮蜗杆升降机(2202)的一侧中下部分别设置有行程开关一(2208)和行程开关二(2210)，所述蜗轮蜗杆升降机(2202)的丝杆上设置有撞块(2209)。
4.根据权利要求1所述的一种新型的光伏溅射镀膜试验机，其特征在于：所述供气系统(27)包括工艺气体阀门安装板(2701)，所述工艺气体阀门安装板(2701)的顶端中部一侧等距设置有多个流量计(2705)，所述工艺气体阀门安装板(2701)的顶端中部另一侧设置有混气室(2703)，所述工艺气体阀门安装板(2701)的顶端一侧边缘处等距设置有多个电磁阀一(2702)，所述工艺气体阀门安装板(2701)的顶端另一侧边缘处等距设置有多个电磁阀二(2704)。
5.根据权利要求3所述的一种新型的光伏溅射镀膜试验机，其特征在于：所述机架(1)的底端四角处均设置有脚轮(3)，所述机架(1)内侧底端的中部一侧设置有旋片泵(6)，所述转动架(2206)远离真空室盖板(19)的中部一侧上设置有上水冷却管(4)，所述机架(1)靠近电动上掀盖机构(22)的内部底端一侧设置有下水冷却管(5)。
6.根据权利要求5所述的一种新型的光伏溅射镀膜试验机，其特征在于：所述真空腔体(2)的外侧中下部等距设置有多个法兰接口(10)，所述衬板(11)的材质为不锈钢材质，所述加热组件(18)为环形加热丝，所述真空室盖板(19)的底端边缘处设置有氟橡胶圈。
...【技术特征摘要】
1.一种新型的光伏溅射镀膜试验机，包括机架(1)和供气系统(27)，其特征在于：所述机架(1)的顶端中部一侧设置有真空腔体(2)，所述真空腔体(2)的外侧中部等距设置有三个观察窗(8)，所述真空腔体(2)的内侧设置有腔室(9)，所述腔室(9)的内壁上设置有衬板(11)，所述腔室(9)的内侧底部设置有基片台(12)，所述基片台(12)上等距设置有若干个基片(16)，所述基片台(12)的下端等距设置有若干个加热组件(18)，所述真空腔体(2)的底端中部固定连接有伺服电机(17)，所述基片台(12)的底端通过磁流体与伺服电机(17)的输出端相连接，所述真空腔体(2)外侧的中部一侧分别设置有手动挡板阀(13)和放气阀(15)，所述真空腔体(2)的旁抽口通过螺栓连接的方式分别固定连接有分子泵(7)和插板阀(14)。
2.根据权利要求1所述的一种新型的光伏溅射镀膜试验机，其特征在于：所述真空腔体(2)的顶端设置有真空室盖板(19)，所述真空室盖板(19)的顶端等距设置有四组平面靶(20)，所述真空室盖板(19)的顶端等距设置有多个离子源(21)，所述真空室盖板(19)的顶端中部固定连接有齿轮二(26)，所述齿轮二(26)的上端设置有挡板转圈(23)，所述齿轮二(26)上啮合连接有齿轮一(25)，所述真空室盖板(19)的顶端中部一侧设置有转动手柄(24)，且所述转动手柄(24)的一端固定连接在齿轮一(25)的顶端中部，所述真空室盖板(19)的顶端中部通过电动上掀盖机构(22)与机架(1)的内侧底端一侧相连接。
3.根据权利要求2所述的一种新型的光伏溅射镀膜试验机，其特征在于：所述电动上掀盖机构(22)包括升降机座(2201)，所述升降机座(2201)的顶端中部通过连接螺栓固定连接有蜗轮蜗杆升降机(2202)，所述蜗轮蜗杆升降机(2202)的后侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：张俊峰，赵子东，张志阳，魏庆瑄，
申请(专利权)人：上海子创镀膜技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。