【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及大型卧式连续真空镀膜设备、真空观察系统设计、镀膜，具体为一种真空镀膜设备用观察窗装置。
技术介绍
1、真空镀膜设备观察窗系统是真空镀膜设备的关键部件，各种真空镀膜工艺都必须在真空室中进行，在真空镀膜室中安装不同的功能部件，真空镀膜设备的观察窗系统主要用于观察和检测真空室内的工作状况，及时发现处理设备异常。
2、目前真空镀膜设备中的观察窗装置密封效果不好，稳定性差，特别是在工艺镀膜区的观察窗时间久了观察窗玻璃容易被镀膜溅射物覆盖，从而使得工作人员看不到真空设备里运行情况，不能及时发现问题，因此，本领域技术人员提出了一种真空镀膜设备用观察窗装置，用来解决上述所提到的问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种真空镀膜设备用观察窗装置，解决了真空镀膜设备观察窗容易被镀膜溅射物污染覆盖而导致可视性较差的问题。
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种真空镀膜设备用观察窗装置，包括真空腔体，所述真空腔体的一侧设置有连接法兰一，所述连接法兰一靠近真空侧的一侧内部设置有卡环，所述卡环的内侧设置有玻璃二，所述连接法兰一远离真空侧的内侧靠近边缘处设置有o型圈，所述玻璃二远离真空侧的一侧设置有玻璃一，且所述玻璃一靠近真空侧的一侧边缘处与o型圈相接触。
3、优选的，所述真空腔体远离连接法兰一的一侧设置有真空卡箍，所述真空腔体通过真空卡箍与连接法兰二相连接，所述连接法兰二的内侧中部转动连接有旋转轴，所述旋转轴远离真
4、优选的，所述连接法兰二靠近挡板的内侧一端设置有卡簧，所述连接法兰二内侧中部两端的靠近边缘处分别设置有轴承一和轴承二，所述连接法兰二内侧的中部两端分别设置有骨架油封一和骨架油封二，所述连接法兰二靠近挡板的内侧中部一侧设置有挡圈。
5、优选的，所述玻璃一靠近大气侧的一侧上设置有缓冲垫，所述连接法兰一靠近大气侧的一侧上设置有压板。
6、优选的，所述手柄远离连接法兰二的一端上转动连接有防脱球头，所述旋转轴和手柄的材质均采用的是不锈钢材质。
7、优选的，所述连接法兰二的中心位置与连接法兰一的中心位置处于同一水平线上。
8、工作原理：在进行真空镀膜需要对管材窗进行遮挡的时候，使用者可以通过转动手柄，手柄转动的同时通过旋转轴带动挡板进行转动，通过挡板将连接法兰一上的玻璃二进行遮挡，并且旋转轴在进行旋转的同时通过连接法兰二内的轴承一和轴承二进行辅助旋转，同时在旋转轴转动的同时通过连接法兰二内的骨架油封一和骨架油封二保证旋转轴转动时的密封，防止真空设备在工作时进入大气，在不需要对玻璃二进行遮挡的时候，使用者即可通过转动手柄，手柄转动的同时通过旋转轴带动挡板进行复位，在真空设备工作一段时间之后，玻璃二被镀膜溅射物污染后，使用者可以通过拆卸卡环对玻璃二进行更换，以此保证后续真空镀膜的正常进行。
9、本专利技术提供了一种真空镀膜设备用观察窗装置。具备以下有益效果：
10、1、本专利技术通过采用双层高透玻璃一和玻璃二的设计，玻璃一为固定式观察玻璃，玻璃二为可更换式的玻璃，如果在真空设备工作时玻璃二被镀膜溅射物污染，使用者可以通过拆卸卡环对被镀膜溅射物污染的玻璃二进行更换，更换起来比较方便，便于使用者通过观察窗对内部真空设备运行的情况进行查看。
11、2、本专利技术通过可旋转移动的挡板，在真空镀膜方便观察时通过转动手柄带动旋转轴以及挡板进行转动，将挡板进行打开，方便工作人员对工艺镀膜区内部真空设备运行情况进行查看，在挡板不使用的时候，可以通过转动挡板将玻璃二进行遮挡，防止溅射物污染玻璃，对观察窗进行防护。
12、3、本专利技术通过骨架油封一和骨架油封二双道骨架油封对旋转轴进行密封，密封效果好的同时密封效果稳定，并且使用寿命长。
13、4、本专利技术通过采用真空卡箍对旋转轴与真空腔体进行连接密封，密封效果好，并且便于拆卸更换。
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1.一种真空镀膜设备用观察窗装置，包括真空腔体(1)，其特征在于：所述真空腔体(1)的一侧设置有连接法兰一(9)，所述连接法兰一(9)靠近真空侧的一侧内部设置有卡环(3)，所述卡环(3)的内侧设置有玻璃二(8)，所述连接法兰一(9)远离真空侧的内侧靠近边缘处设置有O型圈(4)，所述玻璃二(8)远离真空侧的一侧设置有玻璃一(7)，且所述玻璃一(7)靠近真空侧的一侧边缘处与O型圈(4)相接触。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用观察窗装置，其特征在于：所述真空腔体(1)远离连接法兰一(9)的一侧设置有真空卡箍(11)，所述真空腔体(1)通过真空卡箍(11)与连接法兰二(13)相连接，所述连接法兰二(13)的内侧中部转动连接有旋转轴(10)，所述旋转轴(10)远离真空腔体(1)的一端贯穿连接法兰二(13)并向外延伸，所述旋转轴(10)靠近真空腔体(1)的一端贯穿真空腔体(1)并向内延伸，所述旋转轴(10)靠近真空侧的一端通过螺栓固定连接有挡板(2)，所述旋转轴(10)靠近大气侧的一端通过螺栓固定连接有手柄(19)。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用观察窗装置，其特征在于：所述玻璃一(7)靠近大气侧的一侧上设置有缓冲垫(6)，所述连接法兰一(9)靠近大气侧的一侧上设置有压板(5)。
5.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备用观察窗装置，其特征在于：所述手柄(19)远离连接法兰二(13)的一端上转动连接有防脱球头，所述旋转轴(10)和手柄(19)的材质均采用的是不锈钢材质。
6.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备用观察窗装置，其特征在于：所述连接法兰二(13)的中心位置与连接法兰一(9)的中心位置处于同一水平线上。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备用观察窗装置，包括真空腔体(1)，其特征在于：所述真空腔体(1)的一侧设置有连接法兰一(9)，所述连接法兰一(9)靠近真空侧的一侧内部设置有卡环(3)，所述卡环(3)的内侧设置有玻璃二(8)，所述连接法兰一(9)远离真空侧的内侧靠近边缘处设置有o型圈(4)，所述玻璃二(8)远离真空侧的一侧设置有玻璃一(7)，且所述玻璃一(7)靠近真空侧的一侧边缘处与o型圈(4)相接触。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用观察窗装置，其特征在于：所述真空腔体(1)远离连接法兰一(9)的一侧设置有真空卡箍(11)，所述真空腔体(1)通过真空卡箍(11)与连接法兰二(13)相连接，所述连接法兰二(13)的内侧中部转动连接有旋转轴(10)，所述旋转轴(10)远离真空腔体(1)的一端贯穿连接法兰二(13)并向外延伸，所述旋转轴(10)靠近真空腔体(1)的一端贯穿真空腔体(1)并向内延伸，所述旋转轴(10)靠近真空侧的一端通过螺栓固定连接有挡板(2)，所述旋转轴(10)靠近大气侧的一端通过螺栓固定连接有手柄(19)。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：张俊峰，赵子东，张志阳，魏庆瑄，
申请(专利权)人：上海子创镀膜技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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