尾气处理装置制造方法及图纸

一种尾气处理装置，包括：燃烧炉，所述燃烧炉包括顶部、底部以及位于顶部和底部之间的环形侧部，所述燃烧炉的顶部的内壁上和环形侧部的内壁上设置有若干喷嘴，若干喷嘴喷出火焰对从顶部通入燃烧炉中的尾气进行全包围燃烧。本实用新型专利技术的尾气处理装置提高了尾气处理的效率。

Tail gas treatment unit

【技术实现步骤摘要】
尾气处理装置
本技术涉及半导体设备领域，尤其涉及一种尾气处理装置。
技术介绍
尾气处理在半导体制造企业中是一个不可或缺的环保环节，作为大规模、代表先进制造技术的产业，半导体制造企业必须注意到尾气排放将对环境造成的污染、对先进半导体制程所造成的影响，因此，要积极做好尾气排放的处理和控制工作。对于尾气的处理，现有的尾气处理装置通常采用水洗、氧化/燃烧等方法。但是现有的尾气处理装置对于尾气的处理效率较低。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是怎样防止蝶阀内漏。为了解决上述问题，本技术提供了一种尾气处理装置，包括：燃烧炉，所述燃烧炉包括顶部、底部以及位于顶部和底部之间的环形侧部，所述燃烧炉的顶部的内壁上和环形侧部的内壁上设置有若干喷嘴，若干喷嘴喷出火焰对从顶部通入燃烧炉中的尾气进行全包围燃烧。可选的，所述喷嘴的材料为陶瓷，所述燃烧炉的内壁的材料为陶瓷。可选的，若干喷嘴均匀的分布在燃烧炉的顶部和侧壁的内壁上。可选的，所述燃烧炉的顶部上设置有若干入口，若干入口分别连接不同设备的尾气排放管道，所述底部上设置有出口，燃烧后的气体通过出口排出。可选的，所述燃烧炉下方还设置有粉末收集箱，所述粉末收集箱通过一连接管与燃烧炉底部上的出口连通，所述粉末收集箱用于收集燃烧过程中产生的粉末。可选的，还包括水洗装置，所述水洗装置通过一气体输送管与连接管连通，所述水洗装置用于对燃烧后的气体进行水洗。可选的，所述水洗装置包括水洗腔、水箱、喷淋头，所述水洗腔与气体输送管连通，燃烧后的气体通过连接管和气体输送管进入水洗腔，所述喷淋头位于水洗腔中，所述喷淋头喷洒水对进入水洗腔中的气体进行水洗，所述水箱位于水洗腔下方与水洗腔连通，所述水箱收集进行水洗后的水。可选的，所述水洗装置还包括输水装置，用于将水箱中的水输送到喷淋头。可选的，所述水洗腔还与厂务的排气端连接。可选的，所述燃烧炉的侧壁中还设置有冷却水管路，所述粉末收集箱与气体输送管之间的连接管上还设置有隔离阀。与现有技术相比，本技术技术方案具有以下优点：本技术的尾气处理装置，包括：燃烧炉，所述燃烧炉的顶部的内壁上和环形侧部的内壁上设置有若干喷嘴，因而若干喷嘴能对通入燃烧炉内尾气形成包围，使得若干喷嘴喷出的火焰对通入燃烧炉内的尾气能进行全包围的燃烧，因而通入燃烧炉内的尾气能充分完全的燃烧，从而提高了燃烧效率。通过燃烧可以去除尾气中的有机成分、有毒成分，从而防止尾气对环境的污染。进一步，若干喷嘴均匀的分布在燃烧炉的顶部的内壁上和环形侧部的内壁上，以进一步提高燃烧的效率。进一步，所述燃烧炉的顶部上设置有若干入口(图中未示出)，若干入口分别连接不同设备的尾气排放管道，使得尾气处理装置可以对多个设备排放的尾气同时进行处理，节约了尾气处理的成本，提高了尾气处理效率。进一步，所述燃烧炉下方还设置有粉末收集箱，所述粉末收集箱通过一连接管与燃烧炉底部上的出口连通，所述粉末收集箱用于收集燃烧过程中产生的粉末，一方面可以防止粉末堵塞后面的管道，延长了管路的保养周期，另一方面，可以防止粉末对后续进行水洗时的水的污染，使得水箱中的水质得到改善，延长了水箱的保养周期。进一步，所述粉末收集箱与气体输送管之间的连接管上还可以设置隔离阀，所述隔离阀在粉末收集箱在收集燃烧过程中产生的粉末时打开，所述隔离阀在维护人员通过清理口将粉末收集箱208中积累的粉末移出时关闭。进一步，所述尾气处理装置还包括水洗装置，所述水洗装置通过一气体输送管与连接管连通，所述水洗装置用于对燃烧后的气体进行水洗，以对燃烧后的气体进行降温，便于燃烧后的气体排出。进一步所述水洗装置还包括输水装置，用于将水箱中的水输送到喷淋头，以实现对水箱中的水的重复利用。附图说明图1为本技术实施例尾气处理装置的结构示意图；图2为本技术实施例燃烧炉的剖面结构示意图。具体实施方式如
技术介绍
所言，现有的尾气处理装置对于尾气的处理效率较低。为此，本技术提供了一种尾气处理装置，包括：燃烧炉，所述燃烧炉的顶部的内壁上和环形侧部的内壁上设置有若干喷嘴，若干喷嘴喷出火焰对从顶部通入燃烧炉中的尾气进行全包围燃烧，使得本申请的燃烧炉的燃烧效率极大的提高。为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在详述本技术实施例时，为便于说明，示意图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本技术的保护范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。图1为本技术实施例尾气处理装置的结构示意图；图2为本技术实施例燃烧炉的剖面结构示意图。参考图1，本实施例的尾气处理装置，包括：燃烧炉201，所述燃烧炉201包括顶部201a、底部201c以及位于顶部201a和底部201c之间的环形侧部201b，所述燃烧炉201的顶部201a的内壁上和环形侧部201b的内壁上设置有若干喷嘴202，若干喷嘴202喷出火焰对从顶部201a通入燃烧炉中的尾气21进行全包围燃烧。所述燃烧炉201的顶部201a、底部201c和环形侧部201b围绕的空间为燃烧腔，燃烧腔用于容纳通入的尾气21，并将尾气21在燃烧腔中进行燃烧。所述燃烧炉201的内壁的材料为陶瓷，所述喷嘴202的材料为陶瓷，以使得燃烧炉201和喷嘴202能适应高温环境。本实施例中，若干喷嘴202分布在燃烧炉201的顶部201a的内壁上和环形侧部201b的内壁上，因而若干喷嘴能对通入燃烧炉201内尾气21形成包围，使得若干喷嘴202喷出的火焰对通入燃烧炉201内的尾气能进行全包围的燃烧，因而通入燃烧炉201内的尾气能充分完全的燃烧，从而提高了燃烧效率。通过燃烧可以去除尾气中的有机成分、有毒成分，从而防止尾气对环境的污染。本实施例中，所述燃烧炉201的底部201c的内壁上不设置喷嘴，以防止底部201c的内壁上设置的喷嘴喷出的火焰对尾气进入和排出燃烧炉201的过程产生影响。在一实施例中，若干喷嘴202均匀的分布在燃烧炉201的顶部201a的内壁上和环形侧部201b的内壁上，以进一步提高燃烧的效率。在一实施例中，所述尾气处理装置还包括天然气供应管道(图中未示出)和点火装置(图中未示出)，天然气供应管道用于向若干喷嘴202中供应天然气，所述点火装置用于将喷嘴202中的天然气点燃，使得火焰从喷嘴202喷出，对通入燃烧炉201中的尾气进行燃烧。所述燃烧炉201的顶部201a上设置有若干入口(图中未示出)，若干入口分别连接不同设备的尾气排放管道(204/205)，所述底部201c上设置有出口203，燃烧后的气体通过出口203排出到连接管206中。所述尾气排放管道204和尾气排放管道205为不同设备的尾气排放管道，比如尾气排放管道204为气相沉积工艺设备A的尾气排放管道，尾气排放管道205为气相沉积工艺设备B的尾气排放管道。因而本实施例的尾气处理装置可以对多个设备排放的尾气同时进行处理，节约了尾气处理的成本，提高了尾气处理效率。请继续参考图1，所述燃烧炉201下方还设置有粉末收集箱208，所述粉末收集箱208通过一连接管206与燃烧炉201底部201c上的出口203连通，所述粉末收集箱208用于收集燃烧过程中产生的粉末。尾气21在燃烧过程本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括：燃烧炉，所述燃烧炉包括顶部、底部以及位于顶部和底部之间的环形侧部，所述燃烧炉的顶部的内壁上和环形侧部的内壁上设置有若干喷嘴，若干喷嘴喷出火焰对从顶部通入燃烧炉中的尾气进行全包围燃烧。

【技术特征摘要】
1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括：燃烧炉，所述燃烧炉包括顶部、底部以及位于顶部和底部之间的环形侧部，所述燃烧炉的顶部的内壁上和环形侧部的内壁上设置有若干喷嘴，若干喷嘴喷出火焰对从顶部通入燃烧炉中的尾气进行全包围燃烧。2.如权利要求1所述尾气处理装置，其特征在于，所述喷嘴的材料为陶瓷，所述燃烧炉的内壁的材料为陶瓷。3.如权利要求1所述尾气处理装置，其特征在于，若干喷嘴均匀的分布在燃烧炉的顶部和侧壁的内壁上。4.如权利要求1所述尾气处理装置，其特征在于，所述燃烧炉的顶部上设置有若干入口，若干入口分别连接不同设备的尾气排放管道，所述底部上设置有出口，燃烧后的气体通过出口排出。5.如权利要求4所述尾气处理装置，其特征在于，所述燃烧炉下方还设置有粉末收集箱，所述粉末收集箱通过一连接管与燃烧炉底部上的出口连通，所述粉末收集箱用于收集燃烧过程中产生的粉末。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：孟杰，王昕昀，吴龙江，林宗贤，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32