过滤器结构以及包括过滤器结构的设备制造技术

提供了一种用于在制造集成电路中使用的化学溶液的过滤器结构以及一种包括该过滤器结构的设备。所述过滤器结构包括：第一膜结构，包括多个膜单元，所述多个膜单元中的每个包括包含多个第一开口的阴极、包括多个第二开口的阳极以及位于阴极与阳极之间的绝缘层；以及过滤器外壳，被构造成在其中容纳第一膜结构，过滤器外壳包括化学溶液通过其引进的入口和化学溶液通过其排出的出口。第一膜结构被构造成使得当在通过入口引进的化学溶液通过第一膜结构的同时将电场施加在阴极与阳极之间时，化学溶液中的具有带正电颗粒和带负电颗粒两者的杂质被俘获在第一膜结构中。

【技术实现步骤摘要】
过滤器结构以及包括过滤器结构的设备本申请要求于2018年1月26日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0009935号韩国专利申请的权益，所述韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。
根据专利技术构思的示例性实施例涉及一种用于在制造集成电路中使用的化学溶液的过滤器结构以及一种包括该用于化学溶液的过滤器结构的用于供应化学溶液的设备，更具体地，涉及一种用于化学溶液的过滤器结构以及一种包括该用于化学溶液的过滤器结构的用于供应化学溶液的设备，该过滤器结构用于过滤光致抗蚀剂溶液。
技术介绍
随着轻量且纤薄的电子产品的趋势，对于集成电路的高集成度的需求增加。因为特征的线宽由于集成电路的尺寸缩小而减小，因此会在特征的图案化工艺期间由于具有精细的尺寸且包含在光致抗蚀剂溶液中的杂质而发生图案缺陷。
技术实现思路
根据示例性实施例的专利技术构思提供了一种用于化学溶液的过滤器结构以及一种包括该用于化学溶液的过滤器结构的用于供应化学溶液的设备，该用于化学溶液的过滤器结构以及用于供应化学溶液的设备能够过滤具有精细尺寸且包含在光致抗蚀剂溶液中的杂质，并且因此减少集成电路的图案缺陷。根据专利技术构思的一方面，提供了一种用于在制造集成电路中使用的化学溶液的过滤器结构，所述过滤器结构包括：第一膜结构，包括多个膜单元，多个膜单元中的每个包括包含多个第一开口的阴极、包括多个第二开口的阳极以及位于阴极与阳极之间的绝缘层；以及过滤器外壳，被构造成在其中容纳第一膜结构，过滤器外壳包括化学溶液通过其引进的入口和化学溶液通过其排出的出口。第一膜结构被构造成使得当在通过入口引进的化学溶液通过第一膜结构的同时将电场施加在阴极与阳极之间时，化学溶液中的具有带正电颗粒和带负电颗粒两者的杂质被俘获在第一膜结构中。根据专利技术构思的另一方面，提供了一种包括第一过滤器结构的用于供应化学溶液的设备，所述第一过滤器结构包括：第一过滤器外壳，包括化学溶液通过其引进的入口和化学溶液通过其排出的出口；以及第一膜结构，容纳在第一过滤器外壳内部，其中，第一膜结构包括多个膜单元，多个膜单元中的每个包括阴极、阳极以及位于阴极与阳极之间的绝缘层，绝缘层被构造成使阴极与阳极电分离。第一膜结构被构造成使得当在通过入口引进的化学溶液通过第一膜结构的同时将电场施加在阴极与阳极之间时，化学溶液中的具有带电颗粒的杂质被俘获在第一膜结构中。根据专利技术构思的另一方面，提供了一种包括过滤器结构的用于供应化学溶液的设备，所述过滤器结构包括：过滤器外壳，包括化学溶液通过其引进的入口和化学溶液通过其排出的出口；电场膜结构，容纳在过滤器外壳内部；以及聚合物膜，容纳在过滤器外壳内部并且包括多个孔，其中，电场膜结构包括多个电场膜单元，多个电场膜单元中的每个包括包含多个第一开口的阴极、包括多个第二开口的阳极以及位于阴极与阳极之间的绝缘层，绝缘层使阴极与阳极电分离并且包括多个第三开口。附图说明通过下面结合附图进行的详细描述，专利技术构思的实施例将被更加清楚地理解，在附图中：图1是根据示例性实施例的用于供应化学溶液的设备的图；图2是图1的过滤器结构的分解透视图；图3是沿图2的第一水平面LV1截取的水平剖视图；图4是沿图2的线IV-IV’截取的剖视图；图5是包括在图2的场膜结构中的多个场膜单元中的每个的展开状态的透视图；图6A和图6B是根据示例性实施例的多个场膜单元中的每个的透视图；图7是根据示例性实施例的过滤器结构的水平剖视图；图8是根据示例性实施例的过滤器结构的竖直剖视图；图9是根据示例性实施例的过滤器结构的水平剖视图；图10是根据示例性实施例的过滤器结构的竖直剖视图；图11是根据示例性实施例的过滤器结构的水平剖视图；图12是根据示例性实施例的过滤器结构的竖直剖视图；图13是根据示例性实施例的用于供应化学溶液的设备的图；图14是图13的第一过滤器结构的剖视图；图15是图13的第二过滤器结构的剖视图。具体实施方式在下文中，参照附图来详细描述专利技术构思的示例性实施例。图1是根据示例性实施例的用于供应化学溶液的设备100的图。图2是图1的过滤器结构120的分解透视图，图3是沿图2的第一水平面LV1截取的水平剖视图，图4是沿图2的线IV-IV’截取的剖视图，图5是包括在图2的场膜结构124中的多个场膜单元160中的每个的展开状态的透视图。参照图1至图5，用于供应化学溶液的设备100可包括化学溶液存储罐110、过滤器结构120、化学溶液供应线132、化学溶液排出线134和化学溶液喷射单元150。过滤器结构120可被简单地称为过滤器并且可被构造成在将化学溶液排出到化学溶液排出线134之前过滤经由化学溶液供应线132供应到过滤器结构120中的化学溶液中的小尺寸金属杂质颗粒(例如，均具有大约0.5nm的尺寸的金属杂质颗粒)和大尺寸金属杂质颗粒(例如，均具有大于0.5nm的尺寸的金属杂质颗粒)两者。例如，用于供应化学溶液的设备100可以是被构造成将光致抗蚀剂溶液供应到基底W的设备，光致抗蚀剂溶液在用于制造集成电路的光刻工艺期间被使用。用于供应化学溶液的设备100可被构造成将包含在化学溶液存储罐110中的化学溶液112通过化学溶液供应线132引进到过滤器结构120，在过滤器结构120内部过滤化学溶液112中的杂质并且通过使用化学溶液喷射单元150将杂质被过滤的化学溶液112通过化学溶液排出线134供应到布置在基底支撑件152上的基底W上。根据示例性实施例，化学溶液存储罐110可以是被构造成存储化学溶液(例如，可在集成电路的制造工艺期间使用的光致抗蚀剂溶液)的存储罐。在其它示例性实施例中，化学溶液存储罐110可以是被构造成存储用于化学机械抛光(CMP)工艺的浆料溶液的存储罐，或者在形成材料层的工艺期间用作源材料的前驱体溶液。然而，包含在化学溶液存储罐110内部的化学溶液的类型不限于此。过滤器结构120可被构造成过滤通过化学溶液供应线132引进到过滤器结构120中的化学溶液112中的杂质，并且通过化学溶液排出线134排出化学溶液112，化学溶液112中的杂质在化学溶液112通过过滤器结构120的同时被去除。过滤器结构120可具体地过滤具有大颗粒尺寸的杂质和具有小颗粒尺寸的带电颗粒两者。例如，带电颗粒可包括例如具有极性的有机颗粒、具有极性的无机颗粒以及金属离子。过滤器结构120可包括过滤器外壳122、布置在过滤器外壳122内部的场膜结构124、聚合物膜126、第一支持部129A、第二支持部129B和电连接到场膜结构124的电源128。在本说明书中，理解的是，当元件被称为“电连接”到另一元件时，它可直接连接到所述另一元件或可存在中间元件。如在这里所使用的，除非另外指出，否则被描述为“电连接”的项目被构造为使得电信号和/或电力可从一个项目传递到另一个。过滤器外壳122可以是例如圆柱形容器，并且可包括入口122I和出口122O。入口122I可连接到化学溶液供应线132，出口122O可连接到化学溶液排出线134。过滤器外壳122可包括可移动盖122L，使得场膜结构124和/或聚合物膜126被替换或清洗。然而，过滤器外壳122不限于此并且可以是不包括可移动盖122L的一体容器。在图2至图5中，为了便于描述，具有圆柱形形状的过滤器外壳122的长度方向或轴向由本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于在制造集成电路中使用的化学溶液的过滤器结构，所述过滤器结构包括：第一膜结构，包括多个膜单元，所述多个膜单元中的每个包括包含多个第一开口的阴极、包括多个第二开口的阳极以及位于阴极与阳极之间的绝缘层；以及过滤器外壳，被构造成在其中容纳第一膜结构，过滤器外壳包括化学溶液通过其引进的入口和化学溶液通过其排出的出口，其中，第一膜结构被构造成使得当在通过入口引进的化学溶液通过第一膜结构的同时将电场施加在阴极与阳极之间时，化学溶液中的具有带正电颗粒和带负电颗粒两者的杂质被俘获在第一膜结构中。

【技术特征摘要】
2018.01.26 KR 10-2018-00099351.一种用于在制造集成电路中使用的化学溶液的过滤器结构，所述过滤器结构包括：第一膜结构，包括多个膜单元，所述多个膜单元中的每个包括包含多个第一开口的阴极、包括多个第二开口的阳极以及位于阴极与阳极之间的绝缘层；以及过滤器外壳，被构造成在其中容纳第一膜结构，过滤器外壳包括化学溶液通过其引进的入口和化学溶液通过其排出的出口，其中，第一膜结构被构造成使得当在通过入口引进的化学溶液通过第一膜结构的同时将电场施加在阴极与阳极之间时，化学溶液中的具有带正电颗粒和带负电颗粒两者的杂质被俘获在第一膜结构中。2.如权利要求1所述的过滤器结构，其中，绝缘层包括多个第三开口并且使阴极与阳极电分离。3.如权利要求1所述的过滤器结构，所述过滤器结构还包括连接到阴极的阴极场导体以及连接到阳极的阳极场导体，其中，阴极场导体和阳极场导体电连接到布置在过滤器外壳外部的电源，并且被构造成通过使用从电源提供的电压在阴极与阳极之间施加电场，其中，电源被构造成在阴极与阳极之间产生在0至10kV/m之间可选择的电场。4.如权利要求1所述的过滤器结构，所述过滤器结构还包括容纳在过滤器外壳内部并且包括多个孔的聚合物膜，其中，聚合物膜被构造成使得当通过入口引进的化学溶液通过聚合物膜时，均具有比化学溶液中的带正电颗粒和带负电颗粒中的每个的颗粒尺寸大的颗粒尺寸的杂质被聚合物膜过滤。5.如权利要求4所述的过滤器结构，其中，第一膜结构具有中空的圆柱形形状，聚合物膜布置在第一膜结构的内壁上，其中，聚合物膜包括从聚乙烯、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯、尼龙、聚丙烯、聚酯、聚碳酸酯、聚醚砜、纤维素乙酸酯和聚酰亚胺中选择的有机聚合物材料。6.如权利要求5所述的过滤器结构，其中，第一膜结构与过滤器外壳的内壁分隔开，入口部限定在第一膜结构的外壁与过滤器外壳的内壁之间，聚合物膜具有中空的圆柱形形状，出口部限定在被聚合物膜的内壁围绕的空间中。7.如权利要求6所述的过滤器结构，其中，入口、入口部、出口和出口部被构造成使得从入口引进到入口部的化学溶液顺序地通过第一膜结构和聚合物膜，并且通过出口部排出到出口。8.如权利要求5所述的过滤器结构，其中，第一膜结构接触过滤器外壳的内壁，其中，聚合物膜具有中空的圆柱形形状，其中，已经从入口引进的化学溶液在过滤器外壳的纵向上通过第一膜结构。9.如权利要求4所述的过滤器结构，其中，聚合物膜具有中空的圆柱形形状，第一膜结构布置在聚合物膜的内壁上。10.如权利要求9所述的过滤器结构，其中，聚合物膜与过滤器外壳的内壁分隔开，入口部限定在聚合物膜的外壁与过滤器外壳的内壁之间，第一膜结构具有中空的圆柱形形状，出口部限定在被第一膜结构的内壁围绕的空间中。11.如权利要求10所述的过滤器结构，其中，入口、入口部、出口和出口部被构造成使得从入口引进到入口部的化学溶液顺序地通过聚合物膜和第一膜结构，并且通过出口部排出到出口。12.如权利要求9所述的过滤器结构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：高次元，奥列格·费根森，金重铉，金贤友，金垠成，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR