一种调整工具制造技术

本实用新型专利技术提供一种调整工具，用于调整在化学气相沉积工艺在镀膜过程中的加热装置的水平度，包括：一对固定架，固定架包括：水平部，水平部提供一承托面用以承托加热装置；垂直部，垂直部用以抵靠于加热装置的调节部件，垂直部设置有刻度值，刻度值对应于调节部件的垂直运动方向。本实用新型专利技术的技术方案有益效果在于：将调整工具安装于加热装置上，可以通过直观观察固定架上的刻度值来调节加热装置的调整部件，以调整加热装置的水平度，可以定量调节，方便数据的保存及后续的维修，并且不仅适用于经验丰富的技术人员的操作，也可适用于新员工的操作，进而减少了加热装置的调机时间。

A Adjustment Tool

【技术实现步骤摘要】
一种调整工具
本技术涉及半导体检测设备
，尤其涉及一种调整在化学气相沉积工艺在镀膜过程中的加热装置的水平度的调整工具。
技术介绍
化学气相沉积是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。化学气相沉积工艺在镀膜过程中，气体在喷头与加热装置之间会发生化学反应，均匀地在晶圆表面沉积呈薄膜。但喷头与加热装置的距离会影响薄膜沉积的速率，进而影响膜的厚度，为了保证膜后的均一性，需保证加热装置的水平度。目前，通过人工操作来调节加热装置的水平度，人工使用扳手调节螺栓的上升与下降，以调节加热装置的水平度，但是通过人工操作无法一次成功，浪费调机时间，并且只能通过经验丰富的技术人员进行调节，新员工无法快速上手，进而降低了检测机台的运行时间。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种结构简单、易于操作的调整工具。具体技术方案如下：一种调整工具，用于调整在化学气相沉积工艺在镀膜过程中的加热装置的水平度，其中包括：一对固定架，所述固定架包括：一水平部，所述水平部提供一承托面用以承托所述加热装置；一垂直部，所述垂直部用以抵靠于所述加热装置的调节部件，所述垂直部设置有刻度值，所述刻度值对应于所述调节部件的垂直运动方向。优选的，所述垂直部的一端连接水平部的一端。优选的，所述垂直部连接于所述承托面的背面一侧边的中点。优选的，所述垂直部成片状，所述垂直部的横截面中轴垂直于所述侧边。优选的，所述水平部上具有一固定结构，通过所述固定结构固定于所述加热装置上。优选的，所述固定结构为螺纹孔以及配合所述螺纹孔的螺栓。优选的，所述螺纹孔的直径为1-10mm。优选的，所述水平部的长度为100-300mm；和/或所述水平部的宽度为50-200mm；和/或所述水平部的厚度为5-20mm。优选的，于所述水平部远离所述垂直部的一端具有一背向所述加热装置的斜面，和或所述垂直部的下端具有一背向所述调节部件的斜角。优选的，所述调整工具由不锈钢材料制成。本技术的技术方案有益效果在于：将调整工具安装于加热装置上，可以通过直观观察固定架上的刻度值来调节加热装置的调节部件，以调整加热装置的水平度，可以定量调节，方便数据的保存及后续的维修，并且不仅适用于经验丰富的技术人员的操作，也可适用于新员工的操作，进而减少了加热装置的调机时间。附图说明参考所附附图，以更加充分的描述本技术的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本技术范围的限制。图1为现有技术中的加热装置的结构示意图；图2为本技术中的实施例的调整工具的安装结构示意图；图3为本技术中的实施例的俯面结构示意图；图4为本技术中的实施例的主面结构示意图；图5为本技术中的实施例的左面结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，但不作为本技术的限定。如图1所示，目前，在调整化学气相沉积工艺在镀膜过程中的加热装置H的水平度时，通过人工操作来调节加热装置H的水平度，加热装置H中包括一对调节部件S以及每个调节部件S上的调节螺杆T，其中调节螺杆T上设置多个螺栓，通过调节多个螺栓以配合调节部件S来调节加热装置H的水平度，但是通过人工操作无法一次成功，也只能根据经验调节螺栓的转动圈数来调节，即使调节螺杆T上的螺栓转动圈数一致也无法满足加热装置H的水平度的一致性，进而降低加热装置H的调机时间；针对上述缺陷，本技术提供一种调整工具，用于调整化学气相沉积工艺在镀膜过程中的加热装置的水平度，其中包括：一对固定架1，固定架1包括：一水平部10，水平部10提供一承托面用以承托加热装置H；一垂直部11，垂直部11用以抵靠于加热装置H的调节部件S，垂直部11设置有刻度值110，刻度值110对应于调节部件S的垂直运动方向。通过上述调整工具的技术方案，如图2所示，在调整化学气相沉积工艺在镀膜过程中的加热装置H的水平度时，首先每一固定架1的水平部10固定于加热装置H上，使得水平部10的承托面以承托加热装置H，承托面垂直于加热装置H该侧的调节螺杆T，同时垂直部11抵靠于加热装置H该侧的调节部件S，并进一步的平行于加热装置H该侧的调节螺杆T，然后操作加热装置H两侧的调节部件S，调节部件S沿刻度值110的垂直方向上滑动，在滑动的过程中，可以直观地观察该侧的垂直部11上的刻度值110，其中刻度值10可以毫米为单位，一对固定架1上的刻度值110相互对应设置，并且可以进行定量调节。并且，可通过观察加热装置H与一对固定架1的水平部10是否贴合，来确定当前加热装置H是否已经被调整至水平。进一步地，将调整工具安装于加热装置H上，可以通过直观观察固定架1上的刻度值110来调节加热装置H的调节部件S，以调整加热装置H的水平度，减少了加热装置H的调机时间，并且每次都可以定量调节，方便数据的保存及后续的维修。进一步的，水平部10与垂直部11可一体成型，也可以通过连接结构连接在一起，如螺纹，铆钉等。这种结构简单，通过定量调节易于操作，不仅适用于经验丰富的技术人员的操作，也可适用于新员工的操作不仅适用于经验丰富的技术人员的操作，进而减少了加热装置H的调机时间。在一种较优的实施例中，垂直部11的一端连接水平部10的一端；垂直部11连接于承托面的背面一侧边的中点；垂直部11成片状，垂直部11的横截面中轴垂直于侧边。具体地，如图2所示，每一固定架1的垂直部11的一端连接水平部10的一端，每一固定架1的垂直部11连接于承托面的背面一侧边的中点，垂直部11抵靠于加热装置H该侧的调节部件S，并且将垂直部11设置为片状，垂直部11的横截面中轴垂直于侧边，同时垂直部11平行于加热装置H该侧的调节螺杆T，然后通过操作调节部件S沿刻度值110的垂直方向上滑动，可以直观地观察垂直部11上的刻度值110以定量调节，进一步保证当前的加热装置H被调整至水平，每次都可以定量调节，方便数据的保存及后续的维修。并且通过定量调节易于操作，不仅适用于经验丰富的技术人员的操作，也可适用于新员工的操作不仅适用于经验丰富的技术人员的操作，进而减少了加热装置H的调机时间。在一种较优的实施例中，水平部10上具有一固定结构100，通过固定结构100固定于加热装置H上；固定结构100为螺纹孔以及配合螺纹孔的螺栓通孔，螺纹孔的直径为1-10mm。具体地，如图3所示，在进行调整加热装置H的水平度时，首先通过固定结构100固定于加热装置H的调节部件S，其中，固定结构100为螺纹孔以及配合螺纹孔的螺栓通孔，螺纹孔的直径为1-10mm，固定结构100的尺寸匹配于加热装置H上的固定端。然后，操作加热装置H的调节部件S，调节部件S沿刻度值110的垂直方向上滑动，在滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种调整工具，用于调整在化学气相沉积工艺在镀膜过程中的加热装置的水平度，其特征在于，包括：一对固定架，所述固定架包括：一水平部，所述水平部提供一承托面用以承托所述加热装置；一垂直部，所述垂直部用以抵靠于所述加热装置的调节部件，所述垂直部设置有刻度值，所述刻度值对应于所述调节部件的垂直运动方向。

【技术特征摘要】
1.一种调整工具，用于调整在化学气相沉积工艺在镀膜过程中的加热装置的水平度，其特征在于，包括：一对固定架，所述固定架包括：一水平部，所述水平部提供一承托面用以承托所述加热装置；一垂直部，所述垂直部用以抵靠于所述加热装置的调节部件，所述垂直部设置有刻度值，所述刻度值对应于所述调节部件的垂直运动方向。2.根据权利要求1所述的调整工具，其特征在于，所述垂直部的一端连接水平部的一端。3.根据权利要求2所述的调整工具，其特征在于，所述垂直部连接于所述承托面的背面一侧边的中点。4.根据权利要求3所述的调整工具，其特征在于，所述垂直部成片状，所述垂直部的横截面中轴垂直于所述侧边。5.根据权利要求1所述的调整工具，其特征在于，所述水平...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑高锋，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42