用于操作真空泵系统的方法技术方案

处理腔室(10)连接至锁止腔室(12)。提供一种真空泵系统，用于对所述锁止腔室(12)和/或所述处理腔室(10)抽真空。所述系统包括真空泵设备(18)，其包括至少一个真空泵(20、22)。所述真空泵系统还包括用于连接至所述锁止腔室(12)以及控制器(30)的阀门装置(26)。为了降噪，借由所述控制器来确定周期性发生的操作参数。借此，确定要在哪个时间点打开所述阀门，使得在打开所述阀门之前的某时间点，降低所述真空泵(20、22)中的至少一个真空泵的旋转速度。这在良好泵出时间下实现了相当大的降噪。

A Method for Operating Vacuum Pump System

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于操作真空泵系统的方法
本专利技术涉及一种用于操作真空泵系统的方法，该真空泵系统尤其用于对锁止腔室抽真空。锁止腔室尤其连接至处理腔室。同样，真空泵系统可直接连接至处理腔室，从而不设置额外的锁止腔室。
技术介绍
在处理腔室中，例如，产品尤其经过真空处理，诸如对产品进行涂覆等。为了尤其是能够将产品供应到处理腔室，将处理腔室连接至锁止腔室。为了对锁止腔室抽真空，将锁止腔室连接至真空泵系统。通常包括多个真空泵的真空泵系统尤其包括主泵或增压器以及预真空泵。此处，尤其是罗茨泵或螺杆泵适合用作主真空泵。另外，真空泵系统包括在真空泵系统与锁止腔室之间的阀门装置，该真空泵系统尤其包括多个真空泵。另外，提供控制器，该控制器尤其用于控制真空泵设备的至少一个真空泵。真空泵系统的这种锁止应用要求尽可能短的泵出时间。同时，必须确保不超过可允许的机械应力和热应力的量。另外，要求真空泵系统尽可能安静地操作。然而，由于短泵出时间要求真空泵设备的高旋转速度，其中，高旋转速度会导致高噪声水平，所以低噪声发射与所要求的短泵出时间冲突。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于操作真空泵系统的方法，该真空泵系统用于对腔室，尤其是锁止腔室，抽真空，其中，可获得在短泵出时间下的降噪。根据本专利技术，该目的通过根据权利要求1的方法来实现。根据本专利技术操作的真空泵系统包括真空泵设备，该真空泵设备包括至少一个真空泵。优选地，真空泵设备包括尤其是串联连接的至少两个真空泵，即，一个主真空泵或增压器和一个预真空泵。此处，尤其是罗茨泵或螺杆泵优选地用作增压器。真空泵设备连接至腔室，尤其是锁止腔室，其中，阀门装置设置在真空泵设备与腔室之间。另外，提供控制器，该控制器尤其用于操作该至少一个真空泵，其中，根据尤其优选的实施例，控制器调节驱动该至少一个真空泵的电动机的旋转速度。根据本专利技术，为了在良好泵出性能下实现降噪，首先，通过控制器确定至少一个操作参数。该至少一个操作参数是周期性发生的或周期性改变的操作参数。尤其合适的操作参数是被驱动该至少一个真空泵的电动机接收的发动机电流，虽然其它操作参数也是合适的。借助控制器来评估周期性发生的操作参数或操作参数的分布(profile)的周期性发生的改变。从而，可以在打开阀门装置之前或者直接在打开阀门装置期间暂时地降低真空泵设备的真空泵中的至少一个真空泵的旋转速度。由于降低了真空泵设备的至少一个真空泵，尤其是主真空泵的旋转速度，所以当打开阀门装置时可以实现相当大的降噪。优选地，在打开过程期间降低至少主真空泵或增压器的旋转速度，其中，另外，也可以降低预真空泵的旋转速度。与在操作期间，即当对锁止腔室进行泵出时，泵的最大旋转速度相比，实现至少50％尤其是至少80％的降低。优选地，将旋转速度降低到30Hz，尤其是小于50Hz。优选地，将在打开阀门装置时显著改变的操作参数用作操作参数。驱动真空泵设备的至少一个真空泵的电动机的发动机电流尤其适合该目的。由于压力增加，发动机电流在打开阀门装置时大幅增加。在电流的流动过程中，可以按照简单的方式确定阀门装置的打开。该显著增加尤其是由于电流增加了超过五倍，尤其是十倍。尤其，操作参数的显著改变，即发动机电流的显著增加，例如，发生在尤其小于1到3秒的非常短的时间段内。驱动至少一个真空泵的电动机的发动机电流的所确定的分布是优选的操作参数。可替代地或另外，以下操作参数或这些操作参数的对应时间分布可被确定且用于控制真空泵设备的至少一个真空泵的旋转速度：-真空泵设备的进口压力，和/或-真空泵设备的至少一个真空泵的进口压力，和/或-真空泵系统的真空泵或另一重要区域的温度，和/或-在主真空泵的进口和/或出口侧之间的泄压阀的行进路径，和/或-在预真空泵的进口和/或出口侧之间的泄压阀的行进路径。例如，借助压力传感器，可以测量真空泵设备和/或真空泵设备之一的进口压力。压力的时间分布也允许按照简单的方式推导出打开阀门装置的时间点。可替代地或另外，借助温度传感器，可确定暂时的温度分布。此处，尤其是在这两个泵中的一个泵的出口处的温度传感器(气体温度)是合适的。温度分布也允许确定打开阀门装置的时间点。如果使用包括位于进口侧与出口侧之间的泄压阀的泵作为主真空泵或作为预真空泵，则可使用该阀门的行进路径，即，阀门位置的暂时改变，来确定打开设置在锁止腔室与真空泵系统之间的阀门装置的时间点。根据尤其优选的实施例，基于至少一个操作参数来确定周期长度。周期长度是在操作参数的两次基本相同的改变之间的时间段。当考虑发动机电流时，周期长度因此是在当打开阀门装置时分别发生的两次显著电流增加之间的时间段。由于在正常应用期间周期性地打开和关闭锁止腔室，这是可能的。例如，按照规则的间隔，经由锁止腔室，将要处理或要涂覆的新产品馈入处理腔室中。根据本专利技术，周期性处理以及因此操作参数的周期性发生的改变这种优点被用于：当打开阀门装置时，以低旋转速度操作至少一个真空泵，尤其是主真空泵，并且用于降低噪声发射。在已经打开阀门装置之后，可再增加泵的旋转速度，使得可以实现噪声发射减少的短泵出周期，即，将锁止腔室中的压力迅速降低到期望的值。尤其是当使用多个操作参数时，例如，也可通过借助控制器评估多个操作参数并得到平均值和/或通过对应的加权处理来确定周期长度。优选地，最迟在周期长度结束时，至少暂时降低该至少一个真空泵的旋转速度，使得当打开阀门装置时降低泵的旋转速度。取决于泵出周期的类型，可更早地降低旋转速度。进一步地，根据尤其优选的实施例，基于至少一个操作参数来确定负载持续时间。此处，负载持续时间是在已经打开阀门装置之后将锁止腔室抽真空成预定义真空的时间段。例如，当将发动机电流用作操作参数时，可以通过将发动机电流的减少确定或认定为先前定义的极限值来实现这一点。一旦在操作期间已经达到负载持续时间，那么，即使周期长度尚未终止，也已经降低该至少一个真空泵的旋转速度。尤其，这一点的优点是：可按照节能的方式将在负载持续时间的结束与周期长度的结束之间的时间段用来降低真空泵的旋转速度。因此，例如，不需要或仅需要少量的制动。在本专利技术的尤其优选的方面中，将在降低旋转速度时生成的电制动能量储存在能量储存单元中或馈回供电网。根据本专利技术，在本优选实施例中，因此，不是像以往那样提供制动电阻器，在制动过程期间，该制动电阻器会大幅受热，而是采用了能量储存或回馈单元。例如，储存的能量可重复用于操作或加速泵。因此，大幅提高了泵设备的能量效率。设置用于储存或回馈制动能量的能量储存或回馈单元是一项独立的专利技术。这与上面描述的泵的周期性操作无关。能量储存或回馈单元的设置也可适合其它过程，但结合上面描述的本专利技术尤其有利。该独立的专利技术因此涉及一种具有尤其设置在泵外壳中的诸如转子之类的常规组件的真空泵。取决于泵类型，多个转子或者附加定子可设置在外壳中。进一步地，泵包括驱动部件，尤其是电动机形式的驱动部件。根据本专利技术，另外提供能量储存或回馈单元。该能量储存或回馈单元储存在制动期间生成的电能或将其馈回到供电网中，并且可用于驱动泵或其它组件。能量储存或回馈单元因此经由变频器尤其连接至电动机。在泵的制动期间，电动机用作发电机。【附图说明】下文将参照示意图和图表基于示例性实施例详细阐释本专利技术，在示意图和图表中：图1示出真本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于操作真空泵系统的方法，所述真空泵系统用于对腔室抽真空，尤其是用于对尤其连接至处理腔室(10)的锁止腔室(12)抽真空，其中，所述真空泵系统包括：包括至少一个真空泵(20、22)的真空泵设备(18)，设置在所述真空泵设备(18)与所述腔室(12)之间的阀门装置(26)，以及控制器(30)，其中借由所述控制器(30)，确定所述真空泵系统的至少一个周期性发生的操作参数，并且在打开所述阀门装置(26)之前，暂时降低所述真空泵设备(18)的所述真空泵(20、22)中的至少一个真空泵的旋转速度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.11.30 DE 102016223782.91.一种用于操作真空泵系统的方法，所述真空泵系统用于对腔室抽真空，尤其是用于对尤其连接至处理腔室(10)的锁止腔室(12)抽真空，其中，所述真空泵系统包括：包括至少一个真空泵(20、22)的真空泵设备(18)，设置在所述真空泵设备(18)与所述腔室(12)之间的阀门装置(26)，以及控制器(30)，其中借由所述控制器(30)，确定所述真空泵系统的至少一个周期性发生的操作参数，并且在打开所述阀门装置(26)之前，暂时降低所述真空泵设备(18)的所述真空泵(20、22)中的至少一个真空泵的旋转速度。2.根据权利要求1所述的方法，其中，选择在打开所述阀门装置(26)时显著改变的操作参数作为所述操作参数。3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，将驱动所述真空泵设备(18)的真空泵(20、22)的发动机的发动机电流确定为所述操作参数，其中，所述发动机电流的显著增加尤其与打开所述阀门装置(26)相关联。4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，将所述真空泵设备(18)的进口压力和/或所述真空泵设备(18)的所述真空泵(20、22)中的至少一个真空泵的进口压力和/或所述真空泵中的至少一...

【专利技术属性】
技术研发人员：马提亚·纳尔沃尔德，迈克尔·帕永克，德克·席勒，丹尼尔·施耐登巴赫，塞巴斯提安·瓦尔策尔，
申请(专利权)人：莱宝有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE